Напыление катодное

Аморфные твердые тела с тетраэдрическими связями, такие, как кремний, германий, соединения А В . Эти полупроводники в аморфном состоянии нельзя получить путем охлаждения расплава. Их получают, обычно, в виде тонких пленок с помощью различных методов осаждения (термическое испарение в вакууме, катодное напыление и т. д.). Их свойства в значительной степени подобны свойствам кристаллических аналогов. [c.360]

Несмотря на пористость и высокое содержание окисей, внутренняя проводимость напыленного металлического покрытия, а также проводимость на межфазной границе между покрытием и основным слоем достаточно хорошая. Благодаря этому покрытие оказывает либо анодную, либо катодную защиту в зависимости от металлов, используемых в качестве основного слоя и [c.76]

Многие алюминиевые сплавы (особенно содержащие медь, цинк и магний) менее устойчивы к действию коррозии, чем чистый алюминий. Кроме того, они подвержены таким особым видам коррозии, как растрескивание под действием внутренних напряжений и межкристаллитная коррозия. Но поскольку эти сплавы часто являются катодными (имеют более положительный потенциал по отношению к чистому алюминию), то они могут получить защитное действие при нанесении покрытия из чистого металла. Комбинированное покрытие также обладает большей природной коррозионной стойкостью, чем покрытие из чистого алюминия, сохраняя большую механическую прочность основного сплава. Как плакировка, так и напыление покрытия этого типа обеспечивают долгий срок службы деталей из алюминиевых сплавов, подвергаемых атмосферным воздействиям или эксплуатируемых в питьевой воде. [c.109]

Многочисленные результаты наблюдений и экспериментов, связанных е коррозией стальных свай в морской воде, собраны в обзоре литературы [137]. подготовленном в одном из исследовательских центров ВМС США. В этом обзорном докладе обсуждаются причины коррозии, влияние окружающих условий, скорости коррозии незащищенной стали, результаты испытаний защитных покрытий, применение катодной защиты и защитных бетонных оболочек. Отмечено, что наилучшие результаты среди всех исследованных покрытий были получены в случае газопламенного напыления цинка с последующей герметизацией сараном или винилом. Очень эффективны правильно спроектированные и изготовленные бетонные оболочки. Хорошие результаты дает применение катодной защиты, но лучше всего сочетать катодную защиту с нанесением защитного покрытия или бетонной оболочки. [c.178]

Вследствие высокой тугоплавкости предпочтительным методом получения танталовых пленок является катодное распыление, а не напыление в вакууме, хотя последний метод является наиболее предпочтительным для получения особо чистых пленок, в частности сверхпроводящих. Если не применять специальных мер предосторожности, пленки тантала содержат различные примеси. Попытки улучшить однородность и проконтролировать чистоту Танталовых пленок привели к улучшению процесса катодного распыления как общего метода получения тонких пленок. Фактически все модификации катодного и ионно-плазменного распыления разрабатывались первоначально для танталовой технологии. [c.437]

МЛТ-ЗМ Термическое напыление. Взрывное испарение. Испарители — проволока, фольга Катодное распыление Сг—А Сг —Си —N5 200—500 = 21 — 2 [c.440]

Т — термовакуумное напыление резистивным нагревом Э — нагрев электронной пушкой К - - катодное распыление. [c.450]

Метод катодного напыления. По существу этот метод имеет много общего с предыдущим [58]. Покрываемое изделие здесь служит катодом в высоковольтной установке. Распыляемым анодом служит или молибден, или вольфрам, соответственно по форме копирующий поверхность катода и удаленный от него на строго заданное расстояние. Этому методу присущи многие недостатки, характерные для метода физического испарения в вакууме, однако он позволяет получать покрытия с более высокой адгезией путем предварительного катодного травления ловерхности подложки. Применение этого метода из-за его -сложности также ограничено. Чаще всего он используется в научных исследованиях, например для получения реплик в электронной микроскопии и для получения пленочных элементов микросхем в электронике. [c.106]

