Пароструйные (диффузионные) насосы

Высокий вакуум в установках для тепловой микроскопии в принципе может быть создан механическими (турбомолекулярными) и пароструйными (диффузионными) насосами, а также насосами с поверхностным связыванием (сорбционными). [c.43]

Для получения остаточного давления в рабочей камере установок для тепловой микроскопии 10 —10 мм рт. ст. и ниже, как правило, применяют пароструйные диффузионные насосы. Принцип работы пароструйных насосов основан на использовании откачивающего действия струи пара, находящейся в насосе жидкости. Молекулы газа, попадающие в струю пара со стороны откачивающего патрубка, в результате диффузии увлекаются струей пара и перемещаются в сторону выбрасывающего патрубка, соединенного с форвакуумным насосом. В качестве рабочей жидкости, заливаемой внутрь корпуса пароструйного насоса и нагреваемой до температуры кипения, применяют специальные вакуумные масла, обладающие низким давлением паров (порядка 10 мм рт. ст.), сложные эфиры или ртуть. [c.44]

Пример построения вакуумной системы с предельным остаточным давлением выше 6,5-10 5, приведен на рис. 16. Высоковакуумный затвор 1 изолирует вакуумную систему от контакта с атмосферой во время установки нового образца. Применение байпасной линии с вентилем 11 позволяет исключить непроизводительные потери времени на охлаждение и разогрев пароструйного диффузионного насоса [c.301]

Остаточное давление порядка 10 — 10 мм рт. ст. или выше, необходимое для ведения плавки, создается обычно двумя типами насосов, работающих в паре механическим масляным (форвакуумным) и пароструйным (диффузионным) насосами. Механические насосы служат для создания предварительного, разрежения 0,05—0,5 мм рт. ст., необходимого для работы па- [c.198]

Пароструйные (диффузионные) насосы. Для получения высокого вакуума применяются следующие насосы пароструйные, адсорбционно-ионные, магнитные электроразрядные, молеку- [c.117]

Вакуумная система, построенная по схеме, приведенной на рис. 16, б, имеет пароструйный диффузионный насос 1, бустерный вспомогательный насос 7, механический вакуумный насос 2, выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса с маслоотражателем 4. Установка бустерного насоса 7 между пароструйным 1 и механическим 2 вакуумным насосами позволяет проводить технологический процесс с интенсивным газоотделением и получать в конечном счете достаточно низкое предельное давление. Практически такая система обеспечивает разрежение примерно (4,2—6,7) 10 Па. Важным преимуществом этой системы является хорошее обезгаживание рабочей жидкости пароструйного диффузионного насоса 1. Высоковакуумная откачка изделий производится через вентиль 5. Байпасная откачка изделия осуществляется механическим вакуумным насосом 2 через вентиль 9. Во время этой откачки угловой вентиль 11 закрыт, а насос 7 работает на форвакуумный бачок 3. Для измерения давления предусмотрены манометрические датчики 6. [c.102]

В вакуумной системе, выполненной по схеме, приведенной на рис. 20, а, откачка камеры ведется в три этапа в начале технологического цикла производится предварительная откачка механическим вакуумным насосом 3 (позиция I), далее осуществляется предварительная откачка многокамерным механическим насосом 2 и окончательная откачка пароструйными диффузионными насосами 1 (позиция //). В этой схеме золотник 4 расположен между камерой и пароструйным диффузионным насосом 1 и для надежной работы золотника 4 его вакуумные каналы защищены кольцевыми проточками, заполняемыми маслом, которое откачивается механическими вакуумными насосами 2. Вакуумные системы с таким расположением золотника 4 даже при тщательном изготовлении всех элементов обеспечивают в системе давление не ниже 1,3-10" Па вследствие большой протяженности высоковакуумных коммуникаций и негерметичности золотника 4, Загрузку и выгрузку изделий производят при расположении золотника 4 в позиции III. . [c.105]

В вакуумной системе, выполненной по схеме на рис. 20, б, предварительная откачка камеры и насоса 1 производится отдельным механическим вакуумным насосом 5 (позиция /). Дальнейшая откачка пароструйных насосов осуществляется многокамерным насосом 2 (позиция II). Пароструйные насосы 1 периодически охлаждаются перед выгрузкой и постановкой нового изделия (позиция III). Золотник 4 расположен в области предварительного разрежения, вследствие чего в системе можно обеспечить лучшее разрежение, чем в предыдущем случае. Вакуумные системы, построенные по схеме на рис. 20, б, применяются в карусельных машинах откачки с длительным технологическим циклом, продолжительность которого достаточна для охлаждения пароструйного диффузионного насоса на одной-двух позициях. [c.105]

