Метод вакуумного напыления

Стеклообразные полупроводники могут быть изготовлены как в виде объемных образцов методом охлаждения расплава, так и в виде тонких пленок, получаемых различными методами вакуумного напыления. [c.11]

Эвтектическая диффузионная пайка боралюминия. Для соединения деталей из боралюминия между собой или с элементами конструкций из алюминиевых сплавов возможно использование способа эвтектической диффузионной пайки, заключающегося в нанесении тонкого слоя второго металла, образующего в результате взаимной диффузии эвтектику с металлом матрицы. В зависимости от состава матричного алюминиевого сплава могут быть использованы следующие металлы, образующие эвтектику серебро, медь, магний, германий, цинк, имеющие температуры образования эвтектик с алюминием 566, 547, 438, 424 и 382° С соответственно. В результате дальнейшей диффузии металла покрытия в основной металл концентрация его снижается, и температура плавления в зоне соединения постепенно повышается, приближаясь к температуре плавления матрицы. Таким образом, паяные соединения способны работать при температурах, превышающих температуру пайки. Однако необходимость строгого регламентирования толщины покрытия, а также чистоты покрытия и покрываемой поверхности, использование для получения таких покрытий метода вакуумного напыления делают этот процесс экономически нецелесообразным. [c.192]

Метод вакуумного напыления [c.298]

Метод вакуумного напыления пленок сегнетоэлектриков имеет несколько вариантов. Однако общие положения для всех вариантов одинаковы. [c.298]

Метод вакуумного напыления. Сущность метода физического осаждения в вакууме состоит в том, что при высокой температуре в динамическом высоком вакууме происходит интенсивное испарение жидкого (или твердого) металла, пары которого конденсируются на покрываемом изделии и холодных частях установки. При этом давление пара напыляемого металла должно быть таким, чтобы длина свободного пробега атомов его была больше расстояния между зоной испарения и зоной конденсации на подложке. В работе [95] приводится эмпирическая зависимость длины свободного пробега атомов от условий проведения процесса осаждения [c.105]

Молибден и другие тугоплавкие металлы (в частности, вольфрам) обычно испаряют электронно-лучевым нагревом в условиях глубокого вакуума (10 —10- мм рт. ст.). Метод вакуумного напыления имеет следующие недостатки 1) большие потери, напыляемого металла 2) загрязнение покрытия остаточными газами в камере и в исходном металле 3) трудность нанесения толстых покрытий тугоплавких металлов из-за низкой летучести и малой скорости испарения осаждаемого металла 4) сложность нанесения равномерных по толщине покрытий на подложки с рельефной поверхностью 5) недостаточная термическая стабильность покрытия из-за большого различия в температурах зон конденсации и испарения 6) невозможность получения текстурированных покрытий из-за сложности регулирования режима осаждения 7) недостаточная адгезия покрытия 8) пористость покрытия. Вследствие этих недостатков данный метод нанесения молибденовых и вольфрамовых покрытий широко не применяется. [c.106]

Метод вакуумного напыления б], уже довольно давно используется для изготовления аморфных пленок простых металлов и некоторых сплавов. Суть метода состоит в следующем. Металл или сплав нагревают в вакууме (обычно 10- —10- Па), при этом с [c.30]

Температура кристаллизации и, следовательно, термическая стабильность напыленных пленок существенно зависит от их толщины. Так, пленка железа толщиной 2,5 им кристаллизуется при 50—60 К, а при толщине 15 нм железо получить в аморфном состоянии вообще не удается. Методом вакуумного напыления получают также аморфные пленки Сг, Те, Sb, Ga, As, Al, V, Pd, Zr, Hf,. Re, Hb. Та, W. Mo. Отметим, что марганец остается в аморфном состоянии вплоть до 400 К. Прим. ред. [c.31]

Угольные элементы по характеру проводимости занимают промежуточное положение между металлами и полупроводниками, обладают большим отрицательным ТКС и эффективно применяются в качестве чувствите.тьных элементов при измерениях низких температур. Углеграфитные сопротивления наносятся на изоляционную подложку методом вжигания или пиролиза. Сопротивление полученной тонкой пленки существенно зависит от состояния свободной поверхности. Поэтому поверхность должна быть тщательно обработана и защищена изоляционным покрытием, например методом вакуумного напыления. [c.162]

