Методы поверхностной обработки давлением

МЕТОДЫ ПОВЕРХНОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ДАВЛЕНИЕМ [c.167]

Методы поверхностной обработки давлением, применяемые наиболее часто, и их основные технологические возможности указаны в табл. 1. [c.167]

Номенклатура изделий, рабочие поверхности которых обрабатываются различными методами холодной поверхностной обработки давлением (табл. 1), обширна и разнообразна. Она объединяет валы и оси, начиная с диаметра менее 1 мм, применяемые в приборостроении и при изготовлении изделий точной механики и кончая очень крупными, например, вагонными осями, валками и валами диаметром до нескольких сот миллиметров—деталями крупных машин для обработки металлов давлением, для металлургического производства и т. п. В эту номенклатуру входят детали с отверстиями различных диаметров, начиная с мелких, применяемых в приборостроении и имеющих отверстие диаметром менее 1 мм, и кончая деталями тяжелых машин с диаметрами более 100 мм. Наконец, к этой же номенклатуре относятся детали типа плиток, пластин, планок, направляющих, плоские или фасонные рабочие поверхности которых работают на износ и должны иметь высокую чистоту и повышенную твердость, а также и различные детали, плоские и фасонные контактные поверхности которых работают на сдвиг. [c.177]

Чаще ППД применяют для деталей машин, работающих в условиях знакопеременных нагрузок (торсионы, коленчатые валы, шатуны, шестерни и др.), высоких скоростей и давлений (распределители, поршни, поршневые кольца, золотники, плунжеры и др.), окислительного изнашивания, контактно-усталостных напряжений (цапфы шестерен, опорные шейки, поворотные кулачки и др.). В зависимости от формы, размеров, характера производства выбирают наиболее оптимальный метод поверхностного пластического деформирования. Для деталей сложной формы (пружины, рессоры, лопатки, шатуны и др.) применяется дробеструйная обработка. [c.345]

Ухудшение свойств молибденовых сплавов может быть результатом загрязнения кислородом в процессе изготовления и рекристаллизационной обработки, а также присутствия строчечных включений карбидов по границам зерен, параллельным направлению вытяжки (обработки давлением) [37]. Хрупкость наступает при содержании кислорода всего в 0,0006 % (ат.). Однако в решетке сплава кислород может быть связан углеродом пока соотношение углерода и кислорода превышает 2 1, это вредное влияние кислорода может быть заблокировано [37]. В сплаве TZM присутствуют титан и цирконий, они связывают углерод в карбиды МеС, усложняя ситуацию. Таким образом, к методам пластификации молибденовых сплавов, относятся легирование рением, устранение поверхностных загрязнений, регулировка содержания примесей и удаление карбидов с границ зерен [38]. [c.309]

Один из методов численного определения величины Отк заключается в применении формулы (22). При горячей обработке давлением дополнительное упрочнение поверхностного слоя металла может быть вызвано его охлаждением в результате соприкосновения с холодной поверхностью инструмента. [c.44]

Имеется несколько методов отделки поверхностей давлением. Их сущность заключается в том, что с обрабатываемой поверхности не снимается стружка, а происходит сглаживание поверхностных микронеровностей, оставшихся от предыдущей обработки, в результате чего металл выступающих частиц заполняет впадины поверхности. При отделке поверхностей давлением вследствие пластической деформации металла размер детали несколько изменяется. [c.440]

Обработку давлением с деформированием толстого поверхностного слоя металла применяют главным образом для внешнего формообразования, например для накатывания канавок, модульных и шлицевых зубьев (рис. 1У-55,в,г) и т. п. Эта обработка осуществляется как в холодном состоянии, так и с нагревом. В холодном состоянии накатывают прямой и спиральный зуб до модуля т=3, а в горячем до т= 10 и более. Накатка осуществляется роликами, перемещающимися вдоль оси заготовки (рис. 1У-55,в), или зубчатыми накатниками 2, вдавливающимися в заготовку 1 в радиальном направлении при одновременном вращении, г. При таком методе формообразования зубья получаются более прочными, нежели при обработке резанием, так как волокна металла не перерезаются, а смещаются и располагаются соответственно контурам обрабатываемых поверхностей. Кроме того, при холодном накатывании обработанная поверхность получается очень чистой и упрочненной, что значительно увеличивает и износостойкость шестерен. [c.245]

