Распыление катодное

В зависимости от способа нагрева материала, подлежащего нанесению, существуют следующие разновидности получения пленок в вакууме термическое испарение, испарение электронным лучом, реактивное катодное распыление, катодное распыление в высокочастотно.м разряде. [c.106]

РАЗРЯД (искровой имеет вид прерывистых зигзагообразных разветвляющихся нитей, быстро прекращающихся после пробоя разрядного промежутка уменьшения напряжения, вызванного самим разрядом кистевой относится к разновидности коронного разряда, сопровождающегося появлением искр вблизи острия коронный — высоковольтный самостоятельный разряд, возникающий в резко неоднородном электрическом поле вблизи электродов с большой кривизной поверхности (острие, проволока) лавинный электрический разряд в газе, в котором возникающие при ионизации электроны сами производят дальнейшую ионизацию несамостоятельный— газовый разряд, существующий при ионизации газа внешним ионизатором самостоятельный не требует для своего поддержания внешнего ионизатора тлеющий происходит самостоятельно в газе при низкой температуре катода, сравнительно малой плотности тока и пониженном по сравнению с атмосферным давлении газа электрический — прохождение электрического тока через вещество, сопровождающееся изменением состояния вещества под действием электрического поля) РАЗУПРОЧНЕНИЕ — понижение прочности и повышение пластичности предварительно упрочненных материалов, РАКЕТОДИНАМИКА — наука о движении летательных аппаратов, снабженных реактивными двигателями РАСПАД радиоактивный (альфа состоит в испускании тяжелыми ядрами некоторых химических элементов альфа-частиц бета обозначает три типа ядерных превращений электронный и позитронный распады, а также электронный захват гамма является жестким электромагнитным излучением, энергия которого испускается при переходах ядер из возбужденных энергетических состояний в основное или менее возбужденное состояние, а также при ядерных реакциях) РАСПЫЛЕНИЕ катодное — разрушение твердых тел при [c.269]

Ионное травление, травление с помощью катодного распыления, катодное травление.- [c.171]

Ионное травление, травление с помощью катодного распылении, катодное т р а н л е н и е. [c.171]

В среде аргона медь можно сваривать также и переменным током, при этом скорость сварки значительно ниже, а внешний вид шва лучше, чем при сварке постоянным током. При сварке переменным током проволокой Бр.КМц-1 бура для раскисления не требуется, так как расплавленный металл не имеет поверхностной пленки она удаляется вследствие катодного распыления. Катодное распыление основано на движении положительных ионов с большой скоростью к катоду и его бомбардировке. Процесс сварки происходит устойчиво и сварка возможна во всех пространственных положениях. [c.217]

Различают три основных вида реактивного распыления — катодное, ионное и высокочастотное. При реактивном распылении газовая среда (кислород, азот, метан, аммиак) химически активна по отношению к распыляемым материалам. [c.47]

При сварке на постоянном токе обратной полярности возрастает напряжение дуги, уменьщается устойчивость горения, резко снижается стойкость электрода и повыщается его нагрев. Однако дуга обратной полярности обладает важным технологическим свойством при ее воздействии на поверхность свариваемого металла очищается поверхность металла, удаляются поверхностные оксиды. Процесс удаления поверхностных оксидов получил название катодного распыления (катодной очистки). Это свойство используют при сварке алюминия, магния, бериллия и их сплавов, имеющих на поверхности прочные оксидные пленки. Поскольку при постоянном токе обратной полярности стойкость вольфрамового электрода низка, то для катодной очистки используют переменный ток. Таким образом, при сварке вольфрамовым электродом на переменном токе реализуются преимущества дуги прямой и обратной полярностей, т.е. обеспечиваются устойчивость электрода и разрушение поверхностных оксидов на изделии. [c.126]

В условиях аргонодуговой сварки на обратной полярности возможно удаление оксидной пленки за счет катодного распыления. Катодное распыление обусловлено бомбардировкой поверхности катода положительно заряженными ионами. Благодаря относительно большим размерам положительно заряженные ионы при соударении отдают свою энергию поверхностным атомам, создаются благоприятные условия для их испарения. При этом в первую очередь испаряются атомы поверхностных оксидных пленок. [c.113]