Методом вакуумного напыления можно получать металлополимерные пленки толщиной до 1 нм. Подобные пленки получают путем одновременного испарения полимеров и металлов (калия, натрия, серебра, железа, алюминия, свинца). В качестве субстрата в этих условиях могут применяться кварцевые, стеклянные и металлические поверхности. К числу недостатков этого метода относится трудность испарения некоторых материалов, в частности кадмия и цинка. [c.261]

Метод вакуумного напыления позволяет получать тонкие металлические пленки с чередованием слоев нескольких металлов различной толщины и очертаний. При этом различные тонкие металлические пленки получают на одной и той же установке. [c.147]

В чем сущность метода вакуумного напыления металла [c.148]

Первые два способа требуют проведения большого объема исследований, которые в то же время не гарантируют получение хороших результатов. Поэтому для увеличения контрастности изображения в ряде случаев целесообразно применять метод двойного прохождения света через исследуемый препарат [18]. С этой целью при приготовлении препарата пробу жидкости наносят на стеклянную подложку, покрытую сверху слоем металла (серебро, алюминий и др., нанесенные методом вакуумного напыления) для образования зеркальной поверхности. Исследование проводится на микроскопе, работающем в отраженном свете. Световой поток достигает поверхности препарата, проходит через участок, отражается от зеркальной поверхности подложки и проходит через исследуемую структуру второй раз (рис. И, а). [c.108]

Слои аморфной модификации селена на металлической подложке, изготовленные методом вакуумного напыления, дают изображения довольно высокого качества и, несмотря на значительные трудности изготовления, получили наибольшее распространение в рентгеновской дефектоскопии. [c.14]

Настоящие исследования были проведены на электрографических пластинах, полученных на специально изготовленной для этих целей установке, в основу конструкции которой был положен метод вакуумного напыления селена на металлическую подложку. [c.15]

Сравнение пористости покрытий из золота, полученных на однотипных подложках гальваническим методом, вакуумным напылением и катодным распылением, показывает, что плотность пор, см" , в гальваническом покрытии толщиной 2 мкм составляет 10, обычном вакуумном толщиной 5 мкм — 19, а в покрытии, нанесенном катодным распылением толщиной 1 мкм — 16. [c.31]

На орбитальных станциях "Салют-4" (1975 г.), "Салют-5" (1976 г.) и "Салют-6" (1977 г.) было проведено большое количество технологических экспериментов восстановление алюминиевого покрытия зеркала солнечного телескопа методом вакуумного напыления исследование поведения жидкости в невесомости выращивание кристаллов изготовление металлических шариков проведение пайки изучение работы капиллярного насоса, действующего на основе использования сил поверхностного натяжения плавка металлов для получения сплавов, которых в земных условиях получить невозможно. Они подтвердили большую перспективу использования космических систем по получению новых материалов в условиях космоса. [c.83]

Различают гибридные и полупроводниковые (твердые) интегральные схемы. В гибридных схемах пассивные элементы (резисторы, конденсаторы, соединительные проводники) образуются обычно на поверхности подложки методом вакуумного напыления, а активные элементы (диоды, транзисторы) выполняются навесными — дискретные бескорпусные элементы паяются к напыленным элементам. [c.150]

Образцы помещались в графитовый патрон, засыпались порошком металла и нагревались в вакуумной печи до температуры на 50—100° С выше точки плавления металла. Металлический слой можно наносить и другим методом, в частности плазменным напылением, позволяющим покрывать изделия больших размеров. Так, при нанесении покрытий из A1N на графит был использован метод плазменного напыления металлического слоя . [c.55]

Например, в качестве методов, относимых к первой группе, можно назвать следующие вакуумное напыление, распыление и химические реакции в газовой фазе. Ко второй группе относятся различные методы закалки из жидкого состояния. К третьей группе можно отнести методы облучения частицами поверхности кристалла, воздействия ударной волной и ряд других. Имеется также еще одна особая группа методов, которые можно было бы с известными оговорками отнести к первой группе. Речь идет о методах электролитического осаждения аморфных пленок из растворов электролитов, главным образом водных растворов. Характеристики различных методов получения аморфных структур представлены в табл. 2.1. Ниже мы в общих чертах дадим описание этих методов. [c.29]