К вакуумным насосам предъявляются высокие требования, главным образом к глубине откачки, необходимой для получения конечного вакуума, достигающего 10" мм рт. ст. Эти требования могут быть выполнены с помощью пароструйных высоковакуумных насосов отечественного производства, например ртутно-диффузионных типа Н-ЮР и Н-50Р со скоростью откачки 10 и 50 л сек соответственно. [c.97]

Пароструйные, диффузионные масляные насосы с фракционированием масла и обезгаживанием конденсата, стекающего пО стенке, дают вакуум с остаточным давлением до 10 —10 мм. рт. ст., а в сочетании с ловушками 10 —10 ° мм рт. ст. [c.118]

Высоковакуумные пароструйные и диффузионные насосы (см, [Л, 12, 19, 32]), Основные преимущества ртути по сравнению с органическими рабочими жидкостями устойчивость к перегреву и малая склонность к растворению газов. Недостатки сравнительно высокое давление паров (10 мм рт. ст., тогда как упругость паров масел для диффузионных насосов не превышает 10 мм рт. ст., см, рис, 18-1) и в связи с этим необходимость применения охлаждаемых ловушек, что удорожает производство и снижает скорость откачки. [c.428]

После включения тумблера диффузионный насос не нагревается подогреватель пароструйного насоса Отсутствует, напряжение питания.-- . . " Перегорел подогреватель Проверить напряжение на зажимах Сменить подогреватель [c.217]

Высокий вакуум в масс-спектрометре получают с помощью специальных насосов, обычно двух высоковакуумных и одного форвакуумного. В качестве высоковакуумных применяют диффузионные (пароструйные) насосы, [c.96]

Пароструйные насосы делят на эжекторные и диффузионные. В отличие от механических (вращательных) насосов, в которых процесс откачивания осуществляется в результате периодического изменения объема рабочего пространства, в пароструйных насосах отсутствуют движущиеся части. [c.205]

Последующие ступени производят откачку с меньшей быстротой, но зато перепад давлений на них соответственно увеличивается. Характеристика сопла последней ступени определяет максимальное выпускное давление насоса. Насосы, в последней ступени которых применены сопла, работающие по принципу диффузии газа в струю пара, имеют обычно максимальное выпускное давление, не превышающее 0,2 мм рт. ст. Однако на практике нередки е-лучаи, когда необходимо обеспечить нормальную работу насосов при более высоких выпускных давлениях. Это достигается путем применения в пароструйных насосах наряду с соплами, работающими по принципу диффузии газа, сопла с эжекторным действием. Следует отметить, что не во всех типах насосов возможно одновременное применение диффузионных и эжекторных сопел для обеспечения действия эжекторного сопла требуется значительное давление пара, что не всегда совместимо с нормальной [c.19]

Отличительной особенностью вакуумной системы, построенной по схеме на рис. 17, б, является наличие пароструйного диффузионного насоса 10 с азотной ловушкой 11 и прогреваемым вентилем 12. Подключение пароструйного диффузионного насоса 10 к гетероионному насосу 1 значительно увеличивает скорость откачки последнего при низких давлениях за счет откачки инертных газов. Пароструйный насос 10 имеет индивидуальный механический вакуумный насос 14, который соединен с ним трубопроводом через вентиль 13. Насос 10 может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим вентилем 12. [c.103]

При откачке воздуха из электропечи через байпасную магистраль насос 3 работает на форвакуумиый бачок 7, который отделен в это время от механического вакуумного насоса 9 клапаном аварийного закрытия 8. Клапан 8 выполняет роль защитного устройства, предотвращающего прорыв атмосферы и попадание масла из механического насоса в пароструйный при обесточивании вакуумной установки. С целью исключения попадания масла из механического вакуумного насоса 9 в клапан 8 и вентиль 11 предусмотрен вентиль 10, с помощью которого при выключении установки пространство над входным патрубком механического вакуумного насоса сообщается с атмосферой. Измерение давления в разных участках вакуумной системы производится манометрическими датчиками 4, 5 и 6. Вентиль 12 пред-иазначеп для заполнения электропечи воздухом при ее открывании. Между диффузионным насосом 3 и откачиваемым объемом 13 расположена ловушка 2. [c.301]

