Напыление вакуумное

СИНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ ПРИ РЕАКТИВНОМ НАПЫЛЕНИИ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ [c.178]

Существующие методы нанесения покрытий делятся на следующие основные группы твердофазное плакирование, погружение в расплавленные соли, химическое осаждение, электрохимическое осаждение, газотермическое напыление, вакуумно-конденсационное напыление, диффузионное насыщение. В данной главе рассмотрим методы нанесения покрытий, в которых используются такие источники теплоты как газопламенные, дуговые, плазменные, электронно-лучевые, широко применяемые для сварочных процессов, т.е. [c.224]

Напыление вакуумное конденсационное (осаждение) 224 - Технологические особенности 225 [c.472]

Вакуумное напыление широко используют в оптике для нанесения тонких металлических пленок на поверхность изделий, имеющих низкую температуру... [c.106]

В работе [101] рассмотрена иная методика измерения теплопроводности напыленных покрытий. Толщина покрытия из окиси алюминия для первого образца составляла 130 мкм, второго — 300 мкм. Исследования проводились на образцах длиной около 0,4 м, помещенных в вакуумную камеру, схема которой представлена на рис. 6-2 [102]. Измерение температуры образца производилось оптическим пирометром, для чего на трубчатом или стержневом металлическом нагревателе создавались полости, имитирующие излучение черного тела. Образцы выбирались достаточной длины с охлаждаемыми концами. [c.130]

В последние годы достигнуты значительные успехи в создании различных функциональных покрытии, применяемых в электронной, вакуумной, медицинской технике, электрофизической аппаратуре и производстве товаров народного потребления. Плазменное напыление позволяет формировать покрытия с заранее предсказуемыми свойст- [c.182]

Стеклообразные полупроводники могут быть изготовлены как в виде объемных образцов методом охлаждения расплава, так и в виде тонких пленок, получаемых различными методами вакуумного напыления. [c.11]

Реализация технологий нанесения многослойных покрытий возможна на оборудовании, предусматривающем использование двух катодов и более, расположенных в рабочей камере. Процесс напыления осуществляется в едином вакуумном цикле поочередным включением катодов. При этом формирование поверхностных слоев происходит в газовой среде, состав которой определяется технологическими задачами. [c.263]

В работе [25] на основании результатов проведенных исследований для анализа воздействия покрытий на прочностные свойства основы предложено разбить их на две группы. В первую включены покрытия в виде слоев (пленок), нанесенных гальваническим способом, вакуумным или плазменным напылением, в этом случае между покрытием и основным металлом не образуются промежуточные слои. Вторую группу составляют диффузионные покрытия, состоящие из твердых растворов или соединений. [c.21]

Для большинства производимых в настоящее время автомобилей рассеиватели задних фонарей и катафоты изготовляются формованием полиэфирных или термопластических смол, упрочненных стекловолокном. Сложность формы подобных деталей, а также необходимость достижения точной отражающей поверхности послужили причиной выбора этих материалов. Увеличение отражающей поверхности достигается вакуумным напылением металла на поверхность отражателя. [c.23]

Первые установки для тепловой микроскопии были снабжены приспособлениями в виде шторки или заслонки из металлического листа. Внутри рабочей камеры установки такая шторка при помощи электромагнитного толкателя, введенного через вакуумное уплотнение, перемещалась параллельно плоскости смотрового стекла. Шторка располагалась в промежутке между поверхностью образца и смотровым стеклом. Небольшое отверстие в ней на время наблюдения за структурой образца совмещалось с оптической осью объектива микроскопа, находящегося снаружи вакуумной камеры. При этом напыление на смотровое стекло происходило только во время наблюдения и фотографирования строения образца. Недостаток приспособления заключался в том, что после окончания опыта нужно было очищать смотровое стекло от слоя конденсата. [c.86]

Рис. 75. Объектив МИМ-13-СО а — оптическая схема / — склейка третьей и четвертой линз 2 — первая линза 3 — четвертая линза 4 — пятая линза 5 кварцевое смотровое стекло в корпусе вакуумной камеры 6 — кварцевое стекло в устройстве для защиты от напыления 7 — исследуемый образец 8 — апертурная диафрагма б — внешний вид

Одной из особенностей технологии металлических композиционных материалов является то, что применение какого-либо одного из известных технологических процессов не позволяет получить компактный материал, обладающий требуемыми свойствами. При изготовлении таких материалов весьма часто приходится прибегать к последовательному осуществлению двух и более технологических процессов, например плазменного напыления и последующего горячего прессования, горячего прессования и последующей прокатки и т. д. К одному из таких комбинированных методов изготовления металлических композиционных материалов относится и вакуумно-компрессионная пропитка, сочетающая в себе элементы вакуумной пропитки и литья под давлением. [c.105]

