Тонкая пленка на поверхности твердого тела

Равным образом не устанавливается равновесие и при абсолютно не смачивающих твердое тело жидкостях, т. е. при 0 = 180° С. В этом случае на поверхности твердого тела образуется тонкая пленка адсорбированного газа. [c.147]

Поскольку изменение толщины пленок влаги на поверхности твердых тел сильно влияет на физико-химические свойства воды в этих тонких слоях [47], целесообразно раздельно рассмотреть особенности процессов коррозии металлов во влажной атмосфере и при образовании фазовых слоев электролитов. [c.45]

На поверхности твердого тела всегда имеется тонкая адсорбированная пленка различных веществ, которая уменьшает коэффициент трения за счет погашения сил молекулярного взаимодействия. Кроме этого, граничное трение зависит от других факторов, определяющихся структурным состоянием, критической температурой деструкции пленок и т. д. [c.6]

Обычно материалы с малым сопротивлением на срез характеризуются и малой твердостью, вследствие чего указанное произведение стремится к постоянству. Однако нанесенная тонкая пленка мягкого материала на поверхность твердого тела обеспечивает малую площадь касания соприкасающейся пары и малое сопротивление на срез. [c.169]

Среди ученых отсутствует единое мнение о сущности граничного трения. А. С. Ахматов под граничным трением понимает трение, при котором твердые тела отделены друг от друга тончайшим слоем смазки, находящимся под воздействием молекулярных сил металла. Другие ученые считают, что граничное трение является промежуточным между сухим и жидкостным трением, оно происходит при наличии разделяющего тонкого слоя смазки поверхности твердых тел, которые, в свою очередь, оказывают влияние на смазку. Б. И. Костецкий [22] и др. под граничным трением понимают трение слоев вторичных структур, возникающих при физическом и химическом взаимодействии пластически деформируемого металла со средой. Очевидно, что последнее определение граничного трения более правильно отражает сущность явления, если под средой подразумевается в какой-то мере совокупность внешней среды, масляной, окисной и твердой пленок на поверхностях трущихся тел. [c.7]

Такая модель поверхности обычно используется при рассмотрении поверхностных электронных явлений. Феноменологический подход к проблеме позволил последовательно и достаточно полно описать основные закономерности разнообразных электронных процессов, разыгрывающихся на поверхности твердого тела и на межфазных границах. В рамках теоретических представлений удалось установить важные взаимосвязи между макроскопическими свойствами поверхности и параметрами ПЭС, определяющие такие фундаментальные процессы, как захват и рекомбинацию носителей заряда, их транспорт в поверхностных фазах. Показано, что все эти взаимосвязи существенно изменяются при переходе от монокристаллов к системам с пониженной размерностью, когда размеры самих объектов начинают приближаться к характеристическим длинам электронной подсистемы твердого тела. Это кластеры вещества, нитевидные структуры и тонкие пленки нуль- (О/)), одно- (1/)) и двумерные 2В) структуры микро- и наноэлектроники. [c.12]

Некоторые вещества, будучи помещены на поверхность твердого тела, самопроизвольно растекаются, образуя тонкую пленку. Другие будут образовывать такую адсорбированную пленку при размазывании их по чистой поверхности твердого тела. [c.27]

Современная физика полупроводников все больше и больше интересуется сложными молекулярными и электронными процессами, протекающими на поверхности твердого тела. С раскрытием механизма этих процессов тесно связан ряд проблем физики тонких пленок и пленочной микроэлектроники. Большое число исследований последних лет указывает на превалирующую роль электронных процессов на поверхности в явлениях гетерогенного катализа и хемосорбции, что весьма интересует специалистов смежных областей — химиков и биофизиков. В связи с этим следует признать весьма актуальным начатое М. Грином издание серии книг по физике поверхности твердого тела. Настоящая книга является первой в этой серии. Этот том состоит из пяти обзорных глав, написанных ведущими исследователями в области физики поверхности, представляющими крупные научно-исследовательские школы в Англии, США и Японии. [c.5]

