Измерение высоких температур оптическим методом

Законы теплового излучения довольно широко используются на практике. Остановимся только на двух очень важных практических вопросах, где эти законы играют первостепенную роль. К ним относятся оптические методы измерения высоких температур (оптическая пирометрия), а также разработка и создание источников света. [c.146]

Методы измерения высоких температур на основе законов теплового излучения (зависимость спектральной и интегральной излучательной способностей от температуры тел) называются оптической пирометрией. Приборы, используемые для этой цели, называются пирометрами излучения. [c.333]

Приведенные соотношения, связывающие Т с Град, Гц и Гя, лежат в основе оптических методов измерения высоких температур [Л. 11,74]. [c.377]

Методы оптической пирометрии обладают суш ественными преимуществами по сравнению с методами, основанными на применении термоприемников погружения. Измерение температуры методами оптической пирометрии осуществляется бесконтактным способом, и, следовательно, сам процесс измерения не искажает температурное поле объекта измерения. Кроме того, методы оптической пирометрии теоретически не имеют верхнего температурного предела своего применения. Температура 10000° источника излучения со сплошным спектром измеряется теми же методами, что и температура в 2000°. Разница может быть только в технике измерений. Наконец, методы оптической пирометрии открывают широкие возможности измерения высоких температур газовых потоков яри больших скоростях, что встречает значительные трудности при использовании термо-приемников. [c.273]

При измерении высоких температур, лежащих выше МШТ, единственно надежным является оптический метод, хорошо раз- [c.8]

Если температура вещества возрастает до нескольких тысяч градусов и выще, то ее измерение возможно только оптическими методами. Термометр из любого материала, помещенный в столь горячее вещество, подвергается разрушению или дает неправильные показания. Последнее будет иметь место в том случае, если теплоемкостью термометра нельзя пренебречь, а область высоких температур ограничена и в пространстве и во времени. Подобные трудности не возникают, если для измерения температуры используют явления испускания или поглощения света нагретым телом. В этом случае наблюдение излучений возможно на больших расстояниях от источника, что важно, например, при исследованиях взрыва, особенно атомного. Очевидно, что для астрофизических измерений пригодны только оптические методы. [c.291]

Однако термодинамическую шкалу нельзя реализовать как таковую. Другими словами, невозможно с достаточной степенью точности измерять температуру, пользуясь методом, который строго соответствовал бы определению этой величины по термодинамической шкале Кельвина. Следовательно, необходимо прибегать к иным методам измерения, а именно к применению газового термометра или— для высоких температур—оптического пирометра. [c.87]

Электрические термометры сопротивления работают на принципе изменения сопротивления металлических проводников при изменении температуры. Мерой температуры является величина изменения сопротивления, измеренная мостиком Уитстона. Измеритель может быть выполнен в виде стрелочного прибора или самопишущим. Для измерения высокой температуры, особенно температуры сгорания, применяют оптические методы. В монохроматических пирометрах яркость свечения наблюдаемого пламени сравнивается со свечением калиброванного тела на некоторой определенной волне, выделяемой светофильтром. Пирометры для полного излучения более просты в обращении и дают непосредственные показания и запись средней температуры. [c.246]

Измерение температуры. Для измерения высоких температур чаще всего применяют оптические методы. Литература по методам оптической пирометрии огромна. Рекомендуем, в частности, сборник переводов [15] см. также обзор [16]. [c.211]

Большие расхождения в полученных значениях температуры плавления, вероятно, обусловливаются различным составом исследованных продуктов и, кроме того, ошибками измерения высоких температур. Эти измерения, как правило, выполнялись при помощи оптических пирометров. При этом совершенно не учитывалось интенсивное испарение продукта при высоких температурах, что не могло не отразиться на точности измерения. Это явление было учтено в одной из последних работ по определению температуры плавления UOg [177]. Схема сборки, использованной в этой работе, показана на рис. 1.26. Нагрев сборки осуществляли индукционным методом в вакууме 10 —10 мм рт. ст. Температуру измеряли термопарой W— 5% Re/W — 26% Re и оптическим пирометром. Для измерения использовали таблетку UOg плотностью 10,42 г см . Соотношение 0/U в продукте равнялось 2,002, а общее содержание примесей не превышало 0,035%. Температуру плавления определяли по горизонтальным площадкам на кривых охлаждения сборки. Она оказалась равной 2805 15° С. Это значение следует считать наиболее достоверным. [c.52]

