Осаждение металлов в вакууме

Осаждение металлов в вакууме 22, 232, 276 [c.429]

Большое внимание в книге уделено хромированию — перспективному методу нанесения износостойких и антикоррозионных покрытий, а также непрерывным линиям осаждения покрытий, поскольку со временем рассматриваемый метод найдет широкое применение для осаждения покрытий на стальную полосу. Что касается осаждения металлов в вакууме на полимеры, то этот метод уже сравнительно давно применяется в промышленности. [c.3]

В настоящее время находит широкое применение метод осаждения металлов на неметаллы в вакууме. Этот процесс может произойти и в том случае, если поверхность, на кото )ую наносится покрытие, имеет более низкую температуру. Примером осаждения металлов в вакууме может служить процесс серебрения восковых матриц в производстве грампластинок и получения проводящего слоя на пластмассах. Толщина покрытий, получаемых этим способом, очень мала (0,25—2,5 мкм), аппаратура, применяемая при этом способе, и ее обслуживание очень дороги. [c.169]

Метод ионного осаждения покрытий в вакууме основан на термическом напылении защитного металлического покрытия на защищаемую деталь в газовом разряде [70]. При этом обрабатываемая металлическая деталь (подложка) является катодом, испаритель — анодом тлеющего разряда. Металл, используемый в качестве покрытия (подложка), напревают любым методом электрическим, электронно-лучевым и др. Пары [c.125]

Нанесение покрытий осуществляется вжиганием пасты, Испарением и конденсацией металла в вакууме, химическим осаждением металла, напылением. [c.674]

Алюминиевая пленка, осажденная испарением в вакууме, благодаря высокой степени ее чистоты обладает большой коррозионной стойкостью, значительно превосходящей стойкость покрытий, полученных другими способами. Известно, например, что алюминий с чистотой 99,998% противостоит воздействию соляной кислоты, в то время как обычный чистый промышленный металл растворяется в ней с большой скоростью. [c.239]

В работе [228] показана возможность осаждения бора и получения боридных покрытий на молибдене вследствие термической диссоциации иодида бора на нагретой поверхности металла в вакууме в интервале температур 1000—1600° К. Процесс вели в замкнутом кварцевом реакторе, в более холодной части которого [c.203]

Постоянная ГЦК решетки метастабильного однофазного твердого раствора кобальта в золоте, полученного путем закалки из жидкого состояния, с повышением содержания кобальта от О до 42 ат.% уменьшается (значения взяты по кривой) от 4,08 до 3,910 А [8]. Постоянная кристаллической решетки электролитического сплава с 0,2% Со определена равной 4,070 А при а = = 4,0786 А для чистого золота [9а]. Метастабильные твердые растворы золота с кобальтом, образующиеся при одновременном испарении этих металлов в вакууме, при осаждении на аморфную подложку получаются в аморфном, а на кристаллическую — в кристаллическом состоянии [9—11]. В работе [10] этим методом были получены аморфные усы сплава Со + 25 ат.% Аи. [c.45]

После этого изделие может подвергаться различным видам дополнительной обработки механической (шлифовка и полировка), химической (матирование поверхности), термической (закалка, стеклодувные работы). В ряде случаев производят металлизацию стекла путем напыления металла в вакууме, методом вжи-гания пасты металла (обычно серебряной) при температуре, близкой к размягчению, путем осаждения металла на поверхности стекла при его восстановлении из раствора. [c.280]

Электроды из осажденных металлов. Электроды из серебра выполняют, нанося серебряную пасту, состоящую из углекислого серебра, плавня (углекислый висмут и др.) и раствора канифоли в скипидаре, на поверхность образца. После сушки образец медленно нагревают, причем происходит выгорание органических компонентов, а при более высокой температуре — восстановление серебра. Такой процесс называют вжиганием серебра. Он применяется в основном для керамики, слюды и отчасти для стекла. Если для материала недопустим сильный нагрев, то применяют низкотемпературные серебряные краски. Электроды из распыленного металла изготовляют, нанося на образец по трафарету мельчайшие частицы металла, который в расплавленном состоянии распыляют сжатым воздухом. Кроме того, электроды могут быть нанесены путем испарения металла в вакууме. [c.12]

Осажденные в вакууме и полученные гальваническим методом покрытия являются чистым металлом и не имеют химической связи с поверхностью основного металла. Свойства такого покрытия будут те же самые, что у чистого алюминия. Присутствие лака после осаждения покрытий в вакууме будет увеличивать электросопротивление и ограничивать верхний предел температуры прн использовании. [c.404]