Однако дуга обратной полярности обладает важным технологическим свойством при ее воздействии на поверхность свариваемого металла происходит очистка поверхности металла, удаление поверхностных оксидов. Процесс удаления поверхностных оксидов получил название катодного распыления (катодной очист- [c.247]

В указанных экспериментах азимутальная неоднородность подачи паров висмута составила 10 %. Азимутальная неоднородность распыления катодных экранов, изготовленных из молибдена, была заметно выше. Средняя скорость катодного распыления мало менялась и составила 1,9-10" г/Кл для первой ступени двигателя и 1,7-10 г/Кл- для второй. Измеренные значения скорости уноса материала электродов невелики, и их дальнейшее уменьшение можно обеспечить сравнительно несложными средствами (увеличение азимутальной однородности подачи рабочего вещества, подбор более стойкого к катодному распылению материала катодов, профилирование магнитного поля с целью улучшения фокусировки ионного пучка и др.). [c.152]

Вентильный эффект обычно ухудшает стабильность процесса, формирование шва, чистоту поверхности, прочностные свойства соединения. Кроме того, постоянная составляющая вредно сказывается на работе сварочных трансформаторов и уменьшает катодное распыление на алюминиевом изделии. Для уменьшения постоянной составляющей включают конденсаторы, аккумуляторы или другие устройства, компенсирующие вентильный эффект. [c.92]

Полый катод используют для возбуждения спектров как газообразных, так и твердых веществ. В последнем случае для осуществления разряда трубку- заполняют каким-либо инертным газом (Не, Не, Аг и др.)- Вещество, помещаемое в полость катода, поступает в разряд в результате катодного распыления, которое имеет место под действием бомбардировки катода ионами. [c.74]

Основным механизмом возбуждения и ионизации атомов в полом катоде являются неупругие столкновения с электронами. Заметную роль в ионизации, а в ряде случаев и в возбуждении атомов исследуемого вещества, могут также играть соударения с возбужденными атомами инертных газов, находящихся в долгоживущих (метастабильных) состояниях. Гелий обладает наиболее высоким потенциалом возбуждения (19,8 эВ) и потенциалом ионизации (24,6 эВ). Вследствие этого средняя энергия электронов, характеризуемая электронной температурой, в разряде с гелием выше, чем с другими инертными газами. Поэтому в разряде с гелием удается получать спектры трудновозбудимых элементов и их ионов. Наоборот, в случае легковозбудимых элементов лучшие результаты дает использование более тяжелых газов, например аргона, поскольку они вызывают более интенсивное катодное распыление. [c.74]

На рис. 3 представлена зависимость скорости осаждения покрытия от температуры испарителя карбонила, т. е. от давления его паров в аппарате. Как видно, с увеличением давления скорость осаждения металла растет. При очень низких давлениях скорость катодного распыления преобладает над скоростью осаждения. [c.91]

Травление путем катодного распыления [c.22]

Предотвращение обрастания микроорганизмами и биокоррозии в водных и органических растворах достигается обработкой поверхности изделий радиоактивным технецием Тс или его соединениями. Толщина покрытий от моноатомного до 0,127 мм. Способ нанесения электрохимический, катодный, распылением, осаждением из газовой фазы, металлизацией, осаждением в вакууме [Пат. 608249 (Швейцария)]. [c.90]

Во втором случае нагреваемый источник покрытия получает сильный отрицательный заряд, а изделие, на которое наносится покрытие, заряжается положительно. Отрицательно заряженные молекулы пара притягиваются к положительно заряженным обрабатываемым изделиям, в результате чего происходит разряд и осаждение покрытия. Этот метод называется катодным распылением. Он обеспечивает равномерное покрытие без необходимости вращения изделия в камере. Конденсации металла на стенках камеры не происходит. Внутри камеры можно использовать вспомогательные катоды, что позволит ускорить процесс нанесения покрытия и обеспечить равномерную толщину покрытия по всей поверхности обрабатываемых деталей, включая углубления и неровности. [c.103]

Отличительной особенностью газофазных, химических или электрохимических методов получения композиционных материалов является отсутствие или незначительное температурное или механическое воздействие на волокна в процессе совмещения их с матрицей а также возможность формирования изделий или полуфабрикатов сложной конфигурации. Методы испарения и конденсации, катодное распыление и другие методы, не нашедшие широкого применения, в настояш,ей книге не рассматриваются. [c.167]

