Особенности катодного напыления

Особенности катодного напыления. Как отмечалось, катодное напыление основано на явлении, при котором с поверхности любого вещества, бомбардируемого ионами или атомами с достаточно большой энергией, вылетают атомы этого вещества и осаждаются на расположенных вблизи твердых поверхностях. Существует много методов генерации ионов, однако наиболее часто применяется простейший метод с использованием тлеющего разряда, который зажигается при подведении высокого напряжения к двум плоским электродам, помещенным в среду разреженного газа с давлением от 10 до мм рт. ст. Существует несколько теорий, объясняющих явление катодного напыления. Наиболее логична теория, основанная на механизме [c.121]

Исследованию метода катодного напыления посвящены несколько монографий и ряд статей [6, 23], однако применительно к получению антифрикционных износостойких покрытий этот метод исследован очень мало, хотя он является весьма перспективным для получения антифрикционных износостойких покрытий. Особенности этого метода состоят в том, что он позволяет наносить многокомпонентные покрытия с регулируемым количественным соотношением составляющих наносимые покрытия имеют очень тонкую структуру. Вместе с тем многие вопросы, касающиеся химического состава, физических свойств, структуры покрытий, полученных из многокомпонентных оснований, до сих пор практически не изучены. Точно не установлено, меняется ли химический состав и строение вещества, перенесенного методом катодного напыления на подложку. Неизвестно, меняется ли процентное соотношение компонентов в покрытии в сравнении с первоначальным составом наносимого материала. Неизвестно, как располагаются атомы многокомпонентного покрытия. Образуют ли они кристаллы, соответствующие первоначальным веществам по химическому составу и строению, или нет Как, в каком порядке располагаются кристаллы многокомпонентных веществ [c.121]

Многие алюминиевые сплавы (особенно содержащие медь, цинк и магний) менее устойчивы к действию коррозии, чем чистый алюминий. Кроме того, они подвержены таким особым видам коррозии, как растрескивание под действием внутренних напряжений и межкристаллитная коррозия. Но поскольку эти сплавы часто являются катодными (имеют более положительный потенциал по отношению к чистому алюминию), то они могут получить защитное действие при нанесении покрытия из чистого металла. Комбинированное покрытие также обладает большей природной коррозионной стойкостью, чем покрытие из чистого алюминия, сохраняя большую механическую прочность основного сплава. Как плакировка, так и напыление покрытия этого типа обеспечивают долгий срок службы деталей из алюминиевых сплавов, подвергаемых атмосферным воздействиям или эксплуатируемых в питьевой воде. [c.109]

Методы нанесения покрытий в условиях разрежения (вакуума), в зависимости от особенностей, превращения материала покрытия в парообразное состояние с последующей конденсацией на защищаемой поверхности, часто называемой подложкой, можно разделить на три вида катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Хотя настоящая книга целиком посвящена вопросу применения термического напыления в вакууме для нанесения защитных покрытий, целесообразно кратко рассмотреть и другие методы получения покрытий в вакууме, сравнив их достоинства и недостатки. [c.5]

Особенности метода. Скорость осаждения мала по сравнению со скоростью, имеющей место при вакуумном напылении, и зависит от таких факторов, как давление п температура атмосферы в рабочей камере, напряжение дуги, плотность катодного тока и геометрия катода и Мег. Высокий вакуум в камере не обязателен, особенно в тех случаях, когда может быть Ц пользован инертный газ. Скорость дезинтегр.щии (распыления) Мег зависит от атомной массы газа, находящегося в камере. [c.391]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...