Поверхностная обработка обкаткой (раскаткой) шариком или роликом применяется как финишная операция для получения высокого класса шероховатости поверхности. Сущность ее состоит в том, что под давлением деформирующего элемента выступы шероховатости (микронеровности) пластически деформируются (сминаются), заполняя впадины обрабатываемой поверхности. Методом обкатки можно получить шероховатость обрабатываемой поверхности до 12-го класса, при этом повышаются твердость- и износостойкость верхнего слоя металла. В качестве рабочих элементов используют стандартные шарики и ролики выпускаемых подшипников качения в специально изготовленных оправках. [c.67]

Некоторое распространение получил новый метод чистовой обработки — накатывание поверхностей после строгания. Этот вид обработки основан на способности сталей и других вязких металлов деформироваться под воздействием давления. Деформация поверхностных слоев при этом не нарушает целостности волокон, а спо- [c.280]

Коленчатый вал (рис. 7) подвержен воздействию сил давления газов, сил инерции поступательно и вращательно движущихся масс и усилий, возникающих вследствие крутильных колебаний. Для удовлетворения повышенных требований, предъявляемых к надежности и долговечности коленчатого вала, разработаны и внедрены следующие конструктивные и технологические меры рациональное конструктивное исполнение, выбор материалов, химико-термическая обработка, применен метод поверхностного упрочнения. [c.25]

Рентгенографический метод позволяет по относительному изменению межплоскостного расстояния оценить остаточные макронапряжения только в поверхностном слое. Поэтому всегда можно ожидать, что неконтролируемые остаточные напряжения от обработки давлением, литейные, сварочные, закалочные и другие остаточные напряжения могут ухудшить свойства металла и оказаться опасными при его обработке и эксплуатации изделия. 1В общем случае желательно полностью или хотя бы частично снять неконтролируемые остаточные напряжения. [c.114]

Метод микротвердости пшроко применяется для определения твердости отдельных структурных составляющих, свойств тонких поверхностных слоев, для изучения распределения деформации после холодной обработки давлением и в других случаях. [c.33]

В настоящее время применяют самые разнообразные способы поверхностной обработки металлов давлением. К таким способам относятся 1) дробеструйный наклеп 2) обкатка роликами или шариками 3) чеканка 4) наклеп при помощи ротационных упрочнителей и 5) гидроабразивный метод наклепа. [c.167]

Основные методы поверхностной холодной обработки давлением, применяемые в машиностроении и приборостроении [2]. [6], [7], [27] и др. [c.168]

На трассе дороги битум используется при производстве работ методами пропитки, поверхностной обработки или смешения на месте. При всех этих работах битум должен быть равномерно распределен по поверхности каменного материала под давлением (2,5-ь6,0) 10 Н/м . [c.298]

Упрочняющую обработку предпринимают для увеличения сопротивления усталости деталей. Методы упрочнения основаны на локальном воздействии инструмента на обрабатываемый материал. При этом возникают многочисленные зоны воздействия на весьма малых участках поверхности, в результате чего создаются очень большие местные давления. Многочисленные контакты с инструментом приводят к упрочнению поверхности. В поверхностных слоях возникают существенные напряжения сжатия. [c.391]

Еще один легирующий элемент—азот — попадает в сталь из атмосферы. Хотя азот обычно присутствует в значительно меньшем количестве, чем углерод, действие их подобно. Азот оказывает более сильное влияние на стабилизацию аустенита и упрочнение, и определенное количество его может серьезно влиять на пластичность при низкой температуре из-за выпадения нитридов при нагреве до 200° С после холодной деформации. Это явление известно как деформационное старение. Когда азот вызывает какие-либо нежелательные эффекты, его можно связать добавками ванадия, который образует с ним нитриды. Если добавки азота улучшают важные для нас свойства, содержание его может быть увеличено. Азот можно вводить при плавлении под давлением. Кроме того, азотом можно насытить поверхностные слои стали, содержащие алюминий, в процессе азотирования в атмосфере, обогащенной азотом, такой, как атмосфера диссоциированного аммиака. Кроме того, вместе с углеродом, азот может насыщать сталь при нагреве в расплавленных цианистых солях. Эти два наиболее распространенных метода создают твердый, но тонкий поверхностный слой. Азот содержится в сталях, изготовленных с применением кислородного дутья, в небольшом количестве и может быть почти полностью удален вакуумной обработкой. [c.51]