Вакуумная металлизация основана на осаждении молекул металла на поверхности металлизируемого предмета, находящегося в вакууме. Это не новый метод. Уже в 1890 г. Эдисон заметил затемнение парами вольфрама лампы накаливания. В 1930 г. был разработан первый вид вакуумного метода, так называемое катодное напыление металла, а совершенствование вакуумных насосов привело к разработке в 1936 г. второго вида, основанного на тепловом испарении металла. [c.106]

Катодное напыление — процесс, при котором молекулы металла отрываются от его поверхности в атмосфере разреженного газа при помощи электрической дуги и осаждаются на соответственно расположенной поверхности обрабатываемого изделия, образуя тонкое покрытие. Недостатком катодного напыления является загрязнение металлической поверхности в результате реакции металла с газом, образующим защитную атмосферу. Однако этот способ является лучшим для распыления платины, родия, иридия и палладия. [c.106]

Мнение о том, что эта скорость при вакуумном напылении почти на порядок меньше, чем прн катодном, не является общепринятым. Прим. ред. [c.35]

Для получения воспроизводимых условий разряда, а следовательно, и воспроизводимых по толщине угольных пленок, необходимо после каждого напыления чистить анодную и катодную пластины от нагара — осевшей на них угольной пленки. [c.64]

По способу получения металлические покрытия делятся на гальванические, диффузионные, контактные, горячие, ваку-умно-и катодно-напыленные, плакированные и т. д. Особое значение гальванических покрытий в решении проблемы защиты металлов от коррозии заставляет выделить их в отдельную главу. [c.193]

Методом, подобным вакуумному напылению, является катодное напыление, когда предмет, на который наносится покрытие, размещается в электрическом поле вблизи катода. [c.204]

Несмотря на пористость и высокое содержание оксидов, внутренняя проводимость напыленного металлического покрытия, а также проводимость на межфазной границе между покрытием и основным слоем достаточно хорошая. Благодаря этому покрытие оказывает либо анодную, либо катодную защиту в зависимости от металлов, используемых в качестве основного слоя и покрытия. Однако пористый характер покрытия, получаемого методом металлизации, способствует возникновению коррозии внутри покрывающего слоя, хотя продукты коррозии могут задерживаться, закупоривая поры и замедляя дальнейшую коррозию. [c.45]

Создана вакуумная установка катодного напыления и разработаны методики интерференционных покрытий, стойких к лазерному излучению и механически прочных для всех длин волн. На ней изготовлены зеркала для экспериментальных лазеров и оптических схем съемки, копирования и проекции, а также многослойные диэлектрические покрытия для осветительной оптики импульсных лазеров. [c.157]

Улучшение эксплуатационных свойств пористых силицированных покрытий достигается заполнением пор методами гальванического осаждения, катодного напыления, осаждения из расплава, шаржирования. Заполнение пор антифрикционными или материалами повышенной твёрдости существенно изменяет триботехнические и антикоррозионные характеристики. [c.597]

Желательно применять платиновые соединительные проводники, сохраняющие достаточную проводимость при высоких температурах, не окисляющиеся в воздушной среде и не сублимирующие в высоком вакууме, а контакт проводников с электродами осуществлять при помощи сварки. Электроды должны обладать высокой электропроводностью, хорошо и надежно контактировать с образцом, не оказывая при этом на него отрицательного влияния (деформировать, вступать в химическое взаимодействие, диффундировать в толщу), не должны изменять свою форму и размеры под воздействием окружающих сред и температуры (сплавляться, окисляться и т. д.). Применение платины, наносимой на образец методом катодного напыления, в сочетании с накладными электродами из платины или нержавеющей стали, обкатанной платиной в месте соприкосновения с поверхностью образца, создает надежный контакт в процессе определения электрических показателей качества материалов в диапазоне температур 20—600 С. Для удобства измерений, связанных с высокими температурами и ограниченным объемом измерительных камер, рекомендуются электроды с оптимальными в этих условиях габаритными размерами диаметр измерительного электрода 25 мм, высоковольтного 40 мм, ширина охранного кольца 5 мм. В диапазоне температур 300—600 °С возможно применение двухэлектродной системы. [c.295]