Существуют следующие разновидности плазмоионного распыления катодное, магнетронное, высокочастотное и в несамостоятельном газовом разряде. [c.114]

Б-2. Осаждение пленок реактивным катодным распылением. Катодное распыление основано на вырывании частиц металла из катода при бомбардировке его ионами газа, разогнанными до высоких скоростей постоянным полем в области катодного падения напряжения в тлеющем разряде. Давление газа, обычно инертного, 1—10 Па. Этим методом можно напылить пленку тугоплавкого металла, например тантала, а затем электрохимически оксидировать ее в водных электролитах. Пленка образованная на напыленном тантале, имеет более высокую электрическую прочность, чем пленка на куске металла. Слой диэлектрика можно напылить на подложку при катодном распылении металла, если инертный газ заменить кислородом тогда вырванные частицы металла окисляются и на подложку осаждается окисел металла. Этим способом были получены тонкие слои Та,05, ВеО и 8102- Из-за малой скорости процесса катодного распыления — порядка (0,1—1)-10" - м/с толщина слоев диэлектрика, как и металла, обычно не превышает 0,1—0,2 мкм. Описанным способом можно получить композиционный диэлектрик, состоящий из разных оксидов. Например, при катодном распылении кремния, поверхность которого на 25% покрыта алюминием, получался диэлектрик, содержащий 50% 810.2 и 50% А12О3, так как скорость распыления алюминия примерно в 2 раза выше скорости распыления кремния распыление осуществлялось в смеси Аг — О2 при давлении 3,3 Па. [c.380]

Селеновые выпрямители (рис. 93) собирают из отдельных селеновых элементов, представляюших собой алюминиевые пластины круглой или квадратной формы. Каждая из пластин покрыта тонким слоем кристаллического селена (50—60 мк), обладающего электропроводностью р-типа. На поверхность селена наносится тонкий слой серы, а на слой серы наносят распылением катодный сплав, состоя- [c.246]

Образующаяся при сварке тугоплавкая пленка окисла магния MgO (7 пл = 2500° С) затрудняет процесс сваркн. Для ее разрун10ния необходимо применять флюс либо использовать эффект катодного распыления при сварке вольфрамовым электродом в среде инертных защитных газов (ток переменный). [c.350]

Алюминиевые сплавы свариваются в инертных газах неплавящимся вольфрамовым элек-тродом и плавящимся электродом. При аргоно-дуговой сварке разрушение окисной пленки происходит за счет катодного распыления. [c.102]

Значительное сокращение (в 2—3 раза) общего времени процесса достигается при азотировании в тлеющем разряде (ионное азотирование), которое проводят в разреженной азотсодержащей атмосфере (NH., или Na), при подключении обрабатываемых деталей к отрицательному элекгроду — катоду Анодом является контейнер установки. Между катодом (деталью) и анодом возбуждается тлеющий разряд, и положительные ионы газа, бомбардируя lumep х пость катода, нагревают ее до температуры насыщения. Процесс ионного азотирования реализуется в две стадии первая—(.чнсгка поверхности катодным распылением вторая — собственно насыщение. [c.243]

Катодное распыление проводят в течение 50—60 мин [iiwi напряжении 1100—1400 В и давлении 0,13-10 —0,26-10 - Па В нронессе катодного распыления температура поверхности детали не нре-вын1ает 250 °С. Температура азотирования 470—580 "С, давление 1,3-КЯ —13-10 Па, рабочее напряжение 400—1100 В, продолжительность процесса составляет от I до 24 ч. [c.243]

Сильная окисляемость при высоких температурах с образованием тугоплавкой (Т л=2200°С) окисной пленки А1аОз, имеющей большую плотность по сравнению с алюминием (р=3,85 г/см ). Окисная пленка затрудняет сплавление, способствует непроварам и охрупчивает металл. Поэтому окисную пленку удаляют со свариваемых кромок механическими и химическими способами перед сваркой, во время сварки защищают зону сварки инертным газом, катодным распылением, применяют покрытия и флюсы на основе солей щелочных и щелочноземельных металлов (Na l, NaF, КС1 и [c.133]