Тремя основными методами управления процессом изнашивания являются следующие [10, стр. 36 принцип защитных слоев, т. е. применение смазки, поверхностных пленок, покраски, различного типа слоев между поверхностями раздела принцип преобразования, в соответствии с которым благодаря удачному выбору пар контактирующих металлов, их твердости, обработки поверхности или величины контактного давления уровни износа становятся допустимыми принцип направленности, в соответствии с которым действие процесса изнашивания направляется на элемент, который экономически целесообразно заменять. По мере износа этот элемент периодически удаляется и заменяется другим. Эти общие методы применимы не только в случае адгезионного износа, но и при абразивном износе. [c.578]

Выбор СОТС в каждом конкретном случае зависит от технологического метода и режима обработки, а также физико-механических свойств обрабатываемого и инструментального материала. При черновой и получистовой обработках, когда требуется эффективное охлаждающее действие среды, применяют водные растворы электролитов и поверхностно-активных веществ, масляные эмульсии. При чистовой обработке применяют чистые и активированные минеральные масла. Под влиянием высоких температур и давлений эти вещества образуют на поверхности заготовок соединения (фосфиды, хлориды, сульфиды), снижающие трение. При обработке хрупких материалов (чугун, бронза) твердосплавным инструментом в качестве СОТС используют газы (сжатый воздух, углекислый газ). [c.459]

Большинство абразивных зерен шлифовального круга имеют неблагоприятную для резания форму граней. Расщепление зерен и скругление их граней в процессе работы еще более ухудшают геометрию. Поэтому шлифование протекает при более высоком давлении, чем при любом другом методе обработки металлов резанием. Значительные силы трения в процессе шлифования, скольжение зерна по обрабатываемой поверхности в момент его врезания и высокие скорости резания вызывают мгновенное локальное повышение температуры и сложное пластическое деформирование поверхностных слоев. Сильно деформированные слои вытягиваются в направлении резания, образуя местные скопления металла. Возможно местное оплавление поверхности в случае работы отдельных зерен [c.51]

Высокую чистоту поверхностей, которая получается при отделочной поверхностной обработке давлением, можно получить чистовым или тонким шлифованием, доводкой или применяя некоторые другие процессы обработки резанием. Однако эти процессы, как правило, более трудоемки и при применении абразивного инструмента могут вызывать насыщение обрабатываемых поверхностей частицами абразивов, что способствует более интенсивному износу трущихся поверхностей обработанных деталей. К тому же в результате применения этих методов на обрабатываемых поверхностях образуются микроконцентраторы напряжений (риски, микрорельефы, надрезы, царапины и т. п.) и в поверхностном слое металла могут возникать относительно значительные растягивающие напряжения, которые отрицательно сказываются на его прочностных свойствах. При отделочной обработке давлением все это не только отсутствует, но и имеет место создание в поверхностном слое металла благоприятно действующих сжимающих напряжений. [c.180]

Выглаживание и обдувка дробью являются методами обработки давлением в холодном состоянии и относятся к области упрочняющей технологии. Эти методы обработки уплотняют поверхностный слой, благодаря чему увеличивается сопротивление детали переменным нагрузкам, а также увеличивается сопротивление износу трущихся поверхностей сопряженйых пар. [c.205]

В результате диффузиоиного отжига получается крупное зерно. Этот недостаток устраняется при последующей обработке слитка давлением. Для удаления поверхностных дефектов методом. механической обработки слитки после от кига иио1 да подвергают отпуску при 670—680 С в течение 1 —16 ч, что снижает твердость. Фасонные отливки после гомогенизации [юдвергают полному отжигу или нормализации для измельчения зерна и улучшения свойств. [c.192]

Суш,ествует много традиционных способов создания поверхностных слоев с повышенной износостойкостью [15, 27, 65. 68]. Наиболее широко применяются методы поверхностной закалки, поверхностного наклепа, различные химикотермические способы обработки (в первую очередь цементация и азотирование) и т. д. Все шире применяются методы, основанные на воздействии на поверхностные слои деталей потоков частиц (ионов, атомов, кластеров) и квантов с высокой энергией. К ним следует отнести в первую очередь вакуумные ионно-плазменные методы [26, 33, 34, 45, 71, 104] и лазерную обработку [16, 23, 38, 104]. Суш,ест-венио развились также способы осаждения покрытий из газовой фазы при атмосферном давлении и в разряженной атмосфере [1, 42, 54, 105]. Мош,ный импульс получило применение газо-термических методов нанесення покрытий в связи с развитием плазменных- [c.152]