Катодное напыление производится в вакуум-камере, в которую помещают две пластины — катодную и анодную. Катодную пластину изготовляют из металла, которым наносят покрытие, анодную — из любого другого. На анодную пластину помещают покрываемые изделия. Катодную пластину устанавливают на расстоянии 1—10 см от покрываемых изделий, в зависимости от степени разрежения в камере (оно должно быть порядка 10 мм рт. ст.) и разности потенциалов между электродами, которая обычно находится в пределах от 1 до 20 кв. [c.591]

Напыление в высоком вакууме и катодное [c.406]

Метод катодного распыления аналогичен методу напыления в высоком вакууме. При катодном распылении возникает электрический разряд в газе в результате приложения высокого напряжения, при этом проходящий ток распыляет металл катода. Часто напыление в высоком вакууме комбинируют с катодным распылением. [c.407]

Применение платины, наносимой на образец методом катодного напыления, в сочетании с накладными электродами из платины или нержавеющей стали, обкатанной платиной в плоскости соприкосновения с образцом, создает надежный контакт в процессе определения диэлектрических свойств материалов при 20—600°С. Для удобства измерений, связанных с высокими температурами и ограниченными по объему измерительными камерами, выбраны электроды с оптимальными в этих условиях габаритными размерами диаметр измерительного электрода 25 мм, электрода высокого напряжения 40 мм, ширина охранного кольца 5 мм. При 300—600°С возможно применение двухэлектродной системы, что не вносит существенных ошибок в результаты измерения удельного объемного сопротивления р и тангенса угла диэлектрических потерь (табл. 1.1 и 1.2) и значительно упрощает метод измерения при высоких температурах, так как при одновременном измерении большого количества образцов без нарушения режима исследований необходимо применение манипуляторов для перестановки электродов или образцов. [c.11]

Среди физических газоразрядных методов наибольшую популярность имеет метод катодного распыления металлов. Техника катодного распыления в настоящее время представлена многими конструкциями установок и устройств, центральной частью которых является система катод — анод (рис. 15). Распыляемый металл (мишень) крепится на катоде, либо сам является катодом, а на аноде помещают детали, подлежащие напылению. Катод распыляется в тлеющем разряде под действием положительных ионов инертных газов, водорода, ртути и иногда других химически ней- [c.40]

Распыление аэрозолей, суспензий шаржирование катодное напыление тонких пленок в вакууме [c.38]

Осаждение паров. Спекание не является единственным способом получения пористого слоя, находящегося в тесном контакте с внутренней стенкой тепловой трубы. Указанная цель может быть достигнута с помощью других технологий, которые включают в себя покрытие осаждением из паровой фазы, катодное и плазменное напыление. Фирма ВВ (английский патент 1313525) описывает процесс, известный как покрытие осаждением из паровой фазы, который был успешно применен при создании фитиля тепловой трубы. Этот процесс включает в себя покрытие внутренней поверхности тепловой трубы слоем вольфрама в результате реакции паров гексафторида вольфрама с водородом. Пористость образующегося слоя регулируется температурой покрываемой поверхности, скоростью перемещения подающего пар сопла и расстоянием от сопла до покрываемой поверхности. [c.124]

ИЗНОСОСТОЙКИЕ АНТИФРИКЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ КАТОДНОГО НАПЫЛЕНИЯ [c.121]