Покрытия, получаемые химическими способами, с помощью испарения металла в вакууме и осаждения его на покрываемой поверхности. Этот способ получил применение для получения отражательных поверхностей в светотехнической промышленности и в технике электронной микроскопии. [c.653]

ООО, охрупчивания не происходит. Контакт платины с танталом может быть осуществлен с помощью клепки, сварки или электролитическим осаждением. Металл, охрупченный при катодном выделении на нем водорода или вследствие наводорожи-вания при повышенных температурах, можно восстановить до обычного состояния только нагревом в вакууме. [c.383]

При сварке титана и алюминия — металлов очень высокой химической активности — раскисление осаждением невозможно, поэтому их сварку осуществляют с внешней защитой от окружающей среды — в инертных газах, в вакууме или под флюсами, не содержащими кислородных соединений. [c.330]

Большой интерес представляет получение порошков карбидов, нитридов, силицидов, боридов и окислов тугоплавких металлов. Частицы из этих порошков применяются с различными покрытиями. В некоторых случаях подложкой для нанесения покрытий служит графит. В литературе имеется описание различных методов нанесения покрытий на графитовые порошки осаждением с помощью плазменного пучка, распылением в вакууме, химическим осаждением и др. [3, 4], однако этот вопрос остается еще мало изученным. [c.82]

Из этого выражения следует, что при / > 1 S2 < 1. Электронномикроскопические исследования пленок молибдена на кварце, отожженных в вакууме в течение 15 мин, показали , что пленки имеют островковую структуру и при толщинах 600 А сплошность их еще отсутствует. Как отмечалось ранее, уже при этих толщинах смачивание пленки такое же, как и компактного материала конденсата, что и подтверждает теоретический вывод, следующий из выражения (4). В дальнейшем при увеличении количества осажденного металла растет S , однако вместе с этим происходит выравнивание рельефа (уменьшение /) и смачиваемость остается приближенно постоянной. Подставив в выражение (2) значение Wa, [c.26]

Тугоплавкий металл рений применяется для создания тонкопленочных резисторов с высоким удельным поверхностным сопротивлением (до 10 Ом/а). Резистивные пленки рения находятся в стадии агломерации, в которой добавочное сопротивление появляется вследствие конечного расстояния между частицами пленки. Тугоплавкость рения позволяет использовать его даже при толщинах порядка 4 нм. Пленки получаются чаще всего посредством электронно-лучевого разогрева гранул рения в вакууме I ч-бПО Па. Осаждение пленок осуществляется при температуре подложки порядка 350°С. Пленки рения нуждаются в защите от воздействия атмосферы, поэтому их обычно покрывают защитным диэлектрическим слоем моноокиси или окиси кремния. Анализ характеристик резистивных пленок рения с удельным поверхностным сопро- [c.435]

Тонкие магнитные пленки представляют собой твердотельные магнитные среды, в которых возможно управление зарождением, перемещением, фиксацией и аннигиляцией каждого домена. Они находят применение в логических и запоминающих системах, а также в различных магнитно-оптических устройствах. Для управления перемещением и фиксацией доменов необходимо, чтобы их магнитные поля выходили во внешнее пространство, а поэтому толщина пленки должна быть соизмерима с размерами доменов. Пленки такой малой толщины не могут применяться без немагнитных подложек, выполняемых из металлов, стекла, слюды, гранатов и других подходящих материалов. Пленки наносят на подложки напылением в вакууме, электрохимическим осаждением и эпитаксией. Покрытие подложек можно выполнять и из тонких пластинок, вырезанных из монокристаллов, которые прочно укрепляют на подложке и доводят полировкой до необходимой толщины. [c.481]

Метод вакуумного напыления. Сущность метода физического осаждения в вакууме состоит в том, что при высокой температуре в динамическом высоком вакууме происходит интенсивное испарение жидкого (или твердого) металла, пары которого конденсируются на покрываемом изделии и холодных частях установки. При этом давление пара напыляемого металла должно быть таким, чтобы длина свободного пробега атомов его была больше расстояния между зоной испарения и зоной конденсации на подложке. В работе [95] приводится эмпирическая зависимость длины свободного пробега атомов от условий проведения процесса осаждения [c.105]