Коррозионностойкое легирование и термообработку используют в основном тогда, когда металлы в конструкции не позволяют применять другие меры защиты. Для защиты от коррозии применяют металлические, неорганические и органические покрытия. Металлические покрытия получают различными способами электроосаждением (гальванический способ), термодиффузионным насыщением поверхностного слоя, путем погружения в другой расплавленный металл, плакированием, металлизацией, напылением, методом вакуумной конденсации и др. Ингибиторы и специальные защитные смазки используют в процессе эксплуатации, а также при кратковременном и длительном хранении. Эти средства защиты при необходимости легко удаляются и возобновляются. [c.250]

Композиционный материал на основе магния, армированного высокомодульными углеродными волокнами, получен авторами работы [54] методом пропитки каркаса из армирующих волокон матричным расплавом под давлением. Предварительные исследования показали, что углеродные волокна не смачиваются жидким магнием. Нанесение на углеродные волокна титанового покрытия методами плазменного или вакуумного напыления или электролитического никелевого покрытия приводит к смачиванию углеродных волокон расплавленным магнием и обеспечивает возможность получения композиционного материала жидкофазными методами. [c.403]

Методом, подобным вакуумному напылению, является катодное напыление, когда предмет, на который наносится покрытие, размещается в электрическом поле вблизи катода. [c.204]

Поверхностное легирование (модифицирование) [242, 243] можно осуществлять предварительным нанесением на поверхность металла слоя легирующего компонента каким--либо методом (гальваническим покрытием, вакуумным напылением и др.) и последующей термообработкой в печи с целью диффузионного проникновения в глубь легирующего компонента. [c.326]

Метод царапания используют для определения адгезии тонких пленок, когда другими методами невозможно определить адгезионную прочность. Так, методом царапания определяли адгезию тонких пленок Т1С, получаемых вакуумным напылением, к быстрорежущей стали. Царапание осуществляли при помощи алмазного наконечника радиусом 35 мкм при длине наносимой полосы 1 см. Факт нарушения целостности пленки фиксировали при помощи пучка электронов [68]. [c.79]

Ф. используют в виде жидких композиций, к-рые наносят на рабочий слой с помощью центрифуг, валков или пульверизаторов и формируют плёнки толщиной от десятых долей до десятков микрон. Большей разрешающей способностью обладают т. н. вакуумные позитивные и негативные Ф., к-рые представляют собой слои мин. толщины, полученные методом вакуумного напыления. Кроме того, применяются т. н. сухие плёночные Ф.— пластичные светочувствит. слои толщиной 10—100 мкм, заключённые между лавсановой плёнкой — основой — и защитной полиэтиленовой плёнкой. Слои наносятся на подложку накаткой. [c.358]

При изготовлении аморфных пленок методом вакуумного напыления обычно необходимо поддерживать температуры ниже комнатных. В частности, в случае напыления чистых металлов подложка должна быть охлаждена до температур порядка температуры жидкого гелия. Если температура недостаточно низка и лежит выше температуры Тх напыляемого металла, получаемая пленка не аморфизируется. Например, в случае полупроводников—кремния и германия, у которых Тх выше комнатной температуры, можно использовать подложку и при комнатной температуре, а в случае таких переходных металлов, как железо, кобальт и никель, у которых Тх очень низкая (у железа 4 К, у кобальта 33 К и у никеля 70 К) должна быть низкой и температура подложки. [c.31]

Для аморфизации сплавов мётод напыления более предпочтителен, чем для чистых металлов, ибо упрощается аппаратура и некоторые операции, в связи с тем, что при получении пленок сплавов не требуется.глубокого охлаждения подложки. Однако, как уже указывалось, метод вакуумного напыления имеет ограничения по сортам атомов компонентов сплава. Кроме того, при использовании этого метода трудно регулировать состав сплава, поэтому для массового производства он не пригоден. [c.32]

В основу конструкции пленочной термопары положен метод по-луискусственной термопары. Одним термоэлектродом служит материал детали 1, а другим — пленка 3 толщиной около 5 мкм и шириной 0,8 мм (см. рис. 3.30, (3) пз никеля или платины. Электрическое сопротивление 1,0 Ом/см. Пленку наносят на деталь методом вакуумного напыления или вжигания в материал изоляционного слоя 4, в качестве которого рекомендуются высокотемпературные окислы AI2O3 [36] или эмали ЭВК-14, ЭЖ-ЮОО, обладающие хорошей адгезией, малой пористостью и высокой стойкостью к тепловым ударам. [c.165]

Для получения плотных алюминиевых покрытий на углеродных волокнах был с успехом опробован метод вакуумного напыления, однако при этом способе металлизации существует значительный экранный эффект, и для получения равномерных покрытий по всему сечению жгута необходимо перед напылением укладывать жгут в тонкую ленту. Из покрытых алюминием углеродных волокон методом горячего прессования получили компактные образцы композиционного материала. Распределение волокон в материале в целом оказалось достаточно равномерным, однако механические характеристики материала были невысокими, очевидно из-за недостаточной прочности связи матрицы и волокна (наблюдалось отслаивание алюминия от волокон). Более успешные эксперименты проведены по алюминированию волокон методом химического осаждения при термическом разложении триизобутила алюминия экранный эффект в этом случае не проявляется и покрытия получаются однородными по всему сечению углеродного жгута. Были сделаны также попытки изготовления углеалюминиевого материала из покрытых таким образом волокон методами горячего и холодного прессования, но из-за малого количества полученного материала его свойства не определялись. [c.369]

Первая работа Джексона 139] посвящена исследованию взаимодействия углеродных волокон с алюминием. Исследование было проведено на микрообразцах композиционного материала, представляющих собой углеродный жгут с нанесенным на него методом вакуумного напыления слоем алюминия. Микрообразцы композиции подвергались термообработке по различным режимам, после чего проводились механические испытания волокон. Результаты испытаний показали, что прочность волокон, обработанных в контакте с алюминием при 500° С в течение 7 суток, заметно не уменьшается. Взаимодействие углеродных волокон с алюминиевой матрицей, приводящее к разупрочнению волокон, про-твляется лишь после термообработки в течение 24 ч при темпера-уре 600° С и выше (рис. 22). На основании этих экспериментов был сделан вывод о том, что рабочая температура углеалюминиевого композиционного материала может быть выше 400° С. [c.372]

В с. 1учае твердого диэлектрика используют следующие методы создания электродов метод нанесения серебряной пасты, метод вжигания серсбра (папрнмер, в керамику или в слюду, т. е. в материалы, выдерживающие 500—800°С), метод наклеивания металлической (например, оловянной) фольги толщиной порядка 0,005 мм с помощью небольщого количества клеящего вещества (например, вазелина), метод вакуумного напыления, метод гальванического нанесения никеля или других металлов, метод использования ртутных электродов. В этих случаях значение Со следует находить путем расчета по геометрическим размерам. Для конденсатора с параллельными пластинами, если расстояние между пластинами с/, м, значение Со, Ф/м , находят по формуле [c.57]

Для нанесения покрытий данным методом применяют глубокий вакуум, под действием которого порошкообразный материал втягивается в камеру, где находится разогретое и подготовленное к облицовке изделие. При попадании порошка на поверхность изделия происходит его оплавление и формирование покрытия. В этот период в камере поддерживается высокий вакуум. Отсутствие воздуха в период плавления и формирования покрытия позволяет избежать нежелательных окислительных процессов деструкции. Запантентован процесс, предусматривающий нанесение покрытий методом вакуумного напыления, лучше всего он применим для облицовки различных трубок, химических сосудов. В этом случае можно использовать порошки на основе пентона, применение которых несколько ограничено в других случаях, а также найлоновые порошки (в меньшей степени). [c.526]

При контактном методе электрообогрева температуру нагревателя можно понизить за счет хорошего термического контакта между нагревателем и стенкой трубы. Одним из способов обеспечения термического контакта является создание электроизоляции, а иногда и самого нагревателя методом вакуумного напыления. В качестве электроизоляции для ТВТТ может служить алунд или окись бериллия, нагревательный элемент можно изготовить из вольфрама или молибдена. При работе с такими нагревателями следует избегать термокачек — вследствие различия в коэффициентах термического расширения и температуропроводности при резком изменении температур возможно растрескивание электроизолятора и нагревателя. [c.74]

