Остаточное давление в вакуумных камерах

Для измерения остаточного давления в вакуумной камере служат две манометрические лампы 33 (типа ЛТ-2 и ЛМ-2). Ловушка для конденсации паров масла расположена в патрубке 34, а корпус пароструйного [c.126]

Величина остаточного давления в вакуумной камере во время опыта была порядка 10 мм рт. ст. [c.77]

На фиг. 24 приведен график зависимости содержания водорода от давления газов в вакуумной камере при различных методах дегазации [164]. Эти данные показывают, что основным фактором, определяющим степень дегазации стали, является остаточное давление в вакуумной камере. [c.45]

Например, алюминий обладает ничтожно малой скоростью испарения даже при остаточном давлении 1-10" мм рт. ст. и температуре 724° С, т. е. превышающей температуру его плавления. Естественно поэтому, что методы тепловой микроскопии не могут быть использованы для выявления микроструктуры чистого алюминия. Для эффективного вакуумного травления чистой меди при температуре около 950° С необходимо, чтобы остаточное давление в рабочей камере было не выше Ы0 мм рт. ст. При более высоком остаточном давлении выявление структуры меди требует весьма длительных выдержек. [c.27]

Для получения остаточного давления в рабочей камере установок для тепловой микроскопии 10 —10 мм рт. ст. и ниже, как правило, применяют пароструйные диффузионные насосы. Принцип работы пароструйных насосов основан на использовании откачивающего действия струи пара, находящейся в насосе жидкости. Молекулы газа, попадающие в струю пара со стороны откачивающего патрубка, в результате диффузии увлекаются струей пара и перемещаются в сторону выбрасывающего патрубка, соединенного с форвакуумным насосом. В качестве рабочей жидкости, заливаемой внутрь корпуса пароструйного насоса и нагреваемой до температуры кипения, применяют специальные вакуумные масла, обладающие низким давлением паров (порядка 10 мм рт. ст.), сложные эфиры или ртуть. [c.44]

В диодной схеме катодного распыления положительные ионы образуются в тлеющем разряде постоянного напряжения, в котором распыляемая мишень является катодом. Вторичные электроны, вылетающие из мишени, ускоряются в катодном темном пространстве и, сталкиваясь с молекулами газа, образуют положительные ионы, которые бомбардируют мишень — катод. Распыленные ими атомы катода обладают большей энергией, чем атомы пара, полученного путем термического испарения. Это влияет на структуру осадка и его адгезию к подложке (обычно адгезия покрытия, полученного катодным распылением, выше, особенно при низких температурах конденсации). При катодном распылении по диодной схеме давление в вакуумной камере должно быть 1—10 Па ускоряющее напряжение 1—15 кВ катодная плотность тока при этом составляет 0,1—5 мА/см . Разновидностью катодного распыления является так называемое химическое распыление (остаточные газы либо специально вводимый в вакуумную камеру газ реагируют с материалом катода и образуют летучие соединения) и реактивное распыление (распыление в атмосфере кислорода или азота для образования на защищаемой поверхности слоя окислов или нитридов). [c.6]

По интенсификации процессы нанесения покрытий можно условно разделить на три группы. К первой относятся все процессы нанесения тонких пленок в микроэлектронике, оптике, декоративной металлизации и других областях, где скорость конденсации имеет порядок тысячных или сотых долей микрометра в секунду. Во второй группе процессов (нанесение защитных покрытий на детали в установках периодического действия) скорость конденсации составляет десятки микрометров в минуту. Интенсивным можно считать процесс нанесения покрытий, при котором давление паров металла значительно больше давления остаточных газов в вакуумной камере, и скорость конденсации имеет порядок десятков и даже сотен микрометров в секунду. Такие режимы применяют при электронно-лучевом испарении металлов в непрерывных высокопроизводительных линиях металлизации полосовой стали и получения фольги. [c.19]

Технологические параметры ЭЛС включают в себя физико-химические свойства основного металла, давление и состав остаточной среды в вакуумной камере, величину и распределение остаточной намагниченности изделия, пространственное положение сварного шва и электронного луча, тип и геометрию стыкового соединения. [c.416]

Граница перехода двигателя из аномального в нормальный ускорительный режим зависит от ряда параметров магнитного поля, давления остаточного газа в вакуумной камере, ионного тока, конфигураций системы. В типичных условиях для двухступенчатого двигателя, работающего на висмуте, при [/р = 150 В минимальное ускоряющее напряжение и 3 кВ, а при 1 у = 370 В оно уменьшается до 2 кВ. Для граничной величины Цу установлена эмпирическая зависимость [c.146]