Исследованию метода катодного напыления посвящены несколько монографий и ряд статей [6, 23], однако применительно к получению антифрикционных износостойких покрытий этот метод исследован очень мало, хотя он является весьма перспективным для получения антифрикционных износостойких покрытий. Особенности этого метода состоят в том, что он позволяет наносить многокомпонентные покрытия с регулируемым количественным соотношением составляющих наносимые покрытия имеют очень тонкую структуру. Вместе с тем многие вопросы, касающиеся химического состава, физических свойств, структуры покрытий, полученных из многокомпонентных оснований, до сих пор практически не изучены. Точно не установлено, меняется ли химический состав и строение вещества, перенесенного методом катодного напыления на подложку. Неизвестно, меняется ли процентное соотношение компонентов в покрытии в сравнении с первоначальным составом наносимого материала. Неизвестно, как располагаются атомы многокомпонентного покрытия. Образуют ли они кристаллы, соответствующие первоначальным веществам по химическому составу и строению, или нет Как, в каком порядке располагаются кристаллы многокомпонентных веществ [c.121]

Особенности катодного напыления. Как отмечалось, катодное напыление основано на явлении, при котором с поверхности любого вещества, бомбардируемого ионами или атомами с достаточно большой энергией, вылетают атомы этого вещества и осаждаются на расположенных вблизи твердых поверхностях. Существует много методов генерации ионов, однако наиболее часто применяется простейший метод с использованием тлеющего разряда, который зажигается при подведении высокого напряжения к двум плоским электродам, помещенным в среду разреженного газа с давлением от 10 до мм рт. ст. Существует несколько теорий, объясняющих явление катодного напыления. Наиболее логична теория, основанная на механизме [c.121]

Катодное поведение электростатических и электрофоретических алюминиевых покрытий подобно поведению чистого алюминия. Они сильно поляризуются уже при малых плотностях тока и имеют достаточно высокое перенапряжение вьоделения водорода. Электрофоретические алюминиевые покрытия обладают наибольшим значением перенапряжения водорода по сравнению с покрытия.ми, пол>ченны. ш ikj собом электростатического и вакуумного напыления. При получении покрытий из порошковых материалов на электрохимические свойства [c.81]

Покрытия из органических материалов подразделяются на две группы тонкослойные и толстослойные. Четкое разграничение между обеими этими группами невозможно. К тонкослойным относятся разнообразные покрытия из жидких смол и порошков, когда толщина слоя обычно составляет не более 300 мкм, а иногда доходит до 500 мкм. Обычно жидкие смолы наносят распылением с растворителем или без растворителя и затем подвергают отверждению. Порошковые смолы осалсдают электростатическим способом или наносят методом вихревого напыления. Для представляющего здесь интерес сочетания со способами катодной защиты могут быть названы следующие области применения строительные сооружения в пресной и морской воде, суда, резервуары для питьевой воды, а в последнее время также и трубопроводы [1]. Кро- [c.145]

Изделия, на которые наносится покрытие в вакуумной камере, обычно подвергают предварительной очистке, обезжириванию и тщательной просущке. Во время откачивания воздуха из вакуумной камеры удаляются газы, оставшиеся при обработке изделия. Процессы выведения газа и получения рабочего давления в камере можно обеспечить и ускорить, если покрыть изделие лаком. Металл осаждается тогда на поверхность, покрытую лаком. При использовании простого процесса конденсации в вакууме металлические и неметаллические изделия обрабатываются одинаково. При катодном напылении необходимо предварительно обработать неметаллические изделия лаками, проводящими ток, чтобы они смогли принять электрический заряд высокого напряжения. [c.103]

Методом пропитки в вакууме получали композиционный материал на основе алюминия, упрочненного нитевидными кристаллами окиси алюминия. Технологический процесс заключался в предварительном получении полуфабрикатов в виде ленты из проволочной сетки с нанесенными на нее после воздушной сепарации нитевидными кристаллами. Такая лента разрезалась на отрезки определенной длины, которые подвергались на специальной установке прокатке до необходимой толщины. На полученные таким образом листы методом катодного напыления наносили покрытие из нихрома (60% Ni —24% Fe—16% r) или из углеродистой стали. Листы с покрытием пропитывались жидким алюминием. Полученный таким образом материал, содержащий 20 об.% нитевидных кристаллов AI2O3, имел при 500° С предел прочности 21 кгс/мм и длительную, 100-часовую прочность при этой же температуре 8,4 кгс(мм . По данным работы [174] модуль упругости композиции алюминий — усы AljOa составлял 12 6000 кгс/мм2. [c.100]