Существуют различные методы поверхностного упрочнения материала, а именно обкатка роликом, дробеструйная обработка, вибро- и гидрогалтовка и др. Эффективность упрочнения зависит от режима обработки. При обкатке роликами необходимо учитывать давление на ролики, а при дробеструйной обработке важным фактором является диаметр дроби, расстояние от сонла до детали, материал дроби, скорость дроби и другие параметры. [c.292]

Степень уплотнения пористой заготовки при использовании этих трех процессов зависит от совместимости структуры армирующего каркаса с конкретным методом пропитки. Каркасы, обладающие низкой проницаемостью для газов, лучше поддаются обработке с помощью метода с разностью давлений, поскольку перепад давления по толщине заготовки является движущей силой пропитки. Каркасы с полостями большого размера лучше уплотняется с помощью метода с термическим фадиентом. Но для заготовок малой толщины или неправильной формы эти два метода подходят мало. Основным же недостатком метода с фадиентом температуры является необходимость применения специально сконструированных нафевателей для пропитки деталей различной формы. Кроме того, в печи может обрабатываться только одна деталь. Для одновременной обработки нескольких заготовок, в том числе разных форм, вполне пригоден изотермический процесс. Однако при использовании изотермического метода возможно возникновение поверхностной корки из осажденного углерода, когда скорость химического осаждения углерода на расположенных на внешней поверхности волокнах существенно превышает скорость его осаждения на поверхности внутренних волокон. Вместе с тем при правильном выборе температуры, давления и скорости протекания газового потока удается скорость осаждения на внутренних волокнах приблизить к скорости осаждения на внешних волокнах. [c.236]

Чистовая поверхностная обработка металлов давлением. Суш ность этого метода заключается в том, что предварительно обработанная поверхность детали резанием, подвергается обкатыванию или раскатыванию роликами или калиброванию (иродавли-ванию) отверстий шариками, пуансонами и т. д. [c.139]

Накатка зубчатых колес методом прокатки происходит пластическим деформированием поверхностного слоя нагретого металла, волокна которого изгибаются по конфигурации зуьбев металл уплотняется и получает поверхностный наклеп, что обеспечивает повышенную механическую прочность и твердость последнее увеличивает, при прочих равных условиях, его износостойкость. Вследствие этого полная или частичная замена обработки резанием при получении зубчатых колес обработкой давлением с максимальным приближением формы и размеров заготовки зубчатого колеса к размерам готовой детали обеспечивает экономию металла, улучшение структуры и повышение прочности металла изделия. [c.426]

Автогудронаторы предназначены для перевозки и разлива под давлением жидких вяжущих битуминозных материалов (битумов, дегтей, эмульсий) в горячем или холодном состоянии при постройке и ремонте черных, гравийных и щебеночных дорог по способам пропитки, полупропитки или поверхностной обработки, а также для обработки грунта при постройке улучшенных грунтовых дорог методом смешения. [c.206]

Таким образом, более оптимальным из рассмотренных процессов химико-термической обработки является вакуумное оксидирование, которое обеспечивает значительное повышение микротвердости поверхностных слоев титановых сплавов при сохранении высокой пластичности. Наряду с указанным метод вакуумного оксидирования титановых сплавов позволяет строго контролировать процесс, обеспечивает возможность совмещения химико-термической обработки и термостабилизирующего вакуумного отжига и оказывается наиболее приемлемым в производственных условиях. Кроме того, применение комплексной обработки давлением (обкатывание и виброобкатывание) и вакуумным оксидированием [c.53]

Пластичность молибдена и его сплавов в значительной мере опреде-ляется качеством слитка (металлургической природой металла). При содержании кислорода выше 0,0025% пластичность молибдена резко понижается. При этом в литом и деформированном металле образуются окисные плены в виде окислов молибдена М0О3 и других, которые, располагаясь по границам зерен, резко понижают пластичность при горячей обработке давлением и механические свойства деформированного металла. При более высоком содержании кислорода порядка 0,015—0,008% пластичность молибдена еще больше понижается, и горячая обработка давлением такого металла становится затруднительной. Вследствие повышенной газонасыщенности молибдена и его сплавов слитки, полученные методом дуговой плавки, приобретают поверхностную и внутреннюю пористость. Причиной пористости является наличие кислорода в металле. [c.293]

