Распыление реактивное

Реактивное распыление, реактивная ионная имплантация, осаждение из газовой фазы 0,5—2.0 3—6 2—16 25—35 6—11.5 [c.456]

В зависимости от способа нагрева материала, подлежащего нанесению, существуют следующие разновидности получения пленок в вакууме термическое испарение, испарение электронным лучом, реактивное катодное распыление, катодное распыление в высокочастотно.м разряде. [c.106]

Реактивное распыление предусматривает введение в среду тлеющего разряда реактивного газа (кислород, окись углерода и др.), что позволяет получать пленки с заданными свойствами, а также пленки соединений основного материала. Окисление или азотирование распыляемого материала происходит на поверхности мишени либо в процессе формирования пленки. При низких давлениях более вероятен второй [c.428]

HfO, Реактивное распыление Анодирование 5.0 —8.0 0,7 2.6 1.25 24 — 40 [c.456]

РАЗРЯД (искровой имеет вид прерывистых зигзагообразных разветвляющихся нитей, быстро прекращающихся после пробоя разрядного промежутка уменьшения напряжения, вызванного самим разрядом кистевой относится к разновидности коронного разряда, сопровождающегося появлением искр вблизи острия коронный — высоковольтный самостоятельный разряд, возникающий в резко неоднородном электрическом поле вблизи электродов с большой кривизной поверхности (острие, проволока) лавинный электрический разряд в газе, в котором возникающие при ионизации электроны сами производят дальнейшую ионизацию несамостоятельный— газовый разряд, существующий при ионизации газа внешним ионизатором самостоятельный не требует для своего поддержания внешнего ионизатора тлеющий происходит самостоятельно в газе при низкой температуре катода, сравнительно малой плотности тока и пониженном по сравнению с атмосферным давлении газа электрический — прохождение электрического тока через вещество, сопровождающееся изменением состояния вещества под действием электрического поля) РАЗУПРОЧНЕНИЕ — понижение прочности и повышение пластичности предварительно упрочненных материалов, РАКЕТОДИНАМИКА — наука о движении летательных аппаратов, снабженных реактивными двигателями РАСПАД радиоактивный (альфа состоит в испускании тяжелыми ядрами некоторых химических элементов альфа-частиц бета обозначает три типа ядерных превращений электронный и позитронный распады, а также электронный захват гамма является жестким электромагнитным излучением, энергия которого испускается при переходах ядер из возбужденных энергетических состояний в основное или менее возбужденное состояние, а также при ядерных реакциях) РАСПЫЛЕНИЕ катодное — разрушение твердых тел при [c.269]

При осаждении из плазмы применяют в основном реактивные рабочие среды (смеси аргона с азотом или углеводородами при давлении приблизительно 0,1 Па) и металлические катоды. Основной недостаток ионно-плазменного дугового распыления — образование мелких капель металла из-за частичного плавления катода и возможность попадания металлических капель в осаждаемые пленки. [c.52]

С. Неплохие результаты дает и гидрирование аморфных пленок, напыленных в условиях высокого вакуума путем имплантации в них ионов водорода, а также метод реактивного распыления. [c.102]

Диодное распыление материалов может осуществляться и в газовой среде, взаимодействующей с распыленными частицами и материалом мишени. Тогда происходит так называемое реактивное распыление, в результате которого получают пленки окислов, нитридов, карбидов, сульфидов, хлоридов и др. [c.115]

При катодном распылении тлеющий разряд создается в среде инертного газа или смеси газов при невысоком вакууме (1— 10 Па). Применение термоэлектронного катода позволяет понизить давление, до 10" —10- Па. Для получения электроизоляционных пленок оксидов и нитридов применяется реактивное распыление, при котором газоразрядная плазма создается в смеси инертного газа с актив-Н1 и кислородом или азотом. В результате реакции распыленного вещества с атомами активного газа образуется вещество пленки, осаждаемое на подложку. Такие реакции могут протекать в межэлектродном пространстве или на поверхности подложки. Скорость нанесения пленок при таком распылении менее [c.259]

Реактивное распыление и распыление в ВЧ-разряде 15—за 1,0-2,0 — 100—500 [c.260]

Реактивное распыление и распыление в ВЧ-разряде 40 5,0—6,0 104 [c.260]

Реактивное распыление и распыление в ВЧ-разряде 24—25 0,3-0,7 — 50 [c.260]

Реактивное распыление и распыление в ВЧ-разряде 2—4 0,1 101 — [c.260]