Линейный закон применим к реакции на поверхности твердого тела, приводящей к образованию пленки, слабо связанной с поверхностью такая пленка легко отслаивается от металла, и поэтому возле металла всегда имеется избыток газа, а скорость реакции не зависит от времени. Подобным образом протекает окисление щелочных и щелочноземельных металлов. В более общем случае этот закон применим к системам, в которых скорость реакции определяется реакциями на границе между металлом и пленкой. Параболический закон описывает процесс роста, лимитируемый диффузией через пленку, прочно связанную с поверхностью (продукт реакции). Отклонения от линейного и параболического законов роста могут быть следствием побочных явлений, таких, как повторяющиеся процессы растрескивания и залечивания пленок. Рост тонких пленок описывается иными законами, и мы рассмотрим их в следующем разделе. [c.164]

Последнее десятилетие характеризуется всплеском интереса к исследованию поверхности твердых тел и происходящих на ней процессов. Речь идет о поверхностях раздела твердое тело—газ (адсорбция, катализ, атмосферная коррозия, поверхностная диффузия и растекание, адгезионный износ), твердое тело — жидкость (коррозия, жидкометаллическая хрупкость), о внутренних поверхностях раздела в металлах (межкристаллитная внутренняя адсорбция, диффузия по границам зерен и фаз, микролегирование, хрупкость, межкристаллитная коррозия, стабильность композиционных материалов) и о процессах в тонких пленках и на границе раздела пленка—матрица (защитные покрытия, микроэлектроника). Физика поверхностных явлений — это сейчас одна из самых (если не самая) быстро развивающихся областей физики твердого тела. [c.116]

В технике известен ряд жидкостей, которые после нанесения их тонким слоем на поверхность дерева, металла или другого твердого тела через некоторое сравнительно непродолжительное время оставляют на поверхности твердую или эластичную пленку. Такие жидкости имеют общее название лаки . [c.257]

С. можно рассматривать как 1-ю стадию физ.-хим. взаимодействия жидкости с твердым телом. Первоначально при С. на новерхности твердого тела образуется тонкий адсорбционный слой жидкости (см. Адсорбция). При равновесии нанесенной на поверхность капли жидкости с адсорбционным слоем образуется конечный угол 6 при отсутствии такого равновесия жидкая пленка непрерывно утончается и наблюдается полное С., при к-ром 6 —> 0. При полном С. избыток жидкости безгранично растекается по поверхности твердого тела. Поэтому достаточно растворимыми в данной жидкости могут быть лишь твердые тела, хорошо ею смачиваемые. [c.562]

Лучшие условия для работы трущихся поверхностей создаются при жидкостном трении, когда между поверхностями твердых тел находится не тонкая смазывающая пленка, а слой смазывающей жидкости. При этом перемещающаяся деталь как бы плавает в масле. Существенное значение при жидкостном трении имеет вязкость смазки и ее маслянистость. Увеличение вязкости масла создает более толстый смазочный слон, что позволяет приложить большую нагрузку на опоры. Увеличение слоя смазки достигается либо принудительной ее подачей (под давлением), либо созданием зазора между поверхностями трения. Масляный зазор оказывает большое влияние на работу трущихся поверхностей. [c.23]

Для обеспечения внешнего трения необходимо, чтобы единичные неровности, имеющиеся на поверхности более твердого тела, обтекались более мягким материалом, по которому они скользят. Моделью такой неровности может быть принят единичный сферический сегмент. При скольжении его по пластически деформируемому полупространству впереди образуется валик, а сзади канавка. Сопротивление обусловлено объемным деформированием тонкого поверхностного слоя и преодолением адгезионных связей, возникающих между пленками, покрывающими твердые тела. Установлено, что обтекание материалом неровности переходит в накопление этого материала перед неровностью при выполнении следующего неравенства [c.193]

Для обеспечения внешнего трения необходимо, чтобы единичные неровности, имеющиеся на поверхности более твердого тела, обтекались материалом, по которому они скользят. Моделью такой неровности может быть принят единичный сферический сегмент. При скольжении его по пластически деформируемому полупространству впереди образуется валик, а сзади канавка. Сопротивление обусловлено объемным деформированием тонкого поверхностного слоя и преодолением адгезионных связей, возникающих между пленками, покрывающими твердые тела. [c.280]