Эвтектическая диффузионная пайка боралюминия. Для соединения деталей из боралюминия между собой или с элементами конструкций из алюминиевых сплавов возможно использование способа эвтектической диффузионной пайки, заключающегося в нанесении тонкого слоя второго металла, образующего в результате взаимной диффузии эвтектику с металлом матрицы. В зависимости от состава матричного алюминиевого сплава могут быть использованы следующие металлы, образующие эвтектику серебро, медь, магний, германий, цинк, имеющие температуры образования эвтектик с алюминием 566, 547, 438, 424 и 382° С соответственно. В результате дальнейшей диффузии металла покрытия в основной металл концентрация его снижается, и температура плавления в зоне соединения постепенно повышается, приближаясь к температуре плавления матрицы. Таким образом, паяные соединения способны работать при температурах, превышающих температуру пайки. Однако необходимость строгого регламентирования толщины покрытия, а также чистоты покрытия и покрываемой поверхности, использование для получения таких покрытий метода вакуумного напыления делают этот процесс экономически нецелесообразным. [c.192]

При термическом напылении в вакууме металл покрытия помещают в вакуумную камеру (давление 10 —10 Па) и нагревают до температуры, при которой давление его паров достигает порядка 1 Па. На пути потока паров металла помещают защищаемую поверхность, на которую они осаждаются. [c.140]

Технологический процесс нанесения такой сетки заключается в том, что на полированную и очищенную поверхность накладывают трафаретную сетку из меди, никеля или других металлов, а затем модель с трафаретной сеткой помещают в специальную вакуумную печь, приспособленную для напыления металлов, имеющих невысокую температуру плавления (золото, сурьма и др.). [c.39]

Нагеля — Тауца условие 204 Намагниченность 132, 135, 138, 165 Напыление вакуумное 30 [c.328]

Суть разработки состоит в организации мелкосерийного внцуска ряда радиоизотопных источников специального назначения,обладающих повышенныш эксплуатационными характеристиками и совместимых о электровакуумной технологией приборов, составной частью которых они являются. Технология изготовления источников многостадийная, включает в себя следующие основные операции механообработку,хим-обработку, вакуумный отжиг, вакуумное напыление,вакуумное изотопное насыщение, контроль параметров, дезактивацию, сборку, упаковку в защитной атмосфере. [c.187]

Сущность метода заключается в том, что н.апыляемый материал нагревается в вакуумной камере (давление 133-10 — 133-10 Па) до температуры, при которой давление металлических паров становится достаточно высоким для их конденсации на холодном образце. Поскольку напыление осуществляется в вакууме, то исключаются многие факторы, влияющие на изменение химического состава подложки, а также наносимого материала. [c.106]

Основные трудности метода напыления в вакууме состоят в том, чтобы по,ддержать достаточную конденсацию паров наносимого материала вблизи подложки. Отметим также, что обычно при вакуумном нанесении получаются сильно напряженные покрытия. Если подложка во время испарения не нагревается, качество пленок, как правило, становится неудовлетворительным нагрев же подложки до высоких температур приводит к диффузии напыляе- [c.107]

При испытаниях наблюдается зонная аррозия, травление и полирование. а также напыление компонентов металла, керамики, неметаллических материалов, в различных зонах вакуумных камер, влияющих на работу источников и вносящих погрешности в измеряемые характеристики изделий. Кроме того, возможный зонный разогрев до 400—800 С на стбнки н элементы стендов нарушает их работоспособность и требует применения защитных экранов, жалюдей. [c.101]

В последнее время в микроэлектронике широко используют си-таллы. Для получения этого класса материалов в расплав, в котором приданных условиях центры кристаллизации отсутствуют, их искусственно вводят, например, в виде инородных частиц. Такие материалы обладают заранее заданными свойствами. Пластины из ситалла могут служить не только подложками, но и при тонкопленочной технологии коммутационными платами, на которые разводку наносят вакуумным термическим или ионно-плазменным напылением. Керамику обычно получают из смеси специально подобранных оксидов, которую термообрабатывают при высоких температурах, не доводя ее до плавления. Это значительно удешевляет технологический процесс, позволяет использовать оксиды, имеющие высокие температуры плавления, и предварительно до высокотемпературной обработки формовать изделия прессованием, литьем керамической массы и другими способами. [c.51]

В электротехнике золото используют как контактный материат для коррозионно устойчивых покрытий, для электродов фотоэлементов, для вакуумного напыления пленочных мюсросхем и т. п. [c.31]