Все методы, применяемые в оптической пирометрии, являются косвенными, поэтому надежность результатов, получаемых с их помощью, зависит прежде всего от степени применимости к исследуемому объекту закона, связывающего температуру с измеряемой величиной. Методы оптической пирометрии не требуют непосредственного контакта измерительной аппаратуры с исследуемым телом. Благодаря этому они позволяют, во-первых, без ущерба для приборов измерять очень высокие температуры, во-вторых, проводить измерения температур удаленных Тел И, В-ТретьиХ, ИХ Применение не вызывает искажения состояний исследуемого объекта, к чему часто приводит термометрическое тело, применяемое в иных методах. [c.146]

Трудности, с которыми связано использование термопар при высоких температурах, уже были описаны. Выше 1500° наиболее точный метод измерения температуры основан на измерении энергии излучения раскаленного тела. В интервале 1200— 1500° относительные преимущества применения термопар ли оптических пирометров будут зависеть от изучаемой системы. При использовании оптических методов желательно, чтобы температурный интервал применения термопар перекрывался по крайней мере на 100°, что давало бы возможность сопоставить данные обоих методов. [c.112]

При точном измерении действительных температур раскаленных объектов методами яркостной пирометрии вводимая в показания оптического пирометра поправка не отличается высокой достоверностью. Поэтому в случае промышленных измерений температуры объектов с относительной погрешностью менее 0,1 необходимо знать коэффициенты излучательной способности объектов. [c.324]

Представления о свойствах идеального метода термометрии, предназначенного для измерений в сложных экспериментальных условиях микротехнологии, можно сформулировать следующим образом а) отсутствует необходимость в тепловом равновесии чувствительного элемента (датчика) с объектом, т. е. не нужен тепловой контакт датчика с поверхностью б) отсутствует гальваническая связь датчика с регистрирующим прибором, что устраняет электромагнитные помехи при измерениях в) результат измерения не зависит от наличия или отсутствия фонового излучения любой интенсивности в реакторе и от состояния оптических окон г) температурная чувствительность не ниже, чем у традиционных методов д) величина измеряемого сигнала достаточна для надежной регистрации и не изменяется существенно в широком диапазоне температур е) высокое быстродействие позволяет проводить измерения нестационарных температур поверхности в импульсных разрядах ж) возможны как локальные измерения, так и термография поверхностей з) возможна термометрия любых материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) независимо от состояния поверхности (шероховатость, тонкие пленки и т.д.) и) возможно применение как для единичных, так и для рутинных измерений к) метод может применяться для термометрии как неподвижных, так и движущихся объектов в плазме. [c.16]

Еще раз следует заметить, что при очень высоких температурах, когда показания термопар становятся нестабильными и материал их конструкции работает в более тяжелых условиях, все возрастающее и важное значение при измерениях температуры приобретают оптические методы. [c.22]

В области умеренно высоких температур выше точки затвердевания золота (— 10 ° К) для установления температурной шкалы возможно применение газового термометра (см. гл. 4). Для измерения более высоких температур, начиная от нескольких тысяч градусов и выше, практически пригодны только оптические методы, опирающиеся на ту или иную теоретическую зависимость между выбранным параметром, непосредственно измеряемым на опыте, и температурой (формула излучения Планка, закон Вина, закон Стефана — Больцмана, эффект Допплера и т. д.). В зависимости от избранного метода при этом измеряют различные температуры— эффективную , цветовую , яркостную и т. д. [c.7]