На рис. П.84 представлена схема наиболее распространенного авиационного газотурбинного двигателя — турбореактивного двигателя. При движении самолета через входную часть двигателя поступает воздух, давление которого несколько повышается в диффузоре 5. В осевом компрессоре 1 происходит дальнейшее повышение давления воздуха, и он поступает в камеру сгорания 2, куда подается распыленное жидкое топливо. Образующиеся в камере сгорания газы поступают в газовую турбину 3, вырабатывая мощность, расходуемую на привод компрессора. Отработавшие в турбине газы удаляются через сопла 4 в атмосферу, создавая реактивную силу, движущую самолет. [c.224]

ВХОДИТ в диффузор Д, из которого поступает в компрессор к. После сжатия в диффузоре и компрессоре, которое теоретически протекает соответственно по адиабатам 1—2 и 2 —2, он подаете в камеру сгорания КС. В последнюю под давлением через форсунку впрыскивается распыленное топливо. В большинстве систем подача воздуха и топлива в камеру сгорания протекает непрерывно и регулируется так, что в последней сохраняется постоянное давление. При этом процесс сгорания представляется линией 2—3, параллельной оси абсцисс. Газы — продукты сгорания — поступают в турбину и после нее с большой скоростью через реактивное сопло С вытекают наружу. [c.201]

Но более широкое применение находят методы реактивного распыления твердых материалов, вводимых в процесс в виде катодов и специальных мишеней. В этом случае химические реакции происходят на катоде, мишенях, в газовой фазе и зоне осаждения. [c.46]

Различают три основных вида реактивного распыления — катодное, ионное и высокочастотное. При реактивном распылении газовая среда (кислород, азот, метан, аммиак) химически активна по отношению к распыляемым материалам. [c.47]

Химический синтез покрытий методами реактивного распыления твердых металлов в плазме можно в принципе представить схемами [c.48]

Расплавы высоковязкие 20 Распыление атом-ионное, методы реактивные 47, 48 физические 40—43 Рассасывание -244 Реакции [c.292]

Реактивное катодное распыление представляет процесс, в котором происходит вырывание атомов или частиц металлической мишени под действием бомбардировки ионами относительно высоких энергий в присутствии кислорода. Кислород реагирует с частицами напыляемого металла, образуя окислы. Синклэром [68] таким способом были получены пленки из двуо киси кремния, окиси алюминия и из алю. мосиликатов. Давление при этом составляло 332,5-10- Па, а напряжение— 1800 В. О получении пленочного покрытия из двуокиси титана с помощью реактивного катодного распыления сообщается Хейтманом [69]. [c.107]

Разработка новых схем и тршов двигателей (двигателей внутреннего сгорания, газотурбинных, воздушно-реактивных и ракетных двигателей), совершенствование их работы, разработка новых взрывчатых веществ, новых высококалорийных топлив, анализ безопасности ряда производств приводят к необходимости углубленного исследования гетерогенного горения взвесей распыленного жидкого или твердого горючего, исследования детонации, взрыва и других газодинамических явлений в газовзвесях. Результаты таких исследований особенно важны для анализа пожаро- и взрывобезопасности технических устройств, в которых могут образоваться способные к детонации и горению взвесене-сущие или газопылевые среды. Именно в газовзвесях можно по-1 [c.3]

Т10г 1840 Раз- лага ется на низкие окислы при нагреве до 2000°С Реактивное распыление, термическое осаждение из газовой фазы (ОС4Н9)4Т1 [c.432]

ХзОз Реактивное распыление Анодирование 1-8 30 — 70 3-7 2,4 —4.5 11-17 [c.455]

Весьма перспективно применение вакуумных ионно-плазменных методов — с ионным распылением и азотированием, методов КИБ, ПУСК, РЭП, распыление моноэнергетическими пучками ионов, с помощью магнетрон-ных распылительных систем. Износостойкие покрытия из нитридов, карбидов, окислов, сложных соединений, алмаза и др., а также антифрикционные покрытия из халькогенидов металлов, полимеров и других материалов наносятся при помощи реактивных методов с участием плазмо-химических реакций. Особенно перспективно применение указанных методов к прецизионным парам, насосам, топливной аппаратуре, газовым подшипникам, гидроприводу, точным направляющим и устройствам. Для обработки поверхностного слоя материала в целях повышения износостойкости используется ускоренный поток ионизированных атомов с энергией 100— 200 кЭВ в вакууме, с глубиной проникновения ускоренных ионов 0,1 мкм. Ионная имплантация применяется также для изменения триботехнических свойств, повышения коррозионной стойкости и прочности сцепления покрытия с основой. [c.200]