Химико-термические методы упрочнения поверхности для повышения износостойкости за счет увеличения поверхностной твердости (цементация, азотирование, цианирование, борирование и др. процессы) весьма эффективны для повышения сопротивления абразивному изнашиванию. Для улучшения противозадирных свойств создаются (посредством сульфиди-рования, сульфо-цианирования, селенирования, азотирования) тонкие поверхностные слои, обогащенные химическими соединениями, предотвращающими схватывание и задир при трении.. Большой эффект получается при использовании метода карбонитрации. Широко применяются электрохимические методы нанесения покрытий А1, РЬ, Sn, Ag, Au и др. При восстановлении деталей (в ремонте) используется электролитическое хромирование, никелирование, железнение и др. Значительная часть технологических задач, связанных с необходимостью повышения износостойкости, коррозионной стойкости, жаропрочности, восстановительного ремонта и др. решается при использовании методов металлизации напылением, включающих газоплазменную металлизацию, электродуговую, плазменную, высокочастотную индукционную металлизацию и детонационное напыление покрытий - наносятся металлы и сплавы, оксиды, карбиды, бориды, стекло, фосфор, органические материалы. Плазменное напыление используют для нанесения тугоплавких покрытий окиси алюминия, вольфрама, молибдена, ниобия, интерметаллидов, силицидов, карбидов, боридов и др. Детонационное напыление имеет преимущество в связи с незначительным нагревом покрываемой детали и распыляемых частиц. В последнее время активно развиваются методы нанесения износостойких покрытий в вакууме катодное распыление, термическое напыление, ионное осаждение. В зависимости от реакционной способности газовой среды методы напыления [c.199]

МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ СТЕКЛА (метглассы) — разновидность аморфных металлов, аморфные сплавы с ме-таллич. типом проводимости, к-рые не имеют дальнего порядка в пространств, расположении атомов и характеризуются макроскопич, коэф. сдвиговой вязкости т] й 10 —10 Па. Их изготавливают в виде плёнок, лент и проволок с помощью спец. техн. приёмов (закалка из расплава при типичных скоростях охлаждения К/с, термич. напыление или катодное распыление в вакууме на охлаждаемую подложку и т. д,), к-рые ведут к быстрому затвердеванию сплавлнемых компонентов в относительно узком температурном интервале около т. н. температуры стеклования Тд. [c.108]

Эффективную противокоррозионную защиту оборудования обеспечивают покрытия, для получения которых могут быть использованы основные методы нанесения покрытий в вакуумег катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Из них наиболее перспективным вследствие высокой эффективности защитного действия является метод ионного осаждения в вакууме. [c.125]

Состав недиффузионных покрытий необходимо выбирать таким образом, чтобы обеспечить совместимость материала покрытия и основы при температурах эксплуатации, а также высокую адгезию покрытия с основой. Эти покрытия наносят методами химического осаждения из газовой фазы, а также различными методами напыления (пламенного, плазменного, детонационного). В последние годы развиваются методы электронно-лучевого напыления покрытий в вакууме, а также напыление различных элементов и соединений с использованием электрических и магнитных полей (ионно-плазменное, в том числе магнетрон ное, катодное напыление, нанесение покрытий в тдёю-щем и высокочастотном разряде и т. д.). При достаточно высокой температуре процесса часть напыленного покрытия может превратиться в диффузионное. [c.432]

