Механизмы диффузии в кремнии

МЕХАНИЗМЫ ДИФФУЗИИ В КРЕМНИИ [c.10]

Механизм образования карбида кремния в производственных печах изучен еще недостаточно, так ак он принадлежит к числу сложных процессов, при которых протекают различные по фи-зико-химической природе явления диффузия, адсорбция, десорбция, химические реакции, кристаллохимические превращения. [c.100]

В этих случаях коэффициент диффузии характеризуется двумя величинами — предэкспоненциальным множителем Оо и энергией активации Q. Как мы увидим далее, это уравнение соответствует механизму диффузии, контролируемому только одним типом точечных дефектов, и поэтому его следует использовать с осторожностью, так как часто присутствие в кремнии примесей и градиенты их концентраций нарушают равновесную концентрацию дефектов, превращая )о и 0 в функции концентрации примесей и параметров проведения процесса диффузии. [c.14]

Обычно предполагается, что самодиффузия в кремнии осуществляется посредством вакансионного механизма. Мы примем этот механизм для того, чтобы продемонстрировать основные принципы диффузии по точечным дефектам. Однако следует иметь в виду, что существуют указания на то, что и диффузия по междоузлиям с замещением играет значительную [c.16]

В заключение можно сказать, что хотя вакансионный механизм и описывает некоторые главные особенности диффузионных процессов в кремнии, его явно недостаточно для построения количественной теории самодиффузии. Некоторая часть рассмотренных противоречий между теорией и экспериментами может быть отнесена на счет ошибочных значений параметров или неточных предположений, однако практически можно не сомневаться, что значительная их часть обусловлена игнорированием механизма междоузельной диффузии с замещением. [c.25]

Общепринятой считается точка зрения, согласно которой примеси групп П1А (акцепторы) и VA (доноры) образуют в Si растворы замещения и поэтому диффундируют по таким же механизмам, как и атомы кремния. Атомы всех указанных примесей диффундируют в S i быстрее атомов кремния. Так как все эти примеси обладают высокой электрической активностью, то при достаточно высоких концентрациях они сдвигают положение уровня Ферми в кремнии и, следовательно, изменяют равновесную концентрацию точечных дефектов каждого из заряженных состояний. Поэтому, как следует из приведенного выше обсуждения самодиффузии в Si, наличие донорных или акцепторных атомов в Si при концентрациях, превышающих п. при температуре диффузии, должно приводить к увеличению коэффициента диффузии атомов как кремния, так и атомов примеси той же группы и к уменьшению коэффициента диффузии атомов примеси противоположного типа. При интерпретации измерений коэффициентов диффузии очень важно знать, были ли во время эксперимента проводимость кристалла кремния собственной, т. е. была ли концентрация легирующих примесей ниже п.(Т), или, наоборот, проводимость была примесной. В дальнейшем это условие будет заранее оговариваться. [c.25]

При рассмотрении проблемы моделирования технологических процессов изготовления СБИС с субмикронными размерами элементов в более общем плане уже сегодня ясно, что в программах моделирования необходимо вычислять локальные концентрации 81 и 8ip/. Растет понимание того факта, что в кремнии легирующие примеси диффундируют по двойному механизму (включающему наряду с 8i у) даже в условиях диффузии при собственной проводимости [2.63]. Неравновесные условия, такие, как окисление, нарушают баланс Si и 8ij / из-за генерации 8i и поглощения 8i . Вследствие этого изменяются коэффициенты диффузии легирующих примесей в объеме кремния. Ясно, что междоузельные атомы и вакансии будут аннигилировать друг с другом [2.38], что приведет к термически равновесному соотношению между их концентрациями. [c.73]

Диффузия в твердом кремнии. Механизм твердотельной диффузии определяет миграцию примеси внутри кремния в процессах, связанных с высокотемпературной обработкой. В любой точке у диффузионный поток примеси Fj ( ) связан с градиентом концентрации первым законом Фика. Для одномерного потока это соотношение имеет вид [c.200]

Диффузия, ускоренная окислением (ДУО). Несколькими авторами [7.23, 7.24] наблюдалось ускорение диффузии бора и фосфора при окислении кремниевой поверхности. Затем такой же эффект наблюдался и для мышьяка [7.25]. Ускорение диффузии окислением приписывалось в основном увеличению количества точечных дефектов в кремнии вследствие окисления. По-видимому наиболее приемлемая модель была предложена в [7.26], а затем развита в [7.24] и [7.27]. Эта модель связывает ДУО с ростом окислительных дефектов упаковки. Наличие как вакансий, так и междоузельных атомов вызывает двойственный механизм диффузии примесей в кремнии. Избыток междоузельных атомов кремния, как принято в модели, и приводит к ускорению диффузии. Таким образом, согласно модели, в процессе окисления коэффициент диффузии междоузельной компоненты примеси увеличивается, приводя к ДУО, в то время как усиленная междоузельная преципитация ведет к росту дефектов упаковки. [c.208]