Сварочная диффузионная вакуумная установка состоит из источника нагрева — высокочастотной установки, сварочной камеры с водяным охлаждением и тепловым экраном над свариваемыми деталями, электронагревательных устройств (индукторов) для нагрева свариваемых изделий, нажимных стержней для создания давления на изделия, двух вакуумных насосов — масляного ротационного для предварительного разрежения и диффузиошюго пароструйного. Измерение разрежения в рабочей камере производится прн помощи электрических манометрических ламп типа ЛТ2 и ЛМ2, соединенных с вакуумметром температура нагрева контролируется при помощи платинородий — платиновой термопары, выводы которой соединены с потенциометром. Между рабочей камерой и диффузионным насосом расположен затвор, позволяющий откачивать воздух из камеры форвакуумным насосом, минуя пароструйный насос, и вводить воздух внутрь рабочей камеры для съема и установки свариваемых деталей. В канале трубопровода расположена ловушка для улавливания и конденсации паров воды и масла. Давление на свариваемые детали производится путем передачи давления от гидронасоса в гидроцилиндр и регистрируется манометром. На лицевой панели установки расположены кнопки управления, сигнальные лампы и трансформатор ЛАТР-1. [c.349]

Паромасляные насосы не терпят попадания в них атмосферного воздуха. Соприкосновение горячего масла с атмосферой приводит к окислению масла и связанному с этим ухудшению его вакуумных свойств, к появлению на соплах насоса смолянистых, трудноудаляемых нагаров. Насос при этом перестает работать. Поэтому в ходе эксплуатации течеискателей совершенно исключается возможность откачки от атмосферного давления испытуемых объемов, подсоединяемых к дросселирующему вентилю, через вакуумную систему течеискателя, сколь малы ни были бы эти объемы. Из этих же соображений прекращение предварительной откачки, отсоединение и выключение механического насоса допускаются только после полного охлаждения диффузионного насоса. Ухудшение рабочих свойств масла в пароструйном насосе может произойти также и без видимых нарушений правил эксплуатации при длительной работе насоса. Во всех случаях ухудшения работы насоса его следует снять, промыть или прочистить и промыть (в зависимости от типа насоса ДМН-20 или НВО-40) и заменить масло. Правила [c.212]

Сварочная диффузионная вакуумная установка СДВУ-1 состоит из высокочастотного лампового генератора ЛГЗ-10А, форвакуум-ного насоса РВН-20 для предварительного разрежения, диффузионного пароструйного насоса ЦВЛ-100 для создания высокого вакуума, сварочной камеры с электронагревательными устройствами (индукторами) тепловым экраном над свариваемыми деталями и нажимными стержнями, связанными с гидроцилиндром гидравлического насоса для питания гидроцилиндра, и пусковой сигнальной и измерительной аппаратуры. Система насосов обеспечивает получение вакуума 10 —10 мм рт. ст. [c.348]

В сорбционных испарительных (геттерных) В. н. поглощающая поверхность создаётся напылением химически активных металлов (Ва, Т1, гг, Та, Мо и др.). Образующиеся плёнки поглощают большинство газов, присутствующих в вакуумных системах (02> Со, СО2, пары Н2О), за счёт образования хим. соединений, хемосорбции (Н2) и растворения. Инертные газы и углеводороды практически не поглощаются, их удаляют вспомогательным пароструйным В. н. или ионной откачкой. Но полностью освободиться от углеводородов (напр., от-СН4) не удаётся, они синтезируются на поверхности плёнки поглотителя играющей роль катализатора. Это не позволяет получить р ст меньше 10 —10- мм рт. ст. Однако при напылении Т1 на охлаждаемые (ниже 77 К) поверхности не только снижается кол-во Нг и др. газов, но и прекращается образование СНл, что позволяет получить Рост 1 — 10- мм рт. ст. Такие насосы требуют Рзап 10 мм рт. ст. и в сочетанин с диффузионным или магниторазрядным В. н. создают сверхвысокий вакуум при 5 до 10 л/с. [c.65]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...