После рассмотрения некоторых трудностей, связанных с применением оптических методов, небезынтересно выяснить существование других, неоптических, методов для определения высоких температур. В частности, степень ионизации газа, являющаяся отчетливо выраженной функцией температуры, может быть в принципе использована для ее измерения. К сожалению, однако, ионизационное равновесие зависит также от ряда других параметров. [c.300]

Сплавы выплавляли в дуговой печи и отжигали при 1500° в течение 3 часов. При построении диаграммы состояния не учитывали полиморфизма иттрия и карбида Y j, Богатый углеродом участок диаграммы состояния системы Y — С был исследован методами термического, рентгеновского и нейтронографического анализов и измерением микротвердости в работе [14]. Исследования последними двумя методами проводили также при высоких температурах. В изученной области составов было установлено существование только одного карбида Y 2, образующего эвтектику с углеродом при 2275 25°. В области богатых иттрием сплавов диаграмма состояния системы Y — С была вновь исследована в работе [18] методами дифференциального термического, микроструктурного и рентгеновского анализов. Кривую солидус определяли оптическим пирометром по появлению жидкой капли. Сплавы выплавляли в дуговой печи в атмосфере очищенного аргона из иттрия. чистотой 99,9% и графита высокой чистоты. Диаграмма состояния системы Y—С, построенная по результатам этих исследований, приведена на рис. 498 и 499. Как следует и диаграммы, углерод заметно растворим в обеих модификациях иттрия и повышает температуры его плавления и полиморфного превращения. Фазы ( -Y) и (a-Y)—твердые растворы на основе соответствующих модификаций иттрия образуются по перитектической реакции прн 1560° и перитектоидной реакции при 1520° соответственно. Максимальная растворимость углерода в a-Y отвечает 1520° и составляет 9 ат.%. С понижением температуры растворимость уменьшается до 2,5 ат.% при 900°. Промежуточные фазы системы у (твердый раствор на основе соединения Y2 ) и а-УСг плавятся конгруэнтно при 2000 и 2415° соответственно и при [c.783]

Оптические (в частности, фотографические) методы широко применяют и при изучении ударных волн. Газ, нагретый в сильной ударной волне до высокой температуры, излучает, и поверхность фронта волны светится. Яркость свечения зависит от амплитуды ударной волны и размеров нагретой области за фронтом. Чтобы по измеренной на опыте эффективной или, что то же самое, яркостной температуре можно было судить [c.464]

Оптические измерения имеют большое значение для определения температуры высоко нагретых тел и вообще для исследования высокотемпературных процессов. Обычная методика состоит в измерении тем или иным способом яркости поверхности светящегося тела (фотографическим путем, с помощью фотоэлементов, электронно-оптических умножителей). Затем по яркости находят эффективную температуру излучения, которая, по определению, совпадает с температурой абсолютно черного излучателя, посылающего с поверхности точно такой же световой поток, как и исследуемый объект (см. 8 гл. II). Особенно распространены фотографические методы определения яркости и эффективной температуры, основанные на сравнении степеней почернения, которые производят на фотопленке свет, исходящий от тела, и свет от эталонного источника с известными температурой и спектром, скажем, от Солнца. Для большей точности фотографируют обычно в узком спектральном участке, так как изучаемый объект и эталонный источник, обладая разными температурами, посылают различные спектры излучения, а кроме того, от длины волны света зависит чувствительность фотоматериалов, что создает трудности при пересчете степени почернения на температуру. [c.464]

Основное физическое допущение теории Орнштейна — Цернике состоит в том, что параметр определяется локальным структурным порядком в среде, и близость критической точки не влияет на него сколько-нибудь существенно. Однако вблизи этой точки величина 5 (0) может быстро изменяться с температурой и оказаться очень большой. Иначе говоря, высокая сжимаемость среды сопровождается длинноволновыми критическими флуктуациями плотности. Критическая опалесценция, наблюдаемая в оптическом диапазоне, весьма чувствительна, например, к величине показателя степени в температурной зависимости параметра дальнего порядка, что и позволяет использовать ее для его измерения (ср. [1.22]). Этим методом можно также изучать масштаб упорядоченности в жидких кристаллах выше критической точки 6]. Однако из формулы (4.28) следует, что беспорядок на расстояниях, больших лучше рассматривать как макроскопическую неоднородность, возникающую в большом образце, у которого связь локальной структуры с локальной плотностью определяется обычными термодинамическими соотношениями. [c.161]