Другим методом нанесения тонких износостойких покрытий является метод катодного напыления и ионной бомбардировки. Сущность этого метода заключается в том, что с помощью электро-дугового испарителя наносимый на поверхность инструментов материал (титан, молибден) в вакуумной камере переводится в парообразное состояние (вакуум 1,33-10 —1,33-10 Па). При наличии напряжения на катоде (анодом служит обрабатываемое изделие, а катодом — металл-испаритель) и подачи в камеру азота или другого газа, содержащего азот, ионы испарившегося металла, взаимодействуя с ионами азота, образуют нитриды испарившегося металла (молибдена или титана) и осаждаются на поверхности инструментов, создавая тонкую пленку (0,004— 0,008 мм). Для равномерного нанесения пленок на режущие кромки многозубых инструментов последние загружаются в специальный барабан камеры и вращаются относительно катодов. В настоящее время для упрочнения твердосплавных пластинок износостойкой пленкой выпускаются установки моделей Бу-лат-2м и Вулат-Зм . Основные технические характеристики установки Булат-2м приведены ниже. [c.369]

Влагостойкость составов до и после гидрофибизации оценивали посредством определения удельного объемного сопротивления и электрической прочности в процессе непрерывного увлажнения в течение 240 ч и циклического (чередования увлажнения и старения при 300°С). Для этого образцы состава С-8М помещали в гигростат с 95 2%-ной относительной влажностью при температуре 20гЬ2°С на 24, 48, 120 и 240 ч. Перед выдержкой в среде с повышенной влажностью на образцы пропиточного состава наносили слой платины диаметром 25 мм методом катодного напыления. Определение р и пр проводили через указанные выше промежутки времени немедленно после извлечения образцов из кзхмеры влажности. [c.124]

Металлизация поверхностж осуществляется в тех случаях, когда форма изготовлена из неметалла. Основное назначение данной операции — создание токопроводящего слоя, позволяющего осаждать металл на поверхности формы. Токопроводящие слои наносят механическим, хиьшческим путем, напылением металлов в высоком вакууме, катодным распылением ж восстановлением металлов из газовой фазы. [c.289]

Нанесение металлических покрытий производится несколькими методами. Напыление расплавленных металлов применяется для термореактивных пластмасс, гальванопластика — для термореакт твных и термопластичных, вакуум-катодное напыление — при нанесении металла на полиэтилен, фторопда-сты и др. [c.100]

Б-2. Осаждение пленок реактивным катодным распылением. Катодное распыление основано на вырывании частиц металла из катода при бомбардировке его ионами газа, разогнанными до высоких скоростей постоянным полем в области катодного падения напряжения в тлеющем разряде. Давление газа, обычно инертного, 1—10 Па. Этим методом можно напылить пленку тугоплавкого металла, например тантала, а затем электрохимически оксидировать ее в водных электролитах. Пленка образованная на напыленном тантале, имеет более высокую электрическую прочность, чем пленка на куске металла. Слой диэлектрика можно напылить на подложку при катодном распылении металла, если инертный газ заменить кислородом тогда вырванные частицы металла окисляются и на подложку осаждается окисел металла. Этим способом были получены тонкие слои Та,05, ВеО и 8102- Из-за малой скорости процесса катодного распыления — порядка (0,1—1)-10" - м/с толщина слоев диэлектрика, как и металла, обычно не превышает 0,1—0,2 мкм. Описанным способом можно получить композиционный диэлектрик, состоящий из разных оксидов. Например, при катодном распылении кремния, поверхность которого на 25% покрыта алюминием, получался диэлектрик, содержащий 50% 810.2 и 50% А12О3, так как скорость распыления алюминия примерно в 2 раза выше скорости распыления кремния распыление осуществлялось в смеси Аг — О2 при давлении 3,3 Па. [c.380]

Метод катодного напыления основан на бомбардировании ионами или атомами поверхности наносимого вещества. В результате бомбардирования атомы наносимого вещества, получив [c.115]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...