Использование тонкослойных покрытий при комплексной обработке связано с тем, что образование поверхностных слоев в процессе напыления сопровождается формированием остаточных напряжений. Это неблагоприятно сказывается на прочностных свойствах износостойкого комплекса в условиях циклического нафужения. В случае комплексной ионно-вакуумной модификации с использованием тонкослойных покрытий успешно решается проблема переходного слоя за счет процессов перемешивания, инициируемых воздействием мощного ионного пучка. Кроме того, улучшение адгезии между покрытием стандартной толш,и-ны и основой достигается путем предварительного облучения сильно-точным электронным пучком на определеннь х режимах. [c.231]

Принцип работы вакуумно-плазменной установки поясняется схемой, представленной на рис. 8.9. Поток ионов металла формируется из плазмы электродугового разряда с холодным катодом. К катоду прикладывается отрицательный потенциал. Под действием приложенного напряжения ускоренный плазменный поток направляется на подложку, где происходят физико-химические процессы конденсации ионов и нейтральных атомов и образование поверхностных слоев. При напылении осуществляется подача газа в вакуумную камеру, что приводит к плазмохимическим реакциям с получением нитридных, карбидных, кар-бонитридных покрытий, а также покрытий на основе других соединений. Выбор реагента газовой среды определяется задачей получения покрытия требуемого состава. Некоторые характеристики соединений, используемых в качестве нап[.1ляемых покрытий, приведены в табл. 8,1. [c.249]

Главной особенностью вакуумного напыления методом конденсации ионной бомбардировкой (КИБ) является возможность подготовки поверхности образца путем ее очистки в тлеющем разряде, а также бомбардировкой ускоренными ионами. Бомбардировка ускоренными ионами приводит к частичному распылению материала образца, внедрению ионов в поверхностный слой и создает благоприятные условия для повышения адгезионной прочности покрытия с основой. Состав осажденного гюкрытия и прочность его сцепления с основой определяются составом газовой среды, содержанием остаточных элементов (СО2, О2, Н2О), уровнем вакуума и качеством подготовки поверхности. Для подготовки образцов перед напылением наиболее предпочтительна виброабразивная обработка с последующей очисткой в ультразвуковой ванне. Затем образцы следует промыть в горячей ванне и высушить в струе горячего воздуха. [c.249]

Наиболее важные факторы формирования покрытия - температура подложки, ее тепловое состояние при ионной очистки и напылении. Поэтому при разработке технологии ионно-вакуумной обработки температурные условия рассматриваются как главный оптимизационный параметр. Управление тепловыми условиями осаждения покрытий осуществляют посредством кратковременного подключения высокого напряжения, изменением величины напряжения на подложке, варьированием силы тока, подогревом или охлаждением подложки внешними источниками тепла, а также использованием специальной технологической оснастки с определенной теплоемкостью. В целом изменение температурных условий во время технологического цикла происходит в соответствии с тремя стадиями (рис. 8.10). Завершающий этап технологического процесса - стадия охлаждения, которое должно осуществляться до определенных температур в вакуумной камере. Охлаждение изделия в рабочей камере проводят для предотвра1цения окислительных процессов на его поверхностях. Выбор состава покрытий и конструирование поверхностных слоев с повышенной сопротивляемостью конкретному виду изнашивания материала трибосистемы базируются на экспериментальных результатах исследования триботехнических свойств модифицированных материалов. [c.250]

Катодное поведение электростатических и электрофоретических алюминиевых покрытий подобно поведению чистого алюминия. Они сильно поляризуются уже при малых плотностях тока и имеют достаточно высокое перенапряжение вьоделения водорода. Электрофоретические алюминиевые покрытия обладают наибольшим значением перенапряжения водорода по сравнению с покрытия.ми, пол>ченны. ш ikj собом электростатического и вакуумного напыления. При получении покрытий из порошковых материалов на электрохимические свойства [c.81]

Электролюминофоры. Люминофоры, в которых люминесценция возникает под воздействием прилагаемого электрического поля, называют электролюминофорами. Электролюминофор заключен между непрозрачным и прозрачным электродами, которые наносят на пластинку из стекла, слюды и т. п. Обычно используют либо композицию — смесь поликристаллического мелкодисперсного люминофора со связывающим диэлектриком (смолой), либо поликристаллические пленки люминофоров, получаемые осаждением газотранспортным методом или вакуумным напылением. Излучение электролюминесцентных источников света имеет высокую монохроматичность, малую инерционность и большую крутизну характеристики яркости высвечивания от напряжения. Основными составами являются соединения типа А — активированные различными примесями, в основном соединения цинка и кадмия ZnS, ZnSe, (Zn d)S и др. В качестве активирующих примесей используются Мп, А1, Ag, Си и др. Высвечивание сернистого цинка с разнообразными активаторами соответствует той или иной полосе спектра. [c.205]