УЛЬТРАЗВУК В МЕТАЛЛУРГИИ применяется для воздействия на ряд технологич. процессов получения и обработки металлов и сплавов, а также для регулирования и контроля параметров технологич. процессов, контроля качества металлопродукции и для исследования строения и свойств металлов. УЗ применяют при обогащении руд, в гидрометаллургич. процессах, при рафинировании жидкого металла, получении слитков и отливок, в процессах формоизменения металла при его обработке давлением, при термич. и химико-термич. обработке, при очистке металлопродукции, при получении изделий методами порошковой металлургии. УЗ используется также в процессах механической обработки металлов, при поверхностном упрочнении, сварке и пайке, при нанесении покрытий. [c.347]

К процессам У. т. в газах относятся коагуляция аэрозолей, низкотем пературная сушка, горение в ультразвуковом поле. В жидкостях — это в первую очередь очистка, к-рая по-лучила наиболее широкое распространение среди всех процессов У. т., а также травление, эмульгирование, воздействие ультразвука на электрохимические процессы, диспергирование, дегазация, кристаллизация. Процес-сы УЗ-вой дегазации и диспергирования в жидких металлах, а также воздействие УЗ на кристаллизацию металлов играют важную роль при использовании ультразвука в металлургии, кавитация в жидких металлах используется при УЗ-вой металлизации и пайке. УЗ-вые методы обработки твёрдых тел основываются на непосредственном ударном воздействии колеблющегося с УЗ-вой частотой инструмента, а также на влиянии УЗ-вых колебаний на процессы трения и пластической деформации. Ударное воздействие УЗ используется при размерной механической обработке хрупких и твёрдых материалов с применением абразивной суспензии и ири поверхностной обработке металлов, выполняемой с целью их упрочнения. Снижение трения под действием УЗ используется для повышения скорости резания этот же эффект, наряду с эффектом увеличения пластичности под действием УЗ, используется в процессах обработки металлов давлением (волочение труб и проволоки, прокатка). К методам У. т. относится также УЗ-вая сварка, поз- [c.350]

Использование технологий модификации первого поколения [165, 166 , основанных на однократном или многократном однотипном внешнем воздействии потоками тепла, массы, ионов и т.д., не всегда обеспечивает требуемые показатели износостойкости материалов при высоких температурах, контактных давлениях и действии агрессивных сред. Поэтому расширение области применения и эффективности методов модификации металлов и сплавов для их использования в экстремальных условиях эксплуатации связано с созданием комбинированных и комплексных способов упрочнения, сочетающих достоинства различных технологических приемов. Существует несколько базовых способов унрочнения, эффективность которых в сочетании с другими методами подтверждена производственной практикой [165, 166]. К таким методам относятся ионно-плазменное напыление, электроэрозионное упрочнение, поверхностное пластическое деформирование, а также термическая обработка. Модификация структуры и свойств материалов при этом происходит за счет сочетания различных механизмов, отличающихся физико-химической природой. На этой основе разрабатываются H(3BE)ie варианты технологий второго поколения, вклю-чаюЕцие двойные, совмещенные и комбинированные нроцессы [166-169], в которых применяются потоки ионов, плазмы и лазерного излучения. К данному направлению относятся обработка нанесенных [c.261]

К методам упрочнения поверхностного слоя пластической деформацией относятся дробеструйная обработка, накатывание роликами, покрытие твердыми сплавами — для внешних поверхностей для отверстий— раскатка роликами, калибрование шариками, прошивание выглаживающими протяжками (дорнова-ние). К числу эффективных методов относятся также электрогидравлический удар, струйно-абразивное полирование, импульсный гидронаклеп струей высокого давления (10—20тыс. ат.). [c.36]

В учебнике рассматриваются вопросы физико-химического строения металлических и неметаллических материалов, термической обработки и поверхностного упрочнения, понятия о механических свойствах и методах их определения, основы теории и технологии получения заготовок литьем, давлением сваркой и пайкой, механическоцобработкой и рекомендации по их применению. [c.640]