Молибден и другие тугоплавкие металлы (в частности, вольфрам) обычно испаряют электронно-лучевым нагревом в условиях глубокого вакуума (10 —10- мм рт. ст.). Метод вакуумного напыления имеет следующие недостатки 1) большие потери, напыляемого металла 2) загрязнение покрытия остаточными газами в камере и в исходном металле 3) трудность нанесения толстых покрытий тугоплавких металлов из-за низкой летучести и малой скорости испарения осаждаемого металла 4) сложность нанесения равномерных по толщине покрытий на подложки с рельефной поверхностью 5) недостаточная термическая стабильность покрытия из-за большого различия в температурах зон конденсации и испарения 6) невозможность получения текстурированных покрытий из-за сложности регулирования режима осаждения 7) недостаточная адгезия покрытия 8) пористость покрытия. Вследствие этих недостатков данный метод нанесения молибденовых и вольфрамовых покрытий широко не применяется. [c.106]

Вакуумная металлизация основана на осаждении молекул металла на поверхности металлизируемого предмета, находящегося в вакууме. Это не новый метод. Уже в 1890 г. Эдисон заметил затемнение парами вольфрама лампы накаливания. В 1930 г. был разработан первый вид вакуумного метода, так называемое катодное напыление металла, а совершенствование вакуумных насосов привело к разработке в 1936 г. второго вида, основанного на тепловом испарении металла. [c.106]

Осаждение на подложку может происходить из паров, плазмы или коллоидного раствора. При осаждении из паров металл испаряется в вакууме, в кислород- или азотсодержащей атмосфере и пары металла или образовавшегося соединения (оксида, нитрида) конденсируются на подложке. Размер кристаллитов в пленке можно регулировать изменением скорости испарения и температуры подложки. Чаще всего этим способом получают нанокристаллические пленки металлов [145, 146]. Пленка из оксида циркония, легированного оксидом иттрия, со средним размером кристаллитов 10—30 нм получена с помощью импульсного лазерного испарения металлов в пучке ионов кислорода и последующего осаждения оксидов на подложку с температурой 350—700 К [147]. [c.51]

Нитевидные кристаллы могут быть получены выращиванием из пересыщенной газовой фазы. Так как в этом случае усы растут вследствие притока атомов из газовой фазы, то с повышением температуры скорость роста и диаметр усов увеличиваются. Процесс проводят в предварительно вакуумированном сосуде, по длине которого создают перепад температур, зависящий от характера материала получаемых усов. Испарением в вакууме с последующей конденсацией паров получают усы цинка, серебра, платины, бериллия, кремния и других металлов. Усы железа, серебра, меди и некоторых других металлов можно получить электролитическим осаждением. [c.182]

Большое распространение получило осаждение металлов в вакууме на неметаллы, например серебрение восковых матриц в производстве граммпластинок. Этот пример показывает, что таким способом можно наносить покрытия на материалы, не выдерживающие нагревания. Более того — осаждение паров металлов возможно только в том случае, если поверхность, на которую наносится покрытие, имеет низкую температуру. [c.644]

Электродами могут служить массивные металлические нажимные электроды, изготовленные из стали, меди или латуни. Применяют также графитовые электроды в виде жидкой водной суспензии порошка графита. Используются электроды из осажденных металлов — меди, алюминия, серебра, золота, платины их наносят распылением металла в вакууме, либо шоопированием, либо нанесением кистью клея, содержащего порошок металла для керамических диэлектриков электроды изготовляются путем нанесения различных видов серебряных паст с последующим вжиганием. Широко используются фольговые электроды. Их изготовляют из отожженной алюминиевой, оловянной или свинцовой фольги толщиной от 5 до 20 мкм. На поверхность вырезанного из фольги электрода наносят тонкий слой [c.134]

Основное применение в производстве фотоэлементов. Имеет в этом отношении преимущество перед рубидием, обладая наибольшим фотоэффектом среди щелочных металлов в сочетании с наименьшей работой выхода электронов. Сплавы цезия с сурьмой, кальцием, барием и таллием применяют для изготовления фотоэлементов, использующихся в аппаратуре автоматического контроля за производственными процессами, в автоматических счетных устройствах, в калориметрии. Сплав 8Ь —С (соответствующий по составу соединению ЬС8а) применяют для изготовления фотокаТодов. Он обладает высокой стабильностью в работе. Получается при последовательном осаждении возгонкой в вакууме слоев сурьмы и цезия. Применяется также в качестве газопоглотителя. [c.349]

Путем электролитического полирования или травления фольги толщиной около 0,2 мм (после деформации или отожженной) можно получить тончайшую металлическую пленку толщиной около 1000 А, которая просвечивается пучком электронов. Существуют и другие методы получения таких пленок — срезы их с поверхности металлов с помощью ультрамикроатома с.алмазным ножом. осаждением паров металлов в вакууме и т. д. [c.32]