Плавка, заливка в формы и кристаллизация металла осуществлялись в вакуумной плавильной установке ВИАМ-24 при остаточном давлении в камере 6-0,6 Па (510 мм рт. ст.). [c.395]

При испытании избыточным давлением контролируемое соединение арматуры с трубопроводом помещают в вакуумную камеру или под колпак, создают в ней вакуум до остаточного давления 30—50 Па и заполняют гелием. Затем в камере создают вакуум. После выдержки 5—10 мин измеряют течеискателем возможную протечку гелия из арматуры в камеру через дефект соединения. Так как при этом методе место дефекта не выявляется, то в случае протечки место нахождения дефекта определяется способом обдувки. [c.219]

Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного пароструйного насоса 8, форвакуумного механического насоса 9, системы трубопроводов и вентилей 11, а также приборов для контроля остаточного давления - вакуумметров. Вакуумная система должна поддерживать в рабочем объеме камеры разрежение мм [c.253]

Испытания проводились при растяжении-сжатии в упругопластической области с частотой примерно 0,1 цикла в минуту. Для устранения влияния конвекционных воздушных потоков образец размещался в вакуумной камере с остаточным давлением — порядка 1 10 мм рт. ст. [c.58]

При этом способе сварки соединяемые детали помещают в вакуумную камеру при остаточном давлении среды 133-10" — 133-10 з Н/м (10" —10 5 мм рт. ст.) и нагревают токами высокой частоты до [c.348]

Физическими методами испарения и конденсации можно наносить любые испаряющиеся без разложения вещества. Механизм конденсации насыщенного пара характерен для образования покрытий на инертной поверхности (низкая температура, нерастворимость конденсирующегося вещества в субстрате). При получении покрытий методами термического испарения с последующей конденсацией паров область испарения и область конденсации разделяются пространственно и между ними создается большой градиент температур. Испаряющееся вещество может находиться как в расплавленном (например, А1, 2п, Си, С(1, Ag, РЬ, И, Сг, N1), так и в твердом (например, В, С, 51, Мд, Мо) состояниях. Процесс ведется в вакуумных камерах. Давление остаточных газов в них не должно превышать 6,7-10" Па (5-10 мм рт. ст.). Высокий вакуум обеспечивает прямолинейность траектории полета атомов от испарителя к субстрату ( атомно-молекулярные пучки в вакууме ) и чистоту конденсированного слоя [35]. [c.38]

В последние годы испытания на твердость при весьма высоких температурах некоторые исследователи производят в вакууме при этом окисление поверхности испытуемого образца практически устраняется. К числу таких вакуумных приборов относится, например, прибор, сконструированный в Институте металлургии АН СССР [55, 56]. Общий вид прибора воспроизведен на рис. 266. Весь прибор помещен в вакуумной камере, образуемой стеклянным колпаком 12 и медным корпусом 1. Откачивают воздух из этой камеры через патрубок 2 до тех пор, пока внутри нее остаточное давление не будет превышать 10 — 10 мм. [c.301]

Прибор помещали в вакуумную камеру, охлаждаемую водой. В камере поддерживали остаточное давление от 8 10 2 до 5 10 мм рт. ст. [c.74]

После зонной плавки слитки имеют еще поликристаллическую структуру.Монокристаллы германия получают путем вытягивания из расплава. Сущность способа заключается в следующем в расплав германия, находящийся в вакуумной камере при остаточном давлении около 0,001 Па, опускают стержень с частицей чистого германия — затравкой — на конце после частичного оплавления затравки происходит подъем стержня из расплава со скоростью, соответствующей росту кристалла на конце затравки. Получается моно-кристаллический германиевый стержень, из которого можно вырезать пластинки нужной толщины. Таким способом получают монокристаллические стержни диаметром более 100 мм. В монокристаллах, несмотря на предшествующую вытягиванию зонную плавку, остается некоторое количество примесей, неравномерно распределенных по длине — верхняя часть содержит меньше примесей, чем нижняя. [c.281]