Реактивное катодное распыление представляет процесс, в котором происходит вырывание атомов или частиц металлической мишени под действием бомбардировки ионами относительно высоких энергий в присутствии кислорода. Кислород реагирует с частицами напыляемого металла, образуя окислы. Синклэром [68] таким способом были получены пленки из двуо киси кремния, окиси алюминия и из алю. мосиликатов. Давление при этом составляло 332,5-10- Па, а напряжение— 1800 В. О получении пленочного покрытия из двуокиси титана с помощью реактивного катодного распыления сообщается Хейтманом [69]. [c.107]

Диэлектрические интерференционные слои обычно получают испарением соответствующих веществ в вакууме или катодным распылением. Это весьма тонкая операция, при которой фотоэлектрически контролируется интенсивность выделенной интерференционной полосы, достигающей экстремального значения при нанесении нового слоя диэлектрика оптической толщины /-/4. При массовой обработке оптических деталей эффективным оказывается также химический метод, позволяющий получать очень прочные стойкие диэлектрические слои при последовательном нанесении на стекло дозированных количеств растворов легко гидролизующихся соединений, что и используется для просветления оптики. [c.221]

Имплантация ионов Nb с энергией 30 кэВ при дозах 5 10 и 5 -10 ион/см в поверхность стали марки Х18Н9Т позволила получить легированный поверхностный сплав на глубине 20 нм. Увеличение концентрации ниобия не меняет относительного содержания железа, хрома и никеля в поверхностном слое стали, но существенно повышает его коррозионную стойкость в 20 %-ной серной кислоте после предварительной катодной обработки в течение 15 мин, смещая потенциал коррозии в положительную сторону. Однако максимальная концентрация ниобия в стали марки Х18Н9Т при этом ограничена 20 % в связи с распылением поверхности при дозе 5 10 ион/см . [c.76]

Об удовлетворительном выявлении структуры путем катодного распыления сообщено в работе [31]. Шлифованный образец устанавливают в качестве катода в электронной лампе (разрежение от 0,05 до 0,005 мм рт. ст.), анод лампы сделан из алюминия. При продолжительности эксперимента от 15 с до 10 мин в лампе создается напряжение от 2000 до 7500 В постоянного или переменного тока. В результате различной способности к распылению структурных составляющих выявляется структура образца. Структура медносеребряных сплавов хорошо проявляется после 15 с обработки, при этом первичный твердый раствор (особенно в литых образцах) и твердый раствор, богатый медью, в эвтектике окрашиваются в темно-коричневый цвет. Для успешного травления необходимо, чтобы образец содержал более одной, минимум две фазы, которые обладают различной склонностью к распылению. Так, медноцинковые сплавы с 28% Си хорошо протравли- [c.22]

Бенедикс [32] опробовал аналогичный электрический способ распыления для макроскопического исследования. В работе [33] металлическую поверхность подвергали катодному облучению в ионизированном аргоне. [c.23]

Покрытия из органических материалов подразделяются на две группы тонкослойные и толстослойные. Четкое разграничение между обеими этими группами невозможно. К тонкослойным относятся разнообразные покрытия из жидких смол и порошков, когда толщина слоя обычно составляет не более 300 мкм, а иногда доходит до 500 мкм. Обычно жидкие смолы наносят распылением с растворителем или без растворителя и затем подвергают отверждению. Порошковые смолы осалсдают электростатическим способом или наносят методом вихревого напыления. Для представляющего здесь интерес сочетания со способами катодной защиты могут быть названы следующие области применения строительные сооружения в пресной и морской воде, суда, резервуары для питьевой воды, а в последнее время также и трубопроводы [1]. Кро- [c.145]

Металлизационный метод предусматривает нанесение металлических покрытий (медь, кадмий с 0,1...0,3 % олова или цинк с 0,1 % алюминия или кадмия) газоплазменным или электродуго-вым распылением на предварительно обработанные поверхности прочным ЛКП. Основу последнего составляют этинолевый лак, эпоксидные смолы или битумные композиции. Для предотвращения расхода металла во время движения судов используют катодную защиту. [c.93]

Намагничивание тонких магнитных пленок. Под тонкими магнитными пленками понимают слои магнитного вещества толщиной я О, 1 мкм, нанесенные на немагнитную подложку. Наиболее широкое применение получили пленки пермаллоя, содерлощие л 20% Ni и л 80% Fe. На подложку оии наносятся методами термического испарения, катодного или ионно-плазменного распыления. [c.309]

При физической вакуумной конденсаиии покрывающий металл пе-эеводится в паровую фазу путем испарения или катодного распыления [c.81]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...