В технике для измерения температур используют различные свойства тел расширение тел от нагревания в жидкостных термометрах изменение объема при постоянном давлении или изменение давления при постоянном объеме в газовых термометрах изменение электрического сопротивления проводника при нагревании в термометрах сопротивления изменение электродвижущей силы в цени термопары при нагревании или охлаждении ее спая. При измерении высоких температур оптическими пирометрами используются законы излучения твердых тел и методы сравнения раскаленной гшти с исследуемым материалом. [c.15]

Основы методики измерения высоких температур и лучистых потоков достаточно полно и подробно изложены в известных монографиях В. С. Преображенского [Л. 55], Б. С. Петухова [Л. 50], Г. Рибо [Л. 56] и др. Поэтому, не вдаваясь в рассмотрение всей проблемы в целом, остановимся лишь на некоторых принципиально важных методических вопросах, связанных с оптическими методами измерения температуры и лучистых потоков, с которыми обычно приходится сталкиваться при проведении различного рода исследований. [c.259]

Измерение высоких температур газовым термометром и внесение поправок по фиксированным точкам на шкале идеального газа становятся очень затруднительными. Выше 1063° Международная температурная шкала определена по формуле излучения Планка (глава 8) постоянная Сг в формуле имеет значение 1,438 см-град. Метод, с помощью которого получена температурная шкала в этой области, будет описан ниже, после рассмотрения законов излучения и их применения в оптической пирометрии. Однако ib большинстве опубликованных рабог дается температура по Международной шкале 1927 г. В ней температуры выше 1063° определены по формуле излучения Вина (удовлетворительное приближение к формуле Пл1анка установлено экспериментально в широком интервале температур) однако в этом случае постоянная Сг имеет значение 1,432 см- град. Значение Сг было выбрано для воспроизведения газовой шкалы с возможно большей точностью последние работы показали значительную ошибку ее определения, и в 1941 г. Бирж [49] установил наиболее вероятное значение 1,43848 см-град. Бирден и Вате [50] указали наиболее вероятное значение 1,43870 см-град. Таким образом, все международные температурные шкалы выше 1063°, применявшиеся до 1949 г., несколько отличаются от истинной газовой температурной шкалы. Фиксированные точки для температур от 1063° и выше приведены в таб1л. 6. [c.94]

Наиболее огнеупорная, а также наименее химически активная окись — окись тория. Она пригодна для применения в тиглях, предназначенных для сплавов с очень высокой температурой плавления. Тигли, набитые окисью тория, могут быть применены до 2700°. Окись магния, окись бериллия и окись циркония тоже представляют собой материалы с высокими огнеупорными свойствами, но они более химически активны и поэтому менее пригодны, чем окись тория. Окись алюминия имеет максимальную температуру службы до 1900—1950°, что является пределом, до которого можно применять оптический пирометр с исчезающей нитью, смотровой трубой из корундиза и экраном как источником излучения абсолютно черного тела. Современное производство прямых непористых смотровых труб из окиси тория значительно расширяет область применения этого метода. При более высоких температурах возможно измерение лучеиспускания непосредственно поверхности металла только оптическим пирометром или фотоэлектрическим элементом. В этом случае поверхность металла не удовлетворяет условиям излучения абсолютно черного тела, и поэтому такой метод можно применять только в том случае, если известны данные об эмиссионной способности металла и если для градуировки имеются в распоряжении металшы с известной точкой плавления и эмиссионной способностью, близкой к исследуемому сплаву. Однако точность такого метода не очень высока. Подробности мы рассматриваем ниже при описании метода Мюллера. Вольфрам-ирридиевые, вольфрам-мо-либденовые и различные другие термопары могут быть применены для измерения высоких температур однако эти термопары нельзя считать удовлетворительными ввиду трудности получения повторимых результатов (см. ниже). [c.179]

Одним из важных и перспективных направлений применения методов эллипсометрии является разработка новых технологических процессов в полупроводниковом и оптическом приборостроении. Высокая чувствительность поляризационно-оптических методов, а также возможность проведения измерений в защитных средах делают эллипсометрию совершенным средством исследования кинетики кристаллизации пленок на различных подложках. Особый интерес для технологии полупроводников эллипсометрия представляет в связи с возможностью исследования процесса эпитаксиального выращивания. Методы эллипсометрии позволяют проводить исследования влияния различных факторов (температуры подложки, качества ее механической обработки и химической чистоты и т. д.) на характер роста пленки, а также на ее толщину и значение показателя преломления. В работах [15, 166] приведены результаты измерения толщины эпитаксиальных слоев с помощью эллипсометров на основе СО 2-лазера и лазера на парах воды. При этом погрешность измерения составляла соответственно 0,01 и 0,1 мкм. [c.208]

Для определения линии солидус при очень высоких температурах больше всего пригоден метод Пирани и Альтертур-на (107]. Он заключается в непосредственном измерении оптическим пирометром интенсивности излучения абсолютно черного тела в центре прямоугольной металлической полосы, нагретой током. Когда через такую полосу с отверстием, высверленным перпендикулярно ее длине, пропускают ток, наибольший разогрев получается у самого отверстия, где сечение полосы минимально. Температура плавления может быть легко установлена при наблюдении оптическим пирометром середины отверстия. При повышении температуры полосы оно будет казаться ярче окружающей поверхности, которая еряет тепло через радиацию. При достижении температуры плавл1ения внутри отверстия образуется капля металла, и оно будет казаться темным, так как лучеиспускание расплавленного металла значительно меньше, чем твердого. Таким образом, при температуре пл авления внутри отверстия наблюдается темное пятно или все отверстие темнеет. Это зависит от скорости иа-грева. [c.203]

Для измерения длин трещин при высоких температурах в основном используются [111—115] оптические и ультразвуковые методы, метод электропотенциалов и электросопротивления. Для [c.219]

Если трещина неподвижа, то она может лишь нарушить теплообмеп между разделенными ею частями тела. Но движущаяся трещина является мощным источником тепла. В самом деле, за единицу времени в ее вершину стекает поток энергии G I, который за вычетом обратимой поверхпостпой эиергпи 2 у/ затрачивается на пластические деформации и разрушение материала в малой зоне около вершины трещины. Теплообмен с окружающим материалом происходит медленно, ц поэтому концевая зона разогревается до весьма высоких температур. Картины изотерм у вершины трещины нормального разрыва, движущейся в стали со скоростью 1 м/с и 100 м/с (рис. 110, а и б), получены расчетным путем. Они говорят о крайне высоком разогреве в чрезвычайно малой зоне у вершины трещины (температура вдали от нее О °С). РГзмерения с помощью термопар показывают повышение температуры на 1 °С па расстоянии примерно в 1 мм и уже на 130 °С на расстоянии 30 мкм от вершины трещины, бегущей в стали со скоростью 10 м/с. Ближе к вершине трещины измерения этим методом произвести не удается. Оптические же методы свидетельствуют о разогреве на 230 °С в оргстекле (ПММА), на 1900° в стекле и па 4400° в кварце, разумеется, иа микроскопических расстояниях от вершины летящей трещины. Этот факт и является объяснением того, что столь сильный разогрев сам по себе не способен существенно оплавить окружающий вершину трещины материал п затормозить ее. [c.178]

Для светящихся иламен с высоким коэффициентом черноты излучения применяется простой в аппаратурной реализации метод измерения яркостной температуры пламени. Во многих случаях используется обычный оптический пирометр с исчезающей нитью. Отождествление измеренной яркостной температуры пламени с его действительной температурой возможно только для пламени с настолько большой концентрацией взвешенных частиц, что коэффициент черноты его излучения практически равен 1. Поэтому измерение яркостной [c.422]

В отличие от других металлов (например, от цинка) у железа катодные зоны в местном гальваническом элементе чаще обусловлены пленками окисЛов, образующихся на основном металле, или кислородом, чем посторонними включениями. Эти пленки невидимы, однако они доступны измерению с помощью оптических или электрохимических методов [209, 210]. Пленки, образовавшиеся при высоких температурах, окрашены. В зависимости от условий толщина пленок колеблется в интервале 10—200 А. Окисные пленки можно катодно восстанавливать и определять их толщину, измеряя расход тока. Определение толщины окисных пленок на железных поверхноетях,выполняется легко, так как единственным токообразующим проц.ессом в этом случае является восстановлен кие окислов. Толщину слоя можно найти по количеству элек- [c.72]

Измерение температур несветящегося пламени можно производить в инфракрасном свете, напри мер в длинах волн 2,7 к 4,4 (г (полосы НгО и СОг). Этот метод измерения, промежуточный между методом обращения и методом лучеиспускания и поглощения, является универсальным вследствие наличия у любого углеводородного пламени указанных полос высокой интенсивности. Неудобство метода — иеобходимость применения оптических деталей из флюорита или сильвина, а также невозможность визуального фотометрирования. Кроме того, большие затруднения вносит сильное поглощение указанных инфракрасных лучей в атмосферном воздухе вследствие наличия в нем углекислого газа и паров воды. Точность измерения температур пламени в инфракрасной области обычно значительно ниже, чем в видимой области. [c.371]

Среди наиболее перспективных методов измерения температур горячих газов можно назвать методы, использующие энергию излучения. Эти методы имеют много потенциальных преимуществ, так как они дают среднюю температуру, не вносят возмущений в газовый поток и становятся более чувствительными при высоких температурах. Однако существуют также и некоторые трудности. Часто бывает необходимо поддерживать строгое постоянство оптического пути. Это может оказаться очень серьезной проблемой, например, при быстроизменяю-щихся высоких температурах или при наличии больших вибраций. Поскольку оптические методы дают среднее значение для температуры газа вдоль всего оптического пути, количественная оценка градиентов температуры в общем случае невозможна. Таким образом, использовать измеренные значения для расчета других термодинамических переменных или к. п. д. машин и их мощности очень трудно. [c.340]

Несмотря на большое значение, которое имеет термометрия, литература, посвященная ей, не отличается обширностью и можно назвать лишь несколько книг, в кото >1х дается более или менее систематическое изложение вопросов построения шкалы и измерения температуры. На русском языке можно назвать, пожалуй, только книгу проф. М. М. Попова Термометрия и калориметрия , вышедшую в свет в мае 1934 г. и ставшую уже почти библиографической редкостью ). Говоря о специальных методах измерений, например об измерениях при высоких температурах, можно было бы назвать несколько книг, из которых, быть может, только Оптическая пирометрия Рибо, переведенная в 1934 г. и давно распроданная, является монографией, освещающей не только практическую, но и принципиальную сторону дела. Упомянутая выше книга Методы измерения температур в промышленности содержит лишь крат- [c.4]

Говоря о дальнейших путях развития метода ЭПР в ионных кристаллах, следует подчеркнуть необходимость комплексных исследований, важность сочетания измерений ЭПР с оптическими исследованиями, с изучением эффекта ЯМР и с другими методами. Несомненно внимание многих исследователей привлекут спектры ЭПР всевозможпых пар. Большие перспективы открывает использование сильных магнитных полей, переход к сверхнизким температурам, воздействие на кристаллы высокими давлениями, внешними электрическими полями. [c.81]

Оптический метод оказался удобным также для измерений скорости звука в жидкостях при высоких температурах и даже в расплавах. На фиг. 283 изображена применявшаяся Шаафсом [1815] установка. Исследуемое вещество расплавляется в железном сосуде Т. Теплоемкость [c.229]