При электронографическом изучении плавления пленок алюминия [31, с. 90] также обнаружено, что координационное число плавно изменяется от 12 при комнатной температуре до 10,8 в точке плавления. При этом температура плавления алюминиевых пленок на 14° С ниже, чем массивных образцов. Понижение температуры плавления тонких пленок по сравнению с массивными образцами связано с возрастанием роли свободной энергии поверхности в пленках. Поверхностная энергия границы кристалл — пар больше, чем поверхностная энергия границы жидкость — пар, поэтому разность свободных энергий жидкого и твердого состояний для пленок меньше, чем разность свободных энергий жидкого и твердого состояний для массивного тела, а температура плавления ниже. [c.34]

В книге обсуждаются физические принципы, измерительные характеристики, особенности и ограничения различных методов активной термометрии твердого тела. Термочувствительным элементом в активной термометрии является сам исследуемый объект, а считывание информации о температуре объекта проводится с помощью зондирующего светового пучка (обычно лазерного). Появление новых методов бесконтактной термометрии существенно расширило возможности для исследований в области новых технологий (в частности, процессов при взаимодействии газоразрядной плазмы и пучков заряженных частиц с поверхностью). Исследовательские группы, в которых были разработаны новые методы, быстро получили информационные преимущества при изучении процессов на границе раздела плазма-поверхность, ранее недоступных для диагностики. Лазерная термометрия впервые сделала практически осуществимыми температурный мониторинг и контроль в вакуумных процессах микротехнологии (осаждение тонких пленок, травление микроструктур, ионная имплантация полупроводников и т. д.). К настоящему времени предложены и развиваются более десяти методов лазерной термометрии (ЛТ), хотя в исследованиях и технологическом контроле активно применяется пова лишь 4-5 методов. [c.5]

Для прочного сцепления лакокрасочной пленки с окрашиваемой поверхностью необходимо обеспечить хорошую смачиваемость и адгезию. При наличии этих свойств капля эмали, нанесенная на окрашиваемую поверхность детали, будет растекаться, образуя тонкую пленку, и прилипать к поверхности. В случае, когда смачиваемость и адгезия низкие, капля краски образует сферическое тело. Форма капли лакокрасочного материала, соприкасающегося с твердым телом, зависит от того, какие силы больше силы притяжения между молекулами лакокрасочного материала и твердого тела или между молекулами самой краски. [c.146]

Тонкая пленка на поверхности твердого тела. Развитую общую теорию ван-дер-ваальсовых сил можно применить также для вычисления термодинамических величин тонкой жидкой пленки, находящейся на поверхности твердого тела толщина I пленки предполагается, разумеется, большой по сравнению с межатомными расстояниями. [c.359]

Роль поверхностных пленок. На поверхности твердого тела всегда имеется тонкая пленка из различных посторонних веществ, адсорбированных из воздуха. Обычно это моно- или по-лимолекулярная пленка, образованная молекулами кислорода, воды или каких-либо содержащихся в воздухе примесей. Образующаяся на поверхности трения пленка уменьшает коэффициент трения из-за погашения сил молекулярного взаимодействия. Большой интерес представляют пленки, образованные смазывающими веществами. Рентгеновские исследования и метод электронной дифракции позволили установить картину взаимодействия молекул смазываемого и смазывающего веществ. Особенно хорошо наблюдается это явление в случае присутствия в смазке высших жирных кислот. Цепи жирных кислот своимп активными концами присоединяются к кристаллической решетке, образуя на поверхности подобие ворса. Это распространяется только на два-три слоя молекул. Дальше сила притяжения становится настолько незначительной, что частицы смазки имеют возможность свободно скользить по поверхности ворса. Обычно механизм действия слоев смазки отождествляется с перемещением сложенных в стопу листов бумаги, легко скользящих один относительно другого. [c.25]

Термодинамически рассмотрен процесс смачивания твердых тел исходя из концепции А. Н. Фрумкина об устойчивости тонких пленок. Рассмотрен случай, когда Ож > От. Сформулированы условия смачивания металлом тугоплавких соединений типа окислов, нитридов и карбидов. Сконструирована установка, позволяющая оценить характер изменения натяжения жидких пленок с толщиной на поверхности твердого тела. Полученные экспериментальные результаты для некоторых систем качественно подтверждают развитые представления. Применительно к процессу пропитки или жидкофазного спекания проведенный анализ позволяет сформулировать два возможных механизма образования мета-стабильных смачиваюшлх пленок или растекания — с затратой энергии на образование пленки металла конечной толщины и безактивационное смачивание. Аналогично рассмотрен процесс перехода границы раздела металл — твердое или металл — газ тугоплавкими частицами. Рис. 2, библиогр. 11. [c.229]