Полуфабрикаты (слойные заготовки) металлических композиционных материалов обычно получают намоткой волокон (борных) на алюминиевую фольгу, закрепленную на оправке, с использованием клея или методов плазменного напыления. Полученная заготовка снимается с оправки, раскатывается и используется как листовой полуфабрикат. В процессе вакуумного горячего прессования происходит диффузионная сварка алюминиевой матрицы. При этом, так же как при использовании полимерных матриц, трудно избея ать пористости, в связи с чем должен быть обеспечен строгий контроль параметров процесса. [c.63]

Некоторое увеличение прочности гальванически металлизированных зерен можно объяснить тем, что часть осажденного металла все же попадает в дефектные места поверхности зерен (металлизация ведется из жидкого раствора электролита). Этого не происходит при нанесении покрытия вакуумным напылением (теневой эффект) в случае металлизации медью. Последняя, к тому же, совершенно не адгезирует к алмазу, этими объясняется полное отсутствие-упрочнения в этом случае. . [c.103]

Изделия, на которые наносится покрытие в вакуумной камере, обычно подвергают предварительной очистке, обезжириванию и тщательной просущке. Во время откачивания воздуха из вакуумной камеры удаляются газы, оставшиеся при обработке изделия. Процессы выведения газа и получения рабочего давления в камере можно обеспечить и ускорить, если покрыть изделие лаком. Металл осаждается тогда на поверхность, покрытую лаком. При использовании простого процесса конденсации в вакууме металлические и неметаллические изделия обрабатываются одинаково. При катодном напылении необходимо предварительно обработать неметаллические изделия лаками, проводящими ток, чтобы они смогли принять электрический заряд высокого напряжения. [c.103]

В ряде установок для тепловой микроскопии успешно применяются устройства, предотвращающие напыление конденсата, выполненные по типу показанного на рис. 38. Цифрой 1 обозначен исследуемый образец, укрепленный в захватах 2 и 3, расположенных внутри вакуумной камеры, обра- [c.88]

Недавно стало известно, что покрытие из сплава системы Fe — Ni — Со, нанесенное на поверхность усов сапфира вакуумным напылением, обеспечивает достаточно прочное сцепление со сплавом никель-палладий, а введшие в никель титана и хрома создает благоприятные условия для смачивания сапфира никелем. Наилучшее решение проблемы —в создании на границе раздела компонентов мономолеку-лярной пленки со структурой шпинели ЫЮ-АГгОз. [c.69]

К газотермическому напылению относят методы, при которых распыляемый материал нагревается до температуры плавления п образовавшийся двухфазный газопорошковый поток переносится на поверхность изделия. Это процессы плазменного напыления, электро-дуговой металлизации, газопламенного напыления (непрерывные методы) и детонационно-газовый метод нанесения покрытий (импульсный метод). Покрытия формируются из частиц размером в десятки микромиллиметров. Термическим методом покрытие можно наносить также в вакуумной технологической камере (термовакуумное напыление), при этом материал покрытия нагревают до состояния пара, и паровой поток конденсируется на поверхности изделия. При использовании этих методов покрытие образуется из атомов или молекул вещества, а в некоторых случаях (электронно-лучевое плазменное, с помощью плазменных испарителей) — из ноиов испаряемого материала. Следует отметить, что чем выше степень ионизации потока вещества, тем выше качество покрытий. [c.138]

Это один из видов газотермического напыления, к которому относят высокочастотный и вакуумный методы ионного переноса, методы газоплазменной металлизации и газофазного осаждения. [c.139]

Г ал ьван ическмн. тер-модиффузионный из твердой и газообразной фаз напыление (газопламенным и плазменным методами) погружение в расплавы или комбинация этих способов с нанесением одно- и многослойных покрытий из жаростойких металлов, их соединений, керамики и эмалей, а также плакирование. вакуумная металлизация п т. п. [c.406]

Примесная проводимость имеет боль-щое значение для диэлектрических пленок химических соединений. Пленки стехиометрического состава сложных диэлектриков трудно получить напылением вследствие разложения и более быстрого испарения компонента диэлектрика с низким давлением паров. Например, при нанесении вакуумным методом пленок Сб8 атомы СА испаряются быстрее атомов 5, в результате пленки СбЗ содержат избыток атомов кадмия (легко проконтролировать ПС цвету пленки), являющи-м1 ся донорными центрами. При испа- [c.451]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...