Разгонка. Твердотельная диффузия — это механизм миграции в кристаллическом кремнии в процессе высокотемпературных обработок. При данном исходном распределении концентрации, для данного времени и при данной температуре он моделируется с помощью диффузионного уравнения [c.308]

Рассмотрим еще один пример диффузии в твердом теле, убедительно иллюстрирующий рассмотренный выше механизм. В германии и кремнии диффузия меди происходит по диссоциативному механизму, так как медь распределяется между узлами и междоузлиями, причем диффузия по междоузлиям происходит на много порядков быстрее, чем по нормальным узлам. Запишем уравнение распределения [c.114]

Достижения в исследовании влияния кремния нашли свое отражение в фирменной модификации стали 4340, названной 300 М, содержащей от 1,5 до 1,8% 51. В отношении механизма высказывались предположения, во-первых, что при наличии кремния е-карбид не может быть эффективным катодным центром для разрядки водорода [9, 17], во-вторых, что карбид повышает стойкость к растрескиванию, являясь ловушкой водорода [26], и, в-третьих, что кремний уменьшает коэффициенты диффузии вредных примесей, в частности водорода [15, 16]. Таким образом, роль кремния по существу не выяснена и может быть сложной, но положительный эффект хорошо подтверждается, особенно в случае высокопрочных сталей. Повышение стойкости сталей при введении кремния представляет резкий контраст по сравнению с отрицательным влиянием марганца, поэтому было бы целесообразно выбрать именно кремний в качестве легирующей добавки для повышения прочности и закаливаемости сталей, используемых в агрессивных средах. Однако такие добавки могут ухудшать обрабатываемость и свариваемость сталей, так что применение высоких концентраций кремния потребует тщательной разработки сплава с учетом всех свойств. [c.55]

При пайке легированных сталей медью механизм миграции ее в основной металл более сложный, так как Отдельные компоненты могут как ускорять, так и замедлять диффузию меди. Кроме того, легирующие элементы по-разному влияют и на процесс диффузии углерода. Например, кремний, алюминий, фосфор оттесняют угле-. [c.78]

Значение D, оцененное по этому соотношению для ряда твердых растворов на базе алюминия, совпадает (в пределах довольно большой ошибки эксперимента) с экспериментально определенным коэффициентом диффузии. Более детальное исследование механизма и кинетики превращения было проведено лишь для очень небольшого числа сплавов, в том числе для выделения меди из германия и серебра, углерода и азота из а-железа и кремния из алюминия. [c.293]

Отсутствие преимуществ в скорости и глубине растворения при ТЦО в сплавах с содержанием кремния ниже его предела растворимости в алюминии объясняется тем, что при первых циклах почти весь избыточный кремний растворяется и вышеописанный механизм не получает должного развития, При сравнительно невысоких скоростях нагрева и охлаждения в циклах (0,8—1,5 С/с) и небольших сечениях образцов трудно ожидать наличия сколько-нибудь значительных термических напряжений. Поэтому ответственными за ускорение диффузии, очевидно, следует считать структурные напряжения. [c.77]

Ряд процессов, применяемых для изготовления приборов, приводит к нарушению равновесной концентрации точечных дефектов в кремнии. К таким процессам относятся ионная имплантация, окисление и диффузия фосфора при его высоких концентрациях. В общем неравновесные условия для точечных дефектов проявляются в возрастании или уменьшении коэффициента диффузии примеси замещения даже при малых концентрациях и росте дислокационных петель (дефектов упаковки) в кремнии. В зависимости от условий протекания этих процессов связанные с ними напряжения решетки также могут приводить к генерации дислокаций. В данном разделе мы сосредоточим внимание только на окислении и его влиянии на диффузию, поскольку из трех упомянутых процессов именно окисление позволяет непосредственно проанализировать механизмы диффузии в кремнии в целом. Другие два процесса рассмотрены в [1.27, 1.28] (вопросы, касаю- [c.36]

Концентрация равновесных дефектов сильно зависит от температуры. Очевидно, что скорость диффузии по вакансионному механизму должна быть пропорциональна концентрации вакансий. Вакансионный механизм является доминирующим механизмом диффузии в металлах. На рис. 1.1, в показан еще один механизм диффузии - по междоузлиям с замещением, который также включает участие точечного дефекта, — на этот раз собственного атома решетки, находящегося в междоузлии. Как мы увидим далее, наличие этого механизма диффузии по междоузлиям с замещением (его не следует путать с диффузией по междоузлиям) наряду с вакансион-ным механизмом позволяет объяснить некоторые аномалии в явлениях диффузии легирующих примесей в кремнии. [c.12]

Ко времени написания данной главы, как показано в разд. 1.4, сушеству- ()т веские основания полагать, что вакансии и междоузельные атомы являются равновесными точечными дефектами в кристаллическом кремнии и что два механизма диффузии, а именно вакансионный и междоузельный с смещением, ответственны за миграцию атомов, находящихся в узлах решетки. Несмотря на это, в первой части нашего обсуждения мы примем классическую точку зрения, состоящую в том, что вакансии являются доминирующими точечными дефектами. Это делается исключительно в интересах простоты изложения, так как выводы, сделанные здесь для вакан-сионного механизма, в действительности справедливы для любых механизмов диффузии, в том числе и для механизма диффузии по междоузлиям с замещением. [c.13]