Металлические покрытия наносят электроосаждением, погружением в расплавленные металлы, металлизацией напьшением, химическим осаждением солей, диффузией и т. д. В последнее время все большее распространение получает нанесение покрытий в вакууме. В этом случае покрытия получают испарением металлов в вакууме с последующей конденсацией паров на защищаемой поверхности. Этим способом производят алюмини-рование, кадмирование и цинкование в вакууме стальных деталей. [c.496]

Для металлических покрытий применяют медь, алюминий, никель, хром, серебро, золото, цинк и другие металлы и сплавы. В промышленности применяют следующие методы металлизации пластмасс термическое испарение металлов в вакууме, катодное распыление металлов в вакууме, электролитическое осаждение металлов, пневмораспыление расплавленного металла. [c.72]

Испарение металлов в вакууме основано на том, что в условиях глубокого вакуума (Ю-з—15-5 металл нагревают до температуры, при которой он интенсивно испаряется и, осаждаясь па поверхности изделий и стенках вакуум-камеры, образует тонкую пленку. Этим способом можно осаждать почти все наиболее распространеппые металлы алюминий, железо, хром, медь, свинец, никель, цинк, олово, серебро, золото и другие, а также некоторые окислы и соли, применяемые для защиты осажденного слоя металла. [c.590]

Самостоятельное значение и специфические области црименения имеют металлические покрытия, наносимые на неметаллические материалы. Металлические покрытия oo бщaют пове рхяости неметаллических материалов электропроводность, хорошие отражательные свойства, повышают физикомеханические свойства, уменьшают горючесть изделий из пластмасс, сообщают поверхности неметаллических материалов опо-со бность к пайке, ускоряют отвод тепла и т. п. Металлические покрытия получили широкое применение для деталей электротехнического и радиотехнического назначения, в производстве зеркал, птических приборов, рефлекторов и т. п. Нанесение металлических покрытий на неметаллические изделия производится различными методами осаждением металлов, восстановлением из растворов солей, восстановлением из неустойчивых газовых соединений, испарением металлов в вакууме, электролитическим осаждением, вжиганием и др. [c.39]

По этой, а также и по другим причинам приходится прибегать к настройке кристаллов, что можно выполнить разными путями либо установкой конденсатора параллельно или последовательно с кристаллом, или смещением одного из электродов на кристалле. Наиболее простым является метод настройки, при котором последовательно к кристаллу присоединяется конденсатор. Изменение расстояния между электродами применяется реже, так как это является более сложной операцией и требует более сложной конструкции держателя и, кроме того, электроды обычно наносятся осаждением паров металла в вакууме или гальваническим путем, что исключает возможность их переме-01ения. [c.150]

К настоя1щему времени существуют три основные группы методов получения аморфных материалов а) нанесение на подложку путем распыления (испарение в вакууме, напыление, электролитическое осаждение, осаждение в разряде и т. д.) 6) быстрое охлаждение расплава (превращение капли или тонкой струи расплава в пленку или ленту и охлаждение за счет теплообмена с металлической подложкой, раздробление жидкого металла газовой струей и охлаждение образовавшейся массы в газовом потоке, жидкой среде или на твердой поверхности, вытягивание микропровода в стеклянной оболочке, расплавление поверхности лазерным или электронным пучком и охлаждение за счет теплообмена с нерасплавленной частью материала и т. д.) в) ионная имплантация. [c.274]

Горячее стекло благодаря пластичности легко обрабатывается путем выдувания (ламповые баллоны, химическая посуда), вытяжки (листовое стекло, трубки, шта-бики), прессования и отливки нагретые стеклянные части приваривают друг к другу, а также к деталям из других материалов (металлы, керамика и пр.) Листовое стекло получается на машинах Фурко посредством вытягивания полосы стекла сквозь фильеру в ша.мотной заслонке, погруженной в расплавленную стекломассу бутылки, ламповые баллоны производятся на машинах-автоматах чрезвычайно большой производительности. Изготовлевшые стеклянные изделия должны быть подвергнуты отжигу, чтобы устранить механические напряжения, образовавшиеся в стекле при быстром и неравномерном его остывании. При отжиге изделие нагревают до некоторой, достаточно высокой температуры (температура отжига), а затем подвергают весьма медленному охлаждению. Механическая обработка стекла в холодном состоянии сводится к резке (алмазом), сверловке, шлифовке и полировке. Сверловка стекла может производиться инструментами из свер.чтвердых сплавов, например победита, или латунными сверлами с применением абразивов. Металлизация стекла осуществляется различными путями в зависимости от особенностей изделия нанесением металла методом возгонки в вакууме, методом вжигания серебряной или платиновой пасты, шоопированием и химическим методом осаждения серебра, [c.164]