Дегазация жидкой стали путем перелива из одного ковша в другой. На рис. 108 показана дегазация стали путем перелива из одного ковша в другой. В камеру 1 устанавливают порожний ковш 2. Воздух из камеры откачивают вакуумными насосами до остаточного давления в несколько миллиметров ртутного столба. Насосы продолжают работать и после того, как создано максимально возможное разрежение. В это время к вакуум-камере подают готовую расплавленную сталь, выпущенную из печи в другой сталеразливочный ковш 3. В крышку камеры плотно заделана воронка (лейка) 4, которая внизу герметически перекрыта алюминиевым листом. Когда остаточное давление в камере становится минимальным, металл из второго ковша постепенно выпускают через воронку в первый ковш при этом алюминиевый лист прожигают. Струя металла 5 проходит из верхнего ковша в нижний по разреженному пространству и отдает большинство содержащихся в ней газов, которые отсасываются насосами. [c.208]

Откачать вакуумную систему ПТИ так, чтобы остаточное давление в камере течеискателя не превышало 2—3 делений шкалы прибора вакуум . [c.220]

При продувке металла нейтральным газом невозможно создать в вакуумной камере очень низкое остаточное давление. Однако если даже поддерживается р=0,04-н0,05 МПа (0,44-0,5 ат), то этого достаточно для уменьшения расхода нейтрального газа примерно в два раза. Следовательно, эффект дегазации металла может быть повышен при комбинированном применении продувки аргоном и вакуумирования. [c.295]

При нагреве низколегированной или углеродистой стали выше 973—1073 К видимое окисление полностью отсутствует уже при разрежении до 1,3-10 Па. В то же время при этом разрежении и температуре на поверхности свариваемых деталей из стали, легированной 1—2% Сг, появляются видимые в микроскоп тонкие пленки окислов. Во избежание их возникновения следует уменьшить остаточное давление до 1,3-10 Па. При большем содержании хрома требуется еще более низкое остаточное давление. Необходимая степень разрежения в вакуумной камере для сварки данного металла или сплава может быть приближенно определена из следующих соображений. [c.28]

На рис. 5 показан спектр масс остаточных газов в камере типовой установки для ДСМ с конденсационной азотной ловушкой. Объем камеры 0,25 м , уплотнения изготовляют из вакуумной резины, камера изготовлена из спокойной низкоуглеродистой стали. Откачная система — форвакуумный насос ВН-1 и высоковакуумный агрегат ВА-2-3. Остаточное давление в камере в основном обусловлено тяжелыми углеводородами. Азотная ловушка на выходе паромасляного насоса более чем в 2 раза снижает парциальное давление тяжелых углеводородов и воды. Парциальное давление кислорода уменьшается незначительно (рис. 5, б). Парциальное давление кислорода эффективно снижается при применении сорбционных титановых ловушек или титановых насосов. В этом случае (рис. 6) пик кислорода не зарегистрирован. Характерным для работы устройств с активными пленками титана является резкое увеличение парциального давления водорода при работающем титановом испарителе (рис. 6, б), но уже через 20—25 с после прекращения испарения пик водорода не регистрируется. [c.84]

Вакуумную дегазацию стали проводят для уменьшения содержания в металле газов и неметаллических включений. Вакуумирование тали производят в ковше, при переливе из ковша в ковш, при заливке в изложницу и т. п. Для вакуумирования в ковше ковш с жидкой сталью помещают в камеру, закрывающуюся герметичной крышкой. Вакуумными насосами в камере создается разрежение до остаточного давления 0,267—0,667 кПа. При понижений давления из жидкой стали выделяется водород и азот. Всплывающие пузырьки газов захватывают неметаллические включения, в результате чего содержание их в стали снижается. Все это улучшает прочность и Пластичность стали. [c.46]

После проведения нескольких серий опытов в воздушной среде воздух с помощью вакуумной установки откачивается из газовой камеры до остаточного давления порядка 10 мя рт. ст. Затем проводится новая [c.105]

Как было указано выше, в результате вакуумирования содержание водорода в жидкой стали снижается на 40—80%, в зависимости от остаточного давления в вакуумной камере. Благодаря такому понижению содержания водорода при разливке, по результатам наших опытов, крупные поковки имеют низкое содержание водорода. Вследствие этого поковки из дегазированной хромоникельмолибденовой стали диаметром около 1000 мм, охлажденные по сокращенному режиму с изотермической выдержкой из расчета 6 час. на 100 мм сечения (вместо 15—20 час.), флокенов не имели, тогда как поковки такого же сечения, откованные из слитков тех же плавок с исходным содержанием водорода 3,5—4,5 M jlGO г, после охлаждения по тому же режиму, что и поковки из дегазированной стали (по [c.46]

Вместимость рабочей камеры 0,1 м наибольшие габариты свариваемых деталей — 220x220x320 мм максимальная температура нагрева деталей 1500 °С остаточное давление в вакуумной камере не выше 10 Па мощность установки 20 кВт. [c.184]

Магнитопроводы. В печах с наклоняющимся тишем вместимостью более 40 кг индуктор 1фепят в каркасе - опорной, несущей конструкции печи. Для уменьшения размеров каркаса его экранируют пакетами магнитопроводов из листовой трансформаторной стали. Потери в магнитопроводах обычно составляют 1 - 2 % общей мощности печи. Допустимые удельные потери мощности РуА на 1 м2 боковой поверхности пакета магаито-провода зависят от остаточного давления в вакуумной камере [c.238]

Мг/м Ршл 3,5 кПа (0,035 ат), т.е. более чем в десять раз превышает обычное остаточное давление в вакуумной камере. Следовательно, регулированием Рост нельзя управлять процессом обезуглероживания, решающее влияние на этот процесс оказывают ршл и рмет- [c.157]

Чтобы в вакуумную камеру не попадали водяные пары, содержащиеся-в атмосфере, воздух впускается с помощью вентиля через силикагелевый патрон-осушитель. Остаточное давление в рабочей камере измеряется манометрическими лампами 10 и 11 (ЛТ-2 и ЛМ-2). Обе лампы соединены с вакуумметром типа ВИТ-1А-П. [c.147]

По рабочей температуре вакуумные печи разделяются на сред- етемпературные (1100—1200°С) и высокотемпературные (>1200 С), а по остаточному давлению в рабочей камере — низковакуумные <до 13,3 Па), средиевакуумные (13,3—1,33-10- Па), высоковакуум- ые (1,33-10-2—1,33-10-< Па), сверхвысоковакуумные (ниже 1,33- [c.254]

Остаточное давление в рабочей камере измеряется манометрическими лампами термопарной лампой 10 типа ЛТ-2 (для определения остаточного давления до 10мм рт, ст.) и ионизационной лампой И типаЛМ-2 (при разрежении 10 —10 мм рт.ст.). Лампы 10 и 11 соединены с вакуумметром 12 типа ВИТ-1А-П. Вакуумная система установки обеспечивает разрежение в рабочей камере 1 10 —5-10" мм рт. ст. [c.18]

Выдержка жидкой стали в вакууме вне нечи для удаления газов требует малых затрат и позволяет дегазировать большие массы металла (до 250—350 т). Ковш с жидкой сталью помещают в вакуумную камеру, либо переливают металл в другой ковш, что более эффективно, либо разливают металл в изложницы под вакуумом, что особенно целесообразно для очень больших слитков массой до 200—250 т. Остаточное давление в вакуум-камере составляет 0,6—1,9 кН/м , иногда до 13 Н/м . Применяя этот способ, можно снизить содержание кислорода в бессемеровской кипящей стали в 4—10 раз, водорода на 50— 60% и азота на 20—30%, неметаллические включения уменьшаются примерно в два раза. [c.559]

Отжиг образцов проводился в вакуумной камере из нержавеющей стали с металлическими уплотнениями. Откачка производилась диффузионным масляным насосом с прогреваемой сорбционной ловушкой [7]. Предельное остаточное давление в камере составляло 5-10 мм рт. ст. (натекание 10 л-мкм/с). При отжиге образцов давление повышалось до 1-10 мм рт. ст., а после отжига составляло 1>10 мм рт. ст. Состав остаточных газов определялся с помощью масс-спектрометра ИПДО-2 (табл. 1). [c.60]

Контактирующие поверхности шлифовали и обезжиривали, а затем соединяли в трех местах точечной сваркой. Прокатку осуществляли на вакуумном прокатном стане 170 конструкции ФТИ АН УССР [89]. Пакеты прокатывали за один проход при 1200-900° С с обжатием от 5 до 40%. Остаточное давление в камере не превышало 1 10" мм рт. ст. Прочность сцепления на срез (скол) определяли по методике, рекомендованной ГОСТом 10885-64. Кроме того, плакированные листы испытывали [c.92]

Вакуумная система установки выполнена по схеме, показанно на рис. 70. Она состоит из вакуумной камеры 1, форвакуумного насоса 2, ионно-сорбционного насоса 3 (типа НЭМ-100-2). Форвакуумный насос соединяется с каморой через цеолитовую ловушку 4. Измерение остаточного давления в камере осуществляется манометрическими ламгГами 5 и 6. [c.135]