Можно ожидать, что механизмы медленной диффузии примесей аналогичны механизму само диффузии в кремнии, который классически считался вакансионным. Такое предположение в своей основе является экстраполяцией на полупроводники наблюдений точечных дефектов и собственных междоузельных атомов в металлах, где вакансии, как это надежно установлено, являются равновесными точечными дефектами. Тем не менее, вследствие исключительно малой концентрации равновесных точечных дефектов в кремнии (по оценкам порядка 10 см при температурах проведения диффузии) нет прямых доказательств того, что вакансии действительно являются равновесным типом дефектов в кремнии. Решающий эксперимент, в котором точно измеряется изменение постоянной решетки кремния Таблица 1.1. Предэкспоненциальный мнохштель и энергия активации для [c.14]

Исследование способов, позволяющих замедлить рост зоны взаимодействия, является очень важным аспектом проблемы разработки практически ценных композитов. Как указывалось выше, матрицы, представляющие иаибольший практический интерес, обычно более реакционноспособны, чем матрицы, на примере которых демонстрировали справедливость теорий композитов. Проблема дополнительно осложняется тем обстоятельством, что композиты с металлической матрицей особенно нужны для эксплуатации при повышенных температурах. Исследование кинетики диффузионных процессов и выяснение механизмов диффузии являются основными условиями для построения строгой теории поверхностей раздела и для решения с ее помощью проблемы получения требуемых характеристик поверхности раздела. Исследование процессов и механизмов диффузии необходимо проводить применительно к той области толщин реакционной зоны, которая характерна для практически ценных композитов часто это означает, что объектом исследования должны стать зоны толщиной менее 1 мкм. Рост реакционной зоны, особенно в характерных для композита условиях стеснения, нередко приводит к изменению механизма диффузии. Рэтлифф и Пауэлл [30], например, наблюдали изменение механизма диффузии при взаимодействии между титановыми сплавами и карбидом кремния при толщине зоны 10 мкм и связали его с появлением новых продуктов реакции. Хотя столь большая толщина находится за пределами интересующей нас области, эти данные подтверждают изменение механизма диффузии на поздних стадиях роста реакционной зоны. Впрочем, могут иметь место и более тонкие изменения, обусловленные увеличением концентрации вакансий. [c.29]

Растворно-осадительный механизм роста, приводящий к необратимому увеличению объема вследствие развития диффузионной пористости, изучен применительно к графи-тизированным сплавам железа, никеля и кобальта. С углеродом указанные металлы образуют растворы внедрения и сильно различаются от него коэффициентами диффузии. Большое различие в диффузионной подвижности имеет место и в сплавах других металлов и неметаллов. Но при гермоциклировании этих сплавов, когда многократно повторяются процессы растворения и выделения избыточных фаз, накопление пор не обнаруживается. Число изученных систем невелико, но по крайней мере в микроструктуре термоциклиронанных твердых растворов на основе хрома и никеля, меди и титана, алюминия и меди, алюминия и кремния и некоторых других поры не выявлены. В указанных системах. компоненты образуют растворы замещения ч в них реализуется вакансионный механизм диффузии. [c.98]

ЭТОЙ точки зрения можно сослаться на работу Рэтлифа и Пауэла [21], в которой наблюдалось резкое изменение механизма диффузии для системы титан — карбид кремния при толщине реакционной зоны 100 ООО А. Толщину реакционной зоны измеряли методом оптической металлографии на косых и поперечных шлифах, в некоторых случаях использовали электронную микроскопию. На рис. 10 показаны результаты данного исследования для нелегированных титановых матриц. Константу скорости реакции определяли но толщине х и времени t, используя соотношение x k /t. [c.295]

А, возрастая пропорционально корню квадратному из времени. Поэтому применительно к кремнию он воспользовался предложенной Энгеллом и Хауффе трактовкой [246] параболического окисления цинка в интервале 375—400° С. о чем речь шла выше, и в действительности показал, что возрастает пропорционально 1п в полном соответствии с механизмом Энгелла — Хауффе. Сомнительно, чтобы этот механизм был приложим при высоких температурах, при которых проводили свои исследования Эванс и Чаттерджи. Возможно, что здесь действует обычный механизм Вагнера, но действительная картина диффузии в кристобалите остается пока невыясненной. [c.358]

Механизм образования металлических связей при наплавке кремнистой латуни на сталь и чугун имеет свои особенности. Наличие кремния обеспечивает защиту цинка от испарения ( бездымный процесс ), но обусловливает образование хрупкой прослойки на границе оплавления. Возникновение прослойки связано с диффузией атомов кремния в основной металл. Установлено, что прослойка в основном представляет собой упорядