Вакуумные установки, рабочие камеры

Принципиальная схема установки для электроннолучевой обработки показана на рис. 227. Основными узлами установки являются электронная пушка П. в которой формируется мощный электронный луч, вакуумная иЛЙ рабочая камера К, вакуумная насосная система, [c.394]

Установка для электронно-лучевой обработки состоит из следующих основных элементов электронной пушки, в которой формируется мощный электронный луч вакуумной или рабочей камеры, в которой производится обработка детали (вместе с устройствами точной установки и перемещения заготовки) вакуумной насосной системы, создающей вакуум порядка 10 см рт. ст., контрольной системы, управляющей размером электронного луча и его траекторией высоковольтного источника энергии приборов для контроля и наблюдения за ходом процесса. [c.366]

Производительность 300 шт/ч при одиночной загрузке 1800 шт/ч при групповой Длина рабочих камер 0,12, 0,028 м Установка шестипозиционная карусельная Пороговая чувствительность 1,33 10 " м--Па/с Производительность 20 шт/ч Размер вакуумной камеры 0,3X0,4 м Установка четырехпозиционная, последовательного действия [c.203]

Установка Микро-1 состоит из высокотемпературной разрывной микромашины, расположенной внутри вакуумной рабочей камеры, на ее крышке, и пульта управления, в котором смонтированы многочисленное оборудование и приборы. [c.77]

Установка состоит из следующих основных частей испытательной гидравлической машины I типа СД-10 вакуумной камеры // механизма измерения деформаций /// механизма для измерения диаметра шейки образца /V механизма измерения усилия нагружения V, системы VI записи диаграммы в координатах Р — А/ Р — устройство VII для получения и контроля вакуума в рабочей камере и оборудования для нагрева испытуемого образца. [c.124]

Вакуумная система установки состоит из рабочей камеры, ротационного насоса, термоэлектрической ловушки и диффузионного насоса. Предельное разрежение в камере составляет 1.10 мм рт. ст. Вакуумная камера укрепляется на колоннах машины с помощью кронштейнов. [c.21]

Первые установки для тепловой микроскопии были снабжены приспособлениями в виде шторки или заслонки из металлического листа. Внутри рабочей камеры установки такая шторка при помощи электромагнитного толкателя, введенного через вакуумное уплотнение, перемещалась параллельно плоскости смотрового стекла. Шторка располагалась в промежутке между поверхностью образца и смотровым стеклом. Небольшое отверстие в ней на время наблюдения за структурой образца совмещалось с оптической осью объектива микроскопа, находящегося снаружи вакуумной камеры. При этом напыление на смотровое стекло происходило только во время наблюдения и фотографирования строения образца. Недостаток приспособления заключался в том, что после окончания опыта нужно было очищать смотровое стекло от слоя конденсата. [c.86]

На рис. 58 изображена принципиальная схема установки ИМАШ-5С-65. Ниже рассматриваются конструкция рабочей камеры и нагружающего устройства при испытаниях с регулируемой скоростью растяжения, т. е. при постоянной скорости перемещения захвата (рис. 58, а), а также особенности нагружающего устройства при проведении испытаний с постоянной нагрузкой на образец (рис. 58, б). Исследуемый образец 1 помещен в вакуумной камере, состоящей из корпуса 2 и крышки 3, снабженных системой водяного охлаждения. Внутренняя поверхность вакуумной камеры хромирована и отполирована. [c.116]

Установка, внешний вид которой показан на рис. 67, состоит из трех основных блоков пульта управления I, в котором размещены рабочая камера, вакуумная система, нагружающее устройство, системы сигнализации и управления блока II, предназначенного для автоматического поддержания и записи температуры образца, в котором размещены системы грубого и точного поддержания температуры нагрева образца блока III для записи изменения электрического сопротивления. [c.132]

На рис. 80 дана принципиальная схема установки ИМАШ-10-68. Образец помещен в вакуумную камеру J, состоящую из корпуса 2 и крышки 3, снабженных системами водяного охлаждения. На крышке камеры находится металлографический микроскоп 4 типа МВТ с длиннофокусным объективом типа МИМ-13-С0. Подъем и опускание крышки для установки образца в рабочую камеру и извлечения его из камеры производят с помощью специального ручного домкрата. [c.145]

На установке ИМАШ-10-68 возможно также проведение испытаний в защитных газовых средах (например, в очищенном аргоне или гелии) при избыточном давлении 0,2 ати. Газ в рабочую камеру установки может быть введен через отверстие для напуска воздуха для отвода защитного газа предназначено вакуумное уплотнение одной из манометрических ламп. [c.147]

Нагружающая система. На установке ИМАШ-10-68 можно проводить испытания образцов при циклическом нагружении с частотами 3 и 3000 циклов в минуту. Система нагружения выполнена следующим образом. Один конец образца 1 (см. рис. 80) жестко прикрепляется к неподвижной опоре 14, размещенной внутри рабочей вакуумной камеры, а второй соединяется с подвижным захватом рычага 15, при перемещении которого образец изгибается. Качание рычага 15 происходит при поочередном повороте вала 16, опирающегося на подшипники. Для герметизации камеры при повороте вала 16 служит вакуумное уплотнение, представляющее собой отрезок шланга из вакуумной резины концы шланга жестко прикреплены к валу 16 и фланцу на корпусе рабочей камеры. Рычаг 17 соединен шатуном 18 с эксцентриком. В зависимости от условий испытания шатун можно устанавливать на любом расстоянии от оси эксцентрика величина эксцентриситета регулируется с помощью специального устройства, не показанного на схеме. Вращение эксцентрика осуществляется асинхронным трехфазным электродвигателем (при нагружении образца с частотой 3000 циклов в минуту) или от исполнительного механизма типа ПР-Ш (при малоцикловых испытаниях с частотой 3 цикла в минуту). Для снижения вибраций 147 10 [c.147]

Установки для вакуумного конденсационного напыления покрытий классифицируются по ряду признаков. В зависимости от режима работы установки бывают периодического или полунепрерывного действия. Ось рабочей камеры располагается вертикально и горизонтально. По структурному строению установки делятся на одно- и многопозиционные. Средства откачки среды бывают масляные и безмасляные, низко- и высоковакуумные, а типы распылительных устройств - термического распыления, взрывного дугового испарения-распыления, ионного распыления, комбинированные. Применяют несколько типов установок, различающихся между собой способом нагрева испаряемого материала. К ним относятся установки с резистивными, электронно-лучевыми, высокочастотными индукционными и дуговыми испарителями. [c.375]

Установки для вакуумного напыления покрытий полунепрерывного действия оснащены одной или несколькими шлюзовыми камерами, отделенными от рабочих камер вакуумными затворами. [c.377]

Установки непрерывного действия дают наибольшую производительность процесса, хотя они довольно сложны. Непрерывная подача напыляемых изделий в рабочую камеру устраняет необходимость в останове испарителя, вакуумной системы и сообщения рабочей камеры с атмосферой. Эффективность установок может быть обеспечена лишь в условиях крупносерийного или массового производства. [c.378]

Рабочие камеры. Ввиду необходимости создания вакуума в камере, где образуется и формируется поток электронов, в большинстве случаев при электронно-лучевой сварке и само изделие размещают внутри вакуумной камеры, чтобы устранить рассеяние электронов. Это также обеспечивает хорошую защиту металла щва. Но, с другой стороны, при этом существенно ограничиваются возможности применения такого способа сварки главным образом вследствие ограничения размеров свариваемых изделий и малой производительности процесса, так как много времени уходит на подготовку деталей к сварке. Поэтому наряду с высоковакуумными установками разрабатывают и такие, где электронный луч выводится из камеры пушки, в которой поддерживается высокий вакуум, и сварка производится в низком вакууме (10 . .. 10" мм рт. ст.). [c.198]

Прочностные свойства тугоплавких материалов вследствие их чувствительности к окислению на воздухе обычно определяют в вакууме (не менее 0,1 МПа, при натекании воздуха в вакуумную систему примерно 0,1...0,3 мкл/с) или инертной среде. В процессе кратковременных испытаний, когда в качестве защитной среды используют аргон, минимальные температурные выдержки (3...10 мин) приводят к небольшому поверхностному насыщению образцов остаточными газами из объема рабочей камеры и не оказывают заметного влияния на прочностные характеристики. Испытания сплавов ниобия и тантала вообще не желательно проводить в среде аргона или динамического вакуума (при натекании воздуха в вакуумную систему более 0,5 мкл/с). В некоторых случаях, при высокотемпературных механических испытаниях псевдосплавов тугоплавких материалов, содержащих легкоплавкую составляющую, необходимо регулировать интенсивность испарения, тогда в рабочей камере испытательной установки создают инертным газом избыточное давление 0,1.. .10 МПа. [c.278]

Рассмотренные конструкции автоматических вакуумных камер показывают, что при электроннолучевой сварке может быть получена производительность, обеспечиваюш,ая выпуск изделий в массовых количествах, что позволяет широко применять этот способ в промышленности. Промышленностью выпускаются электронно-лучевые сварочные установки для сварки изделий крупных габаритов. Примером такой установки является установка У86, рабочая камера которой имеет диаметр 2000 мм и длину 4000 мм. В камере с объемом более 10 ж использованы мощные откачивающие средства, в том числе и бустерные насосы, что позволяет получить рабочий вакуум 110 — [c.74]

ИЗНОС В ЖИДКИХ металлах [80]. Кроме машины трения в комплект установки входит аппаратура для хранения, разогрева, очистки, подачи и слива жидкого металла, вакуумно-аргонная система и рабочая камера (рис. 1.43). [c.69]

Защитная восстановительная атмосфера являлась проточной, так как в рабочей камере установки все время поддерживалось разрежение до 1—10 мм рт. ст., что обеспечивалось непрерывной работой ротационного вакуумного насоса. [c.155]

Количество водорода, необходимого для заполнения рабочей камеры при разрежении около 1 мм рт. ст. в пересчете на атмосферное давление, весьма незначительно. Тем не менее это не исключает опасности взрыва при неправильной эксплуатации установки. В случае остановки насоса по каким-либо причинам давление, и следовательно, количество водорода в вакуумной системе будут возрастать через остановившейся насос спустя некоторое время может просачиваться атмосферный воздух, что при раскаленном нагревателе приведет к взрыву в рабочей камере. Опасность полностью исключается, если сразу же после остановки насоса пере- [c.155]

Схема установки для проведения радиочастотным методом коррозионных исследований на металлах, покрытых адсорбционными пленками электролитов, представлена на рис. 1. Установка состоит из следующих элементов 1) вакуумной части, позволяющей создавать в рабочей камере исходное давление порядка 10 — 10 тор и осуществлять нанесение испарением в вакууме тонких пленок металлов на кристалл кварца 2) электронной части, предназначенной для возбуждения колебаний кварцевого кристалла и измерения снижения резонансной частоты при изменении его массы 3) дозаторов для создания в рабочей камере нужной коррозионно-активной среды. [c.159]

Отмечена также тенденция снижения общей толщины вакуумно-плазменных покрытий, образующихся при перемещениях инструмента в рабочей камере установки, с целью получения равно- [c.45]

Рабочая вакуумная камера (рис. 1) состоит из стола, на котором крепятся шток с держателем образца, токоподводы, тепловые экраны, и свободно снимающегося колпака. В куполе колпака имеется щель для рентгеновского пучка, закрытая алюминиевой фольгой толщиной 0,1—0,15 мм. Такая конструкция камеры обеспечивает свободный доступ к образцу и простоту юстировки установки. В камере имеется окно, позволяющее визуально контролировать состояние поверхности образца. Вакуум (ос- [c.113]

Электронно-лучевая обработка применяется для вырезания микродиодов, изготовления тонких пленок и сеток из медной фольги и т. д. Такой обработкой можно получать очень малые отверстия и узкие прорезы до 0,01 мм. На рис. 282 изображена схема установки для электронно-лучевой обработки. Она состоит из электронной пушки, в которой образуется мощный электронный луч, вакуумной или рабочей камеры (вместе с устройствами для точной установки и перемещения заготовки), вакуумных насосов, контрольной схемы, управляющей электронным лучом и его траекторией, высоковольтного источника энергии, приборов для контроля и наблюдения за ходом процесса. Для уменьшения энергии, рассеиваемой в материале детали, применяют импульсный режим работы. [c.350]

В отличие от рассмотренных технологий упрочняющей обработки реализация технологий третьего типа требует не менее двух ускорителей - ускорителя слаботочных ионных пучков и ускорителя сильно-точных ионных пучков. На настоящий момент технологический процесс комбинированной обработки, основанный на воздействии слаботочных и сильноточных ионных пучков, осуществляется на специальном технологическом участке. Основным недостатком такого процесса является разрыв технологического цикла из-за необходимости последовательного размещения образцов в вакуумных камерах ускорителей. Это приводит к потере производительности вследствие разгерметизации рабочей камеры и необходимости дополнительной откачки в вакуумной системе. Кроме того, отсутствие единого вакуумного цикла в процессе ионнолучевого воздействия влияет на качество обрабатываемых поверхностей. Устранение указанных недостатков возможно путем создания гибридной установки. [c.266]

Испытания проводились на установке ИМАШ 9-66 с усовершенствованной системой вакуумной коммутации. В новой схеме (см. рис. 7.9) введены вакуумные сильфонные вентили б, 13, 16, 17 и игольчатые натекатели 10 и 15. К рабочей камере 1 через вакуумный клапан 13 подключен баллон-дозатор 14, емкость которого регулируется в пределах 0,5—1,0 см . Вентиль 6 позволяет отсекать диффузионный насос от камеры в момент травления образца. [c.182]

Если при длительной эксплуатации установки необходимо часто открывать крышку рабочей камеры для смены образца, то целесообразно применение иерекрьшных затворов, которые создают вакуумное герметичное уплотнение полости высоковакуумного насоса. [c.57]

Вакуумная система. Вакуумная система установки состоит из рабочей камеры, ротационного насоса типа ВН-2МГ, термоэлектрической ловушки ТВЛ-100 и диффузионного яасоса ЦВЛ-100. Предельное разрежение в рабочей камере составляет 1 X 10 мм рт. ст. Вакуумная камера подвешивается на колоннах машины с помощью кронштейнов. [c.156]

Вакуумно-компрессионная система установки. Откачка воздуха и газов из камеры осуществляется пароструйным масляным насососом 5 типа ЦВЛ-100, снабженным нагревателем 6. Насос 5 соединен через вакуумный вентиль 7 с масляным ротационным насосом 8 типа ВН-461М. Для предотвращения попадания паров масла из насоса 5 в рабочую камеру предназначена термоэлектрическая вакуумная ловушка 9 типа ТВЛ-100. [c.161]

Созданная экспериментальная установка состоит из следующих основных элементов (рис. 1) вакуумной рабочей камеры / форвакуум-ного и паромасляного насосов 18 и 25 электродвигателя постоянного тока 7 приборов для измерения давления термопарного вакуумметра 19, ртутных U-образных 23 и компрессионного манометров 24] ловушек для жидкого азота и хлористого кальция 21 приборов измерения температур при помощи медно-константановых термопар и спиртовых термометров ПМС-48 12, зеркальный гальванометр 17, ноль-гальванометр 15, нормальный элемент 13, переключатель с посеребренными контактами [c.218]

Основные части установки вакуумная система, включающая рабочую камеру средства откачки испарительные или распылительные устройства - генераторы потока напыляемых частиц система электропитания системы питания рабочим газом, водяного охлаждения и подофева транспортирующее устройство система контроля и управления. Технический уровень установки определяет качество покрытий, производительность процесса, коэффициент использования энергии и др. [c.375]

Система для удаления воздуха непосредственно из пресс-формы. Такую систему выполняют в двух вариантах о остановкой прессующего поршня (разработана фирмой Biihler) и без остановки прессующего поршня (система, предложенная Р. М. Калишем, и система, разработанная фирмой Idra). При такой схеме вакуумирования рабочей полости отсутствует специальный кожух, закрывающий пресс-форму и камеру прессования, что упрощает конструкцию вакуумной установки. Воздух отсасывается из полости формы по просверленным в ней каналам. [c.111]

Процесс сварки в этой установке состоит в следующем магазин с изделиями укладывается на лоток 1, откуда они поступают в переходную камеру 2. После загрузки изделий камера герметизируется. В первой вакуумной камере 2 форвакуумным насосом создается вакуум 1 10" —1 мм рт. ст. (13,3—1,3 н м ). После вакуумирования первой камеры открывается заслонка во вторую камеру 3. В этой камере до загрузки в нее изделий создается вакуум 1-10" жж рт. ст. (133-10 н м ) спомощью форвакуумного и бустерного насосов. При открытии заслонки и передаче изделий в смежных камерах устанавливается вакуум средней величины. После герметизации второй камеры 3 быстро может быть достигнут необходимый вакуум. После получения вакуума 1 10 мм рт. ст. (133-10" н/м ) в камере 3 открывается заслонка в сварочную рабочую камеру 4, в которой создан вакуум Ы0 мм рт. ст. (133-10 н/м ). При этом в рабочую камеру поступает партия изделий, уложенных в специальную кассету, после чего камера герметизируется и производится откачка до вакуума ЛО мм рт. ст. (133-10" н/л ). В рабочей камере изделия свариваются поочередно с применением электронной пушки 5. В тех случаях, когда на изделии необходимо сваривать два шва, напри- [c.73]

Схема установки с многолучевым интерферометром для аз зо-Линамических экспериментов показана на рис. 80 1б2]. Аэродинамическая установка низкой плотности состоит из форкамеры 6, в которую подается воздух из атмосферы, сопла ]4, расположенного в рабочей камере, и вакуумной емкости 15, соединенной с насосами. В рабочей камере устанавливается на специальном суппорте модель, обтекание которой исследуется. Зеркала интерферометра 12 устанавливаются таким образом, чтобы поток газа про-. ходил между ними, а в поле зрения прибора были видны срез сопла и модель 13. Расстояние между зеркалами выбирается на основании многих факторов (см. гл. IV и V). В качестве минималь- [c.155]

Конструкции шлюзовых устройств периодического действия весьма разнообразны. Необходимость исключения из конструкции по-точно-вакуумной системы часто срабатывающих и недостаточно надежных вакуумных затворов привела к созданию установок, в которых в качестве затворов используются свариваемые изделия или "спутники", в которых находятся изделия. В установках такого типа загрузка и выгрузка производятся проталкиванием или протягиванием изделий через уплотнения. При этом наружная поверхность изделий или "спутников" плотно прилегает к внутренней поверхности кольцевых уплотнителей. В месте контакта изделия или "спутника" с уплотнителем достигается герметичность. Кольцевые уплотнители и соответствующее количество свариваемых изделий образуют в устройствах загрузки и выгрузки своеобразные шлюзовые камеры между двумя соседними изделиями. Откачка из этих камер по мере продвижения изделия в рабочую камеру осуществляется отдельными насосами. Подобные установки (типа У579) созданы для сварки кольцевых швов на корпусах реле, для сварки малогабаритных изделий радиоэлектроники. [c.358]

Остаточное давление в рабочей камере измеряется манометрическими лампами термопарной лампой 10 типа ЛТ-2 (для определения остаточного давления до 10мм рт, ст.) и ионизационной лампой И типаЛМ-2 (при разрежении 10 —10 мм рт.ст.). Лампы 10 и 11 соединены с вакуумметром 12 типа ВИТ-1А-П. Вакуумная система установки обеспечивает разрежение в рабочей камере 1 10 —5-10" мм рт. ст. [c.18]

В крышке камеры имеется смотровое плоско-параллельное стекло диаметром 50 и толщиной 1,5 мм. Для фотографирования микроструктуры используется микрофотопасадка (типа МФН-8 для съемки на фотопластинки размером 9x12 см или МФН-12 для съемки на фотопленку шириной 35 мм). Оптическая система микроскопа разделена на две части. Вне рабочей камеры установки находятся тубус, осветительная система и окуляр, жестко соединенные с вертикальным валом 34, проходящим через систему подвижного вакуумного уплотнения. На нижнем конце этого вала внутри рабочей камеры укреплен стальной сектор 35, на котором смонтированы соосный с тубусом объектив 36, а также механизм подвески алмазного индентора. [c.20]

Внешний вид установки ИМАШ-ЮМ показан на рис. 1. Блоки с управляющей аппаратурой высотой 1800 мм занимают площадь 2000x800 мм , а для расположения вакуумной камеры нужна площадь около 1 Непосредственно на подъемной и поворотной крышке рабочей камеры расположен микроскоп типа МВТ, в систему освещения которого введена импульсная электрическая лампа—строботрон типа ИСШ-15. [c.33]

Однако для исследования спекаемости частиц лучше всего судить по зарастанию межчастичных пор и специально нанесенных рисок. В этом случае целесообразно предотвратить развитие процесса термического травления, что достигается применением вместо вакуума защитных атмосфер. С этой целью в рабочей камере установки ИМАШ-1 вместо манометрической лампы ЛМ-2 герметизировали патрубок специального игольчатого натекателя, через который в вакуумную систему вводили чистый водород либо азото-водородную смесь диссоциирован-154 [c.154]

При нанесении покрытий TiN, (Ti — r)N вакуумно-плазменным методом на МТИ контролировали температуры процессов ионной бомбардировки и конденсации покрытия. Для снижения вероятности образования хрупкой т)-фазы температуру поддерживали в пределах 500—600°С. Контроль микрошлифов образцов ВКб с покрытиями TiN и (Ti — r)N с использованием микроанализатора Камека показал полное отсутствие зон диффузионного переноса из твердого сплава в покрытие (контролировали перенос элементов кобальта, вольфрама, титана и азота). С учетом сильного влияния давления в рабочей камере вакуумно-плазменной установки на свойства покрытий оптимизировали величину давления до уровня, при котором снижалась хрупкость покрытий TiN, (Ti — r)N. Большая пластичность вакуумно-плазменных покрытий за счет мелкозернистого столбчатого строения, отсутствие переходной т]-фазы позволили увеличить их толщину до 6— 8 мкм. [c.156]

В качестве откачивающего средства для создания высокого вакуума в рабочей камере установки был выбран высоковакуумный агрегат типа BA-2-ЗПр конструкции Казанского меха-яического завода (предельный вакуум агрегата 5-мм рт. ст., быстрота откачки 500 л/с). Известно, что такие агрегаты не обеспечивают стерильность вакуума ввиду проскока в рабочую камеру молекул самого диффузионного масла и продуктов его деструкции на горячих стенках насоса, однако широкое распространение в инженерной практике высоковакуумных агрегатов этого типа настоятельно требует проведения исследования трения и износа в среде, создаваемой именно этими агрегатами. Форвакуумный насос установлен на виброопорах на отдельном мощном фундаменте, что предохраняет высоковакуумный агрегат, рабочую камеру и встроенную в нее машину трения от вибраций, вызванных работой механического насоса. С этой же целью применен сильфонный виброгаситель, который установлен между форвакуумным насосом и высоковакуум-ным агрегатом. Последовательно с виброгасителем расположен электромагнитный клапан, перекрывающий доступ в рабочую камеру паров масла из форвакуумного насоса в случае его аварийной остановки. Вакуумная установка позволяет получить давление в рабочей камере ниже 10 мм. рт. ст. [c.20]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...