В порядке эксперимента была испытана молибденовая облицовка камеры сгорания реактивных двигателей. Облицовка с распыленным покрытием из сплава А1 — Сг — Si выдерживала испытания при 1315 в течение 14 мин при высокой скорости воздуха, с одной стороны, и высокой скорости продуктов сгорания — с другой. Другое потенциальное применение мслиб-дена — изготовление из него сопел прямоточных воздушно-реактивных двигателей. [c.425]

Композиционные материалы с титановой матрицей являются перспективными жаропрочными материалами для авиакосмической техники и найдут применение в новых конструкциях реактивных двигателей, где возникает необходимость в материалах, вьщерживающих температуру эксплуатации до 800 °С. Использование композиционного материала позволяет значительно снизить массу конструкции, что крайне необходимо двд аэрокосмической техники. В настоящее время ведутся исследования по созданию из КМ деталей компрессора, например лопаток, турбин и др. К материалу матрицы жаропрочного КМ предъявляются следующие требования значительное сопротивление окислению, высокая прочность при повышенных температурах, удовлетворительная пластичность при комнатной температуре. Между материалом волокон и матрицей не должно происходить химического взаимодействия при повышенных температурах. В качестве матрицы жаропрочных КМ могут быть использованы псев-до-а-титановые сплавы, например сплав IMI834. В качестве упрочните-ля выступают волокна Si . Сплав IMI834, упрочненный волокнами Si (S S-6), предназначен для эксплуатации при температурах до 550 °С. При производстве данных КМ используются технологии магнетронного распыления и горячее изостатическое прессование. Для предотвращения химического взаимодействия при повышенной температуре волокна и матрицы используются защитные покрытия волокон и метод фазовой [c.202]

Зарубежные фирмы Бальцерс (Лихтенштейн), Лейбольд (Германия), Ульвак (Япония), Алкатель (Франция) выпускают автоматизированные установки магнетронного распыления со стабилизацией тока и мощности разряда, парциальных давлений рабочего и реактивного газа. [c.436]

Реактивный двигатель, в сущности, тот же ракетный двигатель, но несущий с собой не весь запас необходимого газа, а использующий окружающий газ, то есть воздух. У простого турбореактивного двигателя, как и у ракетного, имеются камеры сгорания и выхлопное сопло, через которое газы вырываются с ускорением, создавая реактивную тягу. Горячий газ образуется так же, как и в камере сгорания поршневого двигателя к воздуху под давлением добавляется распыленное горючее и смесь зажигается. Но в турбореактивном двигателе этот процесс происходит непрерывно для сжатия воздуха применяется компрессор — весьма сложный многолопастный, многоступенчатый осевой вентилятор с последовательно расположенными ступенями горючее впрыскивается в камеру непрерывно, поступая в нее одновременно со сжатым воздухом, так что после запуска двигателя зажигание осуществляется самопроизвольно и непрерывно. Для приведения в действие компрессора позади камеры сгорания устанавливается газовая турбина, которая отбирает часть энергии расширяющихся газов для вращения компрессора. Турбина похожа на обращенный вентилятор или на ветряную мельницу хитроум- ной конструкции сидя на том же валу, что и компрессор, она вращает его. [c.121]

Метод катодного реактивного распыления, характеризующийся постоянной разностью потенциалов между катодом и подложкой (2—5 кВ), применяется для синтеза тонких окисных, нитридных, карбидных пленок в потоке кислорода, азота, метана при давлении 133- (10 —10 ) Па. Используя, например, азотную плазму и кремниевый катод, получают покрытие из нитрида кремния. Ионы азота выбивают из катода атомы кремния, которые вступают в реакцию с азотом. Образовавшийся нитрид кремния SisN4 (с нарушенной в той или иной степени стехиометрией) осаждается на подложке. При катодном распылении алюминия в плазме сухого кислорода (Ot) образуется пленка АЬОз. [c.47]

Метод ионного реактивного распыления предусматривает использование сформированных ионных пучков, направляемых на распыляемые мишени (например, кремний, алюминий). Для распыления пригодны установки триодного типа. Пленки 51зМ4, A1N синтезируют распылением мишеней ионами азота в условиях сравнительно глубокого разрежения 6,7(10 —10 ) Па (5-10 —5-10 мм рт. ст.) (плазма дугового разряда низкого давления). При постоянном напряжении на мишени (1—3 кВ) скорость роста пленки A1N равна 60—200 А/мин [41, с. 278, 284]. [c.47]

Метод высокочастотного реактивного распыления предпочтителен в тех случаях, когда на проводящей мишени при распылении под постоянным напряжением формируются диэлектрические участки, тормозящие процесс. Чтобы предупредить это явление, на мишень подают сумму переменного и постоянного отрицательного напряжений. Для синтеза покрытия 81зК4 в работе [45] использована установка тетродного типа с характеристиками [c.47]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...