Согласно нашим представлениям, основным свойством антифрикционной пары трения (необходимо все же рассматривать пару трения и взаимодействие ее со смазкой) является обеспечение положительного градиента механических свойств по глубине (4-й вид нарушения фрикционных связей) в сочетании с упругим деформированием (3-й вид), приводящим к минимальной работе объемного деформирования, а при пластическом деформировании — способности к многократному передеформированию, не приводящему к охрупчиванию материала. Для осуществления положительного градиента механических свойств пользуются смазками однако этого недостаточно, необходимо в случае вытеснения разрыва смазки (пусковые режимы, перегрузки) обеспечить положительный градиент механических свойств в самом твердом теле. Это возможно за счет подбора или такого состава антифрикционного материала, который обеспечивает на своей поверхности при трении образование защитной пленки (окисла), или пленки перенесенного мягкого металла из структурных составляющих, как показал Н. А. Буше [8], или за счет нанесения на поверхность твердого тела специальных покрытий, менее прочных и более легкоплавких, чем основа, на которую они наносятся. Для этой цели годятся различные неметаллические покрытия (тонкие пленки пластмасс и др.). [c.355]

ПЭМ ВР становится важным инструментом и в исследовании поверхности твердых тел, особенно наноструктурных материалов, где возможности традиционных методов анализа поверхности, таких как сканирующая электронная микроскопия (СЭМ), сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) и др., ограничены. Совсем недавно ПЭМ ВР хорошо себя зарекомендовала для локального анализа тонкого приповерхностного слоя наноматериалов. Так, в основе субплантационной модели роста -BN лежит гипотеза о том, что на поверхности растущего -BN образуется монослой л/ -связанного BN. Для проверки этой гипотезы были выполнены исследования структуры приповерхностного слоя -BN с помощью ПЭМ ВР на поперечных срезах [3]. Установлено, что верхний слой пленки содержит чистый -BN, что свидетельствует о послойном гомоэпитаксиальном росте -BN. [c.502]

Заканчивая рассмотрение основных закономерностей зарождения и размножения дислокаций вблизи свободной поверхности, следует отметить, что они могут быть обусловлены также особенностями атомно-электронной структуры и динамики кристаллической решетки в поверхностных слоях твердого тела [309-312], [380-413] и, как следствие этого, влиянием указанньгх факторов на особенности изменения соответствующих термодинамических параметров с учетом определенного удельного вклада термодинамических функций, относящихся к свободной поверхности кристалла [380, 414—422]. Принципиальная возможность появления такого рода эффектов предполагалась и обсуждалась в работах [108, 109,309 -312,368, 380, 414—453]. Причем, по-видимому, вклад этих эффектов будет максимально проявляться для систем, имеющих большую удельную долю поверхности и малые поперечные размеры (тонкие пленки, дисперсные системы и порошки, нитевидные кристаллы и др.). Еще несколько лет тому назад прямых экспериментальных данных по характеру атомно-электронной структуры и динамике кристаллической решетки в поверхностных слоях было очень мало, однако быстрое развитие в последнее десятилетие нового физического метода исследования поверхности твердого тела — метода дифракции медленных электронов (ДМЭ) позволило получить эти данные. [c.123]

X. Глейтер [7] классифицировал НСМ на при категории. Первая категория включает материалы с уменьшенными разерами и размерностями в форме наночастиц, тонких проволок или тонких пленок, вмонтированных в материал. Вторая категория включает материалы, в которых наномикроструктура ограничена поверхностной нанообластью объемного материала. Это достигается путем химического осаждения из паровой фазы, ионной имплантацией, обработкой лазерным лучом и другими воздействиями. Такие обработки позволяют изменять химический состав и атомную структуру поверхностей твердого тела на нанометровом масштабе. Третья категория включает НСМ, в которых химический состав, атомный порядок и размер строительных блоков (например, кристаллы или атомные и молекулярные группы), образуя твердое тело, различаются по шкале длины на несколько нанометров по всему объему. [c.148]