В других областях, где отсутствовали возможности применить термопары и радиационные пирометры, разработка и применение лазерных методов проводилась давно. При исследованиях горячей плазмы активные бесконтактные методы измерения температуры также начали применяться на 20-25 лет раньше [1.10], поскольку в этой области не было никакой возможности адаптировать традиционные методы из-за высокой тепловой нагрузки на термозонд, влияния распыляемого зонда на параметры плазмы, а также малой оптической толщины плазмы (при этом спектр излучения существенно отличается от равновесного). Десятки лет проводится термометрия газовых и плазменных потоков с высоким временным разрешением (нано- и микросекундный диапазоны) методами лазерной интерферометрии, спектроскопии когерентного антистоксова рассеяния света (КАРС), лазерно-индуцированной флуоресценции, поскольку традиционные методы не обеспечивают такого быстродействия, какое достигается с помощью импульсных лазеров [c.10]

В настояш,ее время быстро развивается группа методов термометрии, основанных на измерении температуры твердого тела с помо-ш,ью внешнего зондируюш,его излучения. В этих методах не требуется установление теплового контакта, а наличие оптического контакта светового пучка с поверхностью в буквальном смысле очевидно. Кроме того, отсутствует гальваническая связь и сопряженные с нею помехи при измерениях в плазме и т. д. С помош,ью таких методов появилась возможность проводить десятки или сотни измерений в день, в каждом измерении используя новый образец (что было недоступно при использовании термопар, каждую из которых необходимо прикреплять к образцу). Температурная чувствительность большинства из созданных методов оказалась сравнимой с чувствительностью традиционных методов, а некоторые новые методы имеют чувствительность, на один-два порядка более высокую, чем термопара или терморезистор. Таким [c.15]

В микротехнологии существовала потребность в температурных измерениях и новых методах, поскольку для управления температурным режимом технологических операций необходимо с высокой точностью и скоростью измерять температуру подложек (полупроводниковых и диэлектрических монокристаллов, стекол и т.д.). С помощью традиционных методов за 30 лет работы не удалось обеспечить ни непрерывного температурного мониторинга in situ, ни управления температурой. Невозможно было даже проводить систематические исследования температурных режимов поверхности вследствие низкой надежности результатов и высокой трудоемкости их получения. Такая же картина наблюдалась в области эпитаксиального роста пленок, ионной имплантации полупроводников, быстрых термических процессов (где воздействие на поверхность осуществляется с помощью оптического излучения большой интенсивности). [c.195]

Материалы МИХМ-ИМАШ и ЭД6-М (или эпоксифтамал ) обеспечивают измерения на плоских и на объемных моделях по методу замораживания . Для измерения по методу рассеянного света для моделей должен применяться прозрачный материал без заметной окраски, обеспечивающий возможности просвечивания модели и наблюдения рассеянного света. Для измерений с применением рассеянного света на замороженных моделях может быть успешно применен материал МИХМ-ИМАШ , обладающий необходимой прозрачностью и оптической однородностью. Для измерений по этому методу под нагрузкой при комнатной температуре могут быть использованы модели из эпоксидной смолы при условии тщательной очистки исходных составляющих. Такие же высокие требования прозрачности материала предъявляются к моделям, исследуемым при быстро-меняющихся деформациях с применением скоростного фотографирования картин полос интерференции. [c.198]

Хотя с помощью метода обращенных линий можно получить воспроизводимое значение температуры в пределах нескольких градусов, при 2500° К точность метода оказывается невысокой, если не будут приняты надлежащие меры для получения строго заданного оптического пути [И, 12, 60], чтобы обеспечить надежность измерений. В дополнение к проблемам, связанным с оптическим путем луча и с исследуемыми раскаленными газами, существуют трудности в измерении температуры и лучеиспускательной способности источника, применяемого для сравнения. Стронг и Банди [61] распространили этот метод на измерения давления и скорости газового потока, которые измеряются так же, как и температура , но с применением спектроскопа очень высокой разрешающей силы. [c.357]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...