В табл. 8,3 даны основные конструкторские требования и технологические ограничения, которые должны быть учтены лри разработке и оформлении топологических чертежей тонкопленочных микросхем, изготовленных следуюи имп методами вакуумного напыления масочным (М), фотолитографическим (Ф), совмещенным масочным и фотолн-тографическим (МФ), основанным на тантале, и электронно-ионным (ЭР1), Пример топологического чертежа тонкопленочной микросхемы приведен на рис, 8.7. [c.279]

Главной особенностью вакуумного напыления методом конденсации ионной бомбардировкой (КИБ) является возможность подготовки поверхности образца путем ее очистки в тлеющем разряде, а также бомбардировкой ускоренными ионами. Бомбардировка ускоренными ионами приводит к частичному распылению материала образца, внедрению ионов в поверхностный слой и создает благоприятные условия для повышения адгезионной прочности покрытия с основой. Состав осажденного гюкрытия и прочность его сцепления с основой определяются составом газовой среды, содержанием остаточных элементов (СО2, О2, Н2О), уровнем вакуума и качеством подготовки поверхности. Для подготовки образцов перед напылением наиболее предпочтительна виброабразивная обработка с последующей очисткой в ультразвуковой ванне. Затем образцы следует промыть в горячей ванне и высушить в струе горячего воздуха. [c.249]

Электролюминофоры. Люминофоры, в которых люминесценция возникает под воздействием прилагаемого электрического поля, называют электролюминофорами. Электролюминофор заключен между непрозрачным и прозрачным электродами, которые наносят на пластинку из стекла, слюды и т. п. Обычно используют либо композицию — смесь поликристаллического мелкодисперсного люминофора со связывающим диэлектриком (смолой), либо поликристаллические пленки люминофоров, получаемые осаждением газотранспортным методом или вакуумным напылением. Излучение электролюминесцентных источников света имеет высокую монохроматичность, малую инерционность и большую крутизну характеристики яркости высвечивания от напряжения. Основными составами являются соединения типа А — активированные различными примесями, в основном соединения цинка и кадмия ZnS, ZnSe, (Zn d)S и др. В качестве активирующих примесей используются Мп, А1, Ag, Си и др. Высвечивание сернистого цинка с разнообразными активаторами соответствует той или иной полосе спектра. [c.205]

Полуфабрикаты (слойные заготовки) металлических композиционных материалов обычно получают намоткой волокон (борных) на алюминиевую фольгу, закрепленную на оправке, с использованием клея или методов плазменного напыления. Полученная заготовка снимается с оправки, раскатывается и используется как листовой полуфабрикат. В процессе вакуумного горячего прессования происходит диффузионная сварка алюминиевой матрицы. При этом, так же как при использовании полимерных матриц, трудно избея ать пористости, в связи с чем должен быть обеспечен строгий контроль параметров процесса. [c.63]

Способы получения аморфного состояния могут быть отнесены к одной из следующих групп закалка из жидкого состояния (спиннингование расплава, центробежная закалка, метод выстреливания, метод молота и наковальни, вытягивание расплава в стеклянном капилляре и др.), закалка из газовой фазы (вакуумное напыление, ионно-плазменное распыление, химические реакции в газовой фазе и др.), амор-физация кристаллического тела при высокоэнергетических воздействиях (облучение частицами поверхности кристалла, лазерное облучение, воздействия ударной волной, ионная имплантация и др.), химическая или электрохимическая металлизация. [c.554]

Крупные конструкции, такие как корпуса судов, изготовляют в основном мокрой ручной выкладкой или методами напыления с использованием полиэфирных смол, отверждаемых при комнатной температуре. Для менее распространенных узлов, требующих более высокого качества материалов, используются СВКМ с более высоким содержанием стекловолокна и применяя метод вакуумного формования с эластичной мембраной. Для более крупных партий изделий используют тщательно подогнанные металлические формы. [c.513]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...