В различных областях электротехники используются тонкие нагревостойкие диэлектрические пленки, которые наносятся на поверхность металла, или полупроводника, или на иные подложки. Такие пленки из заранее подготовленного вещества могут наноснться способами испарепия в вакууме, шоопированием и другими способами возможно также осаждение исходных веществ, которые в результате химической реакции между собой дают диэлектрическую пленку. Рассмотрим представляющие большой интерес пленки, получаемые оксидированием — термическим, электрохимическим или плазменным — металла-подложки таким образом, диэлектрическая пленка получается на поверхности металла в виде химического соединения этого металла с кислородом. Это так называемая оксидная изоляция. Для суждения о том, может ли на данном металле образовываться оксидная изоляция в виде сплошного слоя, вводится объемный коэффициент оксидирования, т. е. отношение объема оксида к объему металла, вошедшего в этот оксид [c.183]

Мы изучали поведение углеродных волокон на основе полиак-рилонитрила, покрытых медью и никелем. Покрытия наносили химическим методом, то есть осаждением из растворов солей, при температурах 20 и 80° С для меди и никеля соответственно. Для выбранных нами металлов исключена возможность образования химических соединений при температурах нанесения покрытия [5], а следовательно, и снижение прочностных характеристик углеродных волокон (что подтверждено экспериментально). Поэтому изучалось влияние на свойства металлизированного углеродного волокна температур, близких к технологическим и эксплуатационным. Для этого определяли прочность на разрыв волокон без покрытия после отжига в контакте с металлами. Отжиг проводили в вакууме с давлением 5 Ю мм рт. ст. в течение 24 ч. Предварительно было [c.129]

Ионное осаждение в вакууме отличается от предыдущего метода тем, что пары осаждаемого металла или сплава ионизируются в плазме тлеющего разряда, в котором катодом слум<ит испаряемый материал, а анодом — подложка. Нагрев производят различными методами. Пары металла попадают в плазму при сравнительно высоком давлении (0,1—1,0 Па) инертного газа (Не, Аг, Кг). При этом происходит ионизация паров, ионы ускоряются электрическим полем, поток ионов осаждается на подложке. Этот метод — разновидность плазменного напыления. [c.140]

Очень химически активный металл, В чистом виде может сохраняться только в абсолютном вакууме. Энергично соединяется с азотом, углеродом и другими элементами. Энергично разлагает воду. В присутствии воздуха и других газов превращается в солеобразные соединения Летуч. Потенциал осаждения радия из нормальных растворов его солей составляет 1,718 относительно нормального кало-меленого электрода Применение металлического радия ограничено лабораторными науч ными исследованиями на практике в виде соединений (бромистых, хлористых сернокислых) для изготовления светящихся красок постоянного действия в качестве индикатора при различных физических и химических исследованиях в виде препаратов как у — источник при просвечивани и металлических изделий [c.354]

Химико-термические методы упрочнения поверхности для повышения износостойкости за счет увеличения поверхностной твердости (цементация, азотирование, цианирование, борирование и др. процессы) весьма эффективны для повышения сопротивления абразивному изнашиванию. Для улучшения противозадирных свойств создаются (посредством сульфиди-рования, сульфо-цианирования, селенирования, азотирования) тонкие поверхностные слои, обогащенные химическими соединениями, предотвращающими схватывание и задир при трении.. Большой эффект получается при использовании метода карбонитрации. Широко применяются электрохимические методы нанесения покрытий А1, РЬ, Sn, Ag, Au и др. При восстановлении деталей (в ремонте) используется электролитическое хромирование, никелирование, железнение и др. Значительная часть технологических задач, связанных с необходимостью повышения износостойкости, коррозионной стойкости, жаропрочности, восстановительного ремонта и др. решается при использовании методов металлизации напылением, включающих газоплазменную металлизацию, электродуговую, плазменную, высокочастотную индукционную металлизацию и детонационное напыление покрытий - наносятся металлы и сплавы, оксиды, карбиды, бориды, стекло, фосфор, органические материалы. Плазменное напыление используют для нанесения тугоплавких покрытий окиси алюминия, вольфрама, молибдена, ниобия, интерметаллидов, силицидов, карбидов, боридов и др. Детонационное напыление имеет преимущество в связи с незначительным нагревом покрываемой детали и распыляемых частиц. В последнее время активно развиваются методы нанесения износостойких покрытий в вакууме катодное распыление, термическое напыление, ионное осаждение. В зависимости от реакционной способности газовой среды методы напыления [c.199]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...