На расширение сырца после снятия давления прессования может оказывать влияние влага, содержащаяся в массе. Весьма тонкие пленки воды (порядка 0,075 (а), заключенные между поверхностями твердого тела, по своим свойствам приближаются к твердому телу [373] и, следовательно, обладают упругостью. С другой стороны, они способны оказывать расклинивающеа [c.113]

По нашему мнению, разделение трения на сухое и граничное в большой мере условно, так как внешнее трение возможно только при наличии положительного градиента механических свойств по глубине, поэтому поверхностный слой должен быть отличен от нижележащих. Всякое внешнее трение является граничным, так как при нем деформации сосредоточены в тонком поверхностном слое. В противном случае, например при чистых металлических поверхностях, всегда возникает внутриметал-лическое трение (глубинное вырывание—5-й вид нарушения фрикционной связи). Для предотвращения этого необходимо, чтобы поверхности были разделены пленкой (оксидной, сульфидной и др.), которая должна предохранять нижележащие слои от разрушения. Однако силы молекулярного взаимодействия между этими пленками, тоже являющимися твердыми телами, все же достаточно велики, что приводит к высоким значениям коэффициента трения и соответственно к избыточному выделению тепла. Для понижения трения применяют жидкую смазку. При малой толщине слоя, смазка теряет свои объемные свойства, в частности теряет подвижность вследствие влияния молекулярного поля твердого тела. Жидкость, вступая в физическое и химическое взаимодействие с металлом, сильно деформированным при трении, резко меняет его свойства. Комплекс процессов, происходящих в тонких поверхностных слоях измененного материала и разделяющем их тонком слое жидкости, обусловливает явление граничного трения. [c.237]

Помимо этого, большинство металлов и сплавов окисляется в воздухе уже при комнатно11 температуре и на их ловерхиостн образуется тонкая пленка окисла, толщина которой лежит в пределах 10— 20 расстояний между молекулами, увеличиваясь при повышении температуры. И, наконец, на реальных поверхностях твердых тел, как правило, также удерживаются масляные включения с частицами пыли и абразива. [c.45]

При возбуждении электромагнитной волной соответствующей длины Го-моды возникает сильное взаимодействие с решеткой. В случае отсутствия свободных носителей при этой длине волны наблюдается значительное отражение. Прохождение излучения через образец является более сложным процессом. При отражении волны от поверхности твердого тела происходит изменение фазы на л, при внутреннем же отражении фаза остается постоянной. Если оптический путь волны и поглощение достаточно малы, в отраженной волне будут наблюдаться сильные интерференционные явления. При сильном же поглощении луч, отраженный от внутренней границы, будет слабым, и интерференция будет слабой. В результате этого интенсивность отраженной волны будет значительной, а пропускание уменьшится. ГО-мода с нулевым волновым числом обычно обладает малым коэффициентом затухания и линия поглощения бывает довольно острой. Таким образом, можно ожидать узких минимумов на кривой пропуск -ния при исследовании тонких пленок с помощью ГО-моды. Этим и объясняются наблюдения Барнса и Черни [132] в щелочно-га-лоидных кристаллах. Они обнаружили сильные искажения формы минимума на кривой пропускания для толстых кристаллов. Когда же были использованы пленки толщиной около микрона, наблюдался четкий минимум. В Na l оптический путь был мал ( 2 мкм) по сравнению с длиной волны поперечных оптических колебаний в Na l ( 65 мкм). [c.390]

Основное отличие твердых тел от жидкостей состоит в том, что твердое тело имеет постоянную форму, которую оно изменяет только принудительно. Следовательно, поверхности твердых тел самопроизвольно не сокращаются и поэтому в той или иной степени щероховаты. Обычно поверхности твердых тел загрязнены посторонними веществами, образующими на ней тонкий слой. Даже кратковременная выдержка чистой поверхности на воздухе приводит обычно к появлению на ней жировой пленки, что в значительной мере изменяет ее свойства. На большинстве твердых поверхностей имеется адсорбированный слой газов, причем на металлах адсорбционные пленки держатся весьма прочно. Адсорбция кислорода на некоторых металлах приводит к образованию окисных пленок особенно быстро такие пленки образуются на алюминии и его сплавах. Наиболее сильным свойством адсорбции газов и летучих жидкостей обладает поверхность активированного угля, что, в частности, дало возможность применять его в противогазах. [c.16]