Влияние химической неоднородности углеродистой стали на ее поведение при термоциклировании изучено в работах [32, 33]. Исследование выполнено на углеродистых сталях 10кп и Зсп, а также стал 45 и 85, содержащих соответственно 0,10, 0,16, 0,46, 0,84% С. Проволочные образцы диаметром 1,5 мм и длиной 300 мм крепили к медным зажимам и нагревали пропусканием переменного тока в течение 15 сек. Общая длительность цикла составляла 30 сек, максимальное число циклов — 1500. Термоцикли-рование производили в вакуумной камере при остаточном давлении 10 и 10 мм рт. ст. Вид термоциклов не отличался от приведенных на рис. 14. Критические точки [c.168]

Соленая вода подается насосом 1 через теплообменник 2 и разбрыз-/<5 гиватель 3 в вакуумную камеру 4. где происходит кипение воды в вакууме (остаточное давление 3— [c.118]

Для исследования на высокотемпертурном микроскопе используют образцы с тщательно отполированной поверхностью. Образцы нагревают в вакуумной камере при остаточном давлении 1,3—1,3-Па или в среде разреженного инертного газа. Выявление структуры при таких исследованиях основано на эффекте вакуумного травления , обусловленном избирательным испарением фаз в вакууме, различной скоростью испарения для участков с различной кристаллографической ориентировкой, а также повышенной скоростью испарения в участках, расположенных у границ зерен и других дефектов кристаллического строения. В результате вакуумного травления на полированной поверхности появляется характерный микрорельеф, отображающий структуру материала при высокой температуре и ее изменение в процессе нагрева. Например, используя последовательные кратковременные выдержки при нагреве стали в вакууме до определенных температур в интервале 900—1300 °С, Можно наблюдать миграцию границ зерен и изучать кинетику роста зерна аустенита. [c.33]

Плавка в электронно-лучевых печах. Таким способом выплавляют чистые тугоплавкие металлы (молибден, ниобий, цирконий и др.), а также жаропрочные сплавы и специальные стали. Нагрев, плавление и перегрев металла в этих печах происходят за счет энергии, выделяющейся при резком торможении свободных электронов, пучок которых направлен на металл. Получение электронов, их разгон и концентрация в луч, направление луча в зону плавления осуществляются электронной пушкой. Плавка происходит в вакуумных камерах нри остаточном давлении 0,00133 Н/м , плавление металла и его затвердевание — в водоохлаждаемых кристаллизаторах. Низкие остаточные давления воздуха внутри печи, большой перегрев и высокие скорости охлаждения слитка способствуют удалению газов и примесей, получению металла высокого качества. Однако процесс электронно-лучевой плавки требует дорогостоящего и сложного оборудования. Кроме того, при переплаве шихты, содержащей легкоиспаряющиеся элементы, изменяется химический состав металла. Обычно электронно-лучевые печи имеют небольшую елшость, однако имеются печи для выплавки слитков массой до 15 т. [c.67]

В камере ускорителя, являющегося источником синхротронного излучения, поддерживается хороший вакуум (лучше тор). Это создает определенные удобства для эксперимента и вместе с тем накладывает дополнительные требования на конструкцию зкопериментальных установок, так как их вакуумные системы непосредственно сообщаются с вакуумной камерой ускорителя. В частности, спектральные при боры необходимо откачивать безмасляными насосами, так как интенсивность синхротронного излучения столь велика, что остаточное давление масла в вакуумных камерах спектральных приборов, если они откачиваются масляными диффузионными насосами, приводит к образованию на поверхности зеркал и дифракционных решеток несмываемых пленок, что быстро выводит приборы из строя. [c.248]

Одна из средних термопар является измерительной, другая — контрольной. По ее показаниям и по показаниям концевых термопар контролируется равномерность распределения температуры по длине образца. Спаи и электроды термопар закрепляются в отверстиях и каналах с помощью замазки из порошка, изготовленного из того же материала, что и сами опытные образцы. После заделки термопар образцы длительное время подвергаются сушке в сушильном шкафу. Опытные образцы имеют торцовую изоляцию 11 и 14. На внешней поверхности опытных образцов и защитной торцовой изоляции делается ряд продольных пазов для свободного доступа воздуха или гелия из газовой камеры, в которую помещается электрическая печь вместе с опытными образцами. Газовая камера представляет собой цилиндрический кожух, верхняя крышка которого является съемной. После установки в ней цечи крышка герметически закрывается. К газовой камере присоединяются вакуумная установка и баллон с гелием. Измерение избыточного давления в камере осуществляется образцовым манометром остаточное давление при разрежении измеряется с помощью манометрической лампы и вакуумметра. [c.104]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...