Достижение соответствующего качества поверхности изделия является одной из главных задач, решаемых при выборе технологии обработки, В зависимости от назначения деталей их поверхностные слои могут значительно отличаться друг от друга. Между геометрической оценкой чистоты поверхности, применяемой на практике, и эксплуатационными качествами изделий, в частности их долговечностью, точностью взаимного перемещения в механизмах и т. п. до настоящего времени не установлены общие зависимости. В некоторых случаях на производстве нашли применение методы контроля поверхностей с помощью устройств, моделирующих условия эксплуатации проверяемой детали. В качестве примера можно привести контроль вентилей ппев.матическим методо.м или вкладышей подшипников скольжения с помощью динамического маятника. При испытании вентилей давление пневматической сети устанавливается близким к рабочему давлению устройства при определении качества поверхности вкладышей смазка и нагрузка также выбираются соответствующим образом- [c.156]

Научная и практическая актуальность проблемы исследования физических закономерностей пластической деформации и разрушения поверхностных слоев твердого тела обусловлена тем обстоятельством, что свободная поверхность, являясь специфическим видом плоского дефекта в кристалле, оказьтает сзш1ественное влияние на его физико-механические свойства, в частности на упругую стадию деформирования, предел пропорциональности и предел текучести на общий характер кривой напряжение—деформация и различные стадии деформационного упрочнения (на коэффициенты деформационного упрочнения и длительность отдельных стадий) на процессы хрупкого и усталостного разрушения, ползучести, рекристаллизации и др. Знание особенностей и основных закономерностей микродеформации и разрушения поверхностных слоев материалов необходимо не только применительно к обычным методам деформировани (растяжение., сжатие, кручение, изгиб), но и в условиях реализации различного рода контактных воздействий, с которыми связаны многочисленные технологические процессы обработки материалов давлением (ковка, штамповка, прокатка и др.), а также процессы трения, износа, схватывания, соединения материалов в твердой фазе, поверхностных методов обработки и упрочнения, шлифования, полирования, обработки металлов резанием и др. [c.7]

Отметим, что во всех случаях различие теплохимических свойств ферритовой пленки и подложки приводит к возникновению обратимых термоупругих напряжений, величина которых уменьшается при термической обработке. Это наглядно иллюстрируют данные Беккера [44, 45], вырастившего ферритовые пленки состава Mgo,833M.no.476Fei,69i04+v методом транспортных реакций. После термической обработки при 1000° С 2 час, независимо от парциального давления кислорода в газовой фазе, форма петли гистерезиса становится более прямоугольной, коэрцитивная силы уменьшается, индукция растет, а поверхностное электрическое сопротивление резко увеличивается. С увеличением температуры и продолжительности термической обработки рельеф поверхности становится менее шероховатым, причем конечная шероховатость уменьшается почти вдвое. [c.11]

Развитие машиностроения во многом обусловливается решением проблемы надежности подвижных сопряжений машин на основе рационального конструирования, подбора высокоэффективных материалов и методов их технологической обработки, выбора смазочных материалов и покрытий. При этом основная тенденция заключается в стремлении к повышению реализуемых скоростей, давлений, рабочих температур при одновременном росте надежности, в частности, ресурса конструкции, снижении массы на единицу мощности. Это невозможно без йспользования деталей, имеющих высокие физико-механические характеристики поверхностных слоев, так как в абсолютном большинстве случаев именно они ответственны за износостойкость, коррозионную и радиационную стойкость, адгезионную совместимость и другие эксплуатационные характеристики изделий. [c.3]

Технологические процессы, связанные с использованием ионизированных атомов для упрочняющей обработки поверхностей трения, например ионное азотирование, хорошо освоены современной промышленностью. Ионно-лучевые технологии требуют применения вакуумной техники, высоких ускоряющих напряжений и в машиностроении стали широко использоваться лишь в последние два десятилетия. Очевидные преимущества этой группы методов включают легкость управления пучком заряженных частиц, возможность разгонять их до практически любой необходимой энергии и легко изменять вид используемых ионов, исключительную чистоту методов, воспроизводимость и контролируемость параметров обработки. Степень необходимого вакуума определяется средней длиной свободного пути частиц и требованиями к чистоте получаемых поверхностных стрз стур. При давлении порядка 10 Па средняя длина свободного пути частиц исчисляется метрами. В зависимости от энергии используемых частиц преобладающими оказываются процессы осаждения покрытий (энергия 10 —10 Дж), распыления обрабатываемой поверхности (10 —10 Дж), имплантации (10 —Дж). Рассмотрим кратко основные методы ионно-лучевой обработки материалов [c.74]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...