Смазку в малогабаритные подшипники, вращающиеся со скоростью п<50 м/с, подают фитилями или дозирующей маеленкой, отрегулированной на подачу нескольких капель масла в час. Фетровые фитили при работе выполняют и роль фильтра. Твердые смазки (графит, дисульфид молибдена и др.) используют в узлах, работающих в вакууме, при низких (/< —100° С) или высоких ( >300° С) температурах. В этом случае сепараторы подшипников изготовляют из самосмазывающихся материалов. Тела качения, соприкасаясь со стенками гнезд сепаратора, снимают с них тонкую пленку твердой смазки и переносят ее на поверхность качения колец подшипника. [c.324]

С другой стороны, исследование физической картины процесса ИП и его закономерностей привело к пересмотру ранее установившихся взглядов на многие вопросы трения износа и смазки машин. Приведем некоторые примеры. Раньше смазку рассматривали как защитный чехол по отношению к твердому телу, теперь же считается, что смазка должна разрушать поверхностный слой материала, превращая его в квазижидкое тело. Наилучшим режимом с точки зрения износостойкости считался режим окислительного трения с образованием на поверхностях тонких окисных пленок. В настоящее время установлено, что безокислительное трение превосходит окислительное трение по многим показателям. По прежним представлениям износ деталей считался неизбежным явлением, которое в лучшем случае можно снизить теперь износ можно полностью исключить, более того, изношенные поверхности могут быть восстановлены трением в случае применения металлоплакирующих смазок. [c.3]

Молекулярное взаимодействие, обусловленное взаимодействием атомов на сближенных участках поверхностей гребешков микронеровностей, приводит к нарушению термодинамического равновесия кристаллических решеток на контактирующих участках и наиболее полно проявляется при схватывании твердых тел. В этих условиях в полной мере проявляется механизм, объясняемый адгезионно-деформационной теорией [26]. Очаги микросхватывания в режиме ИП развиваются в более мягком, чем материал чугунного или хромированного кольца, тонком слое меди, не вызывая глубинного повреждения основного металла. Вновь образуются активизированные пластической деформацией участки поверхности они свободны от разделяюш,их пленок при наличии смазки и пульсирующих нагрузок при контактировании с микронеровностями контртела. Возникают площадки с высокой температурой и микрогальванические пары, активизирующие диффузионные и электрохимические процессы. Это способствует молекулярному переносу и миграции ионов меди на ювенильные поверхности. Обогащение тонких слоев поверхности трения медью создает особую структуру граничного слоя, обеспечивающего при определенных режимах минимальные износ и коэффициент трения, а также способствующего реализации правила положительного градиента по глубине материала [2]. [c.163]

Спо а ность тонких слоев жидкостей достаточно долгое время сохранять определенную толщину, тем большую, чем меньше производимое на них давление было впервые доказано прямыми опытами М. М. Кусакова и автора. Явление это наблюдается как в случае, когда пленка жидкости расположена между двумя твердыми поверхностями, например металлическими, так и в случае, когда она расположена между неодинаковыми поверхностями, например отделяет твердую стенку от прижимаемого к ней воздушного пузырька. В этом последнем случае, особенно подробно исследованном, можно, используя явление интерференции света, чрезвычайно наглядно не только показать равномерность толщины жидкой пленки на всех ее участках, а также неизменяемость ее толщины со временем, но и точно определить зависимость этой равновесной толщины пленки жидкости от производимого на нее пузырьком или другим телом удельного давления. На рис. 100 приведена схема опыта, а на рис. 101 и 102 — полученные при этом результаты. [c.210]

Wetting — Смачивание. (1) Распространение и абсорбция жидкости на поверхности. (2) Условие, при котором поверхностное натяжение между жидкостью и твердым телом является таким, что угол контакта составляет от 0° до 90°. (3) Явление распространения жидкого присадочного металла и прилипания тонким непрерьшным слоем на основном металле. (4) Формирование относительно однородной, гладкой, ненарушенной пленки припоя на основном металле. [c.1073]

Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении темпера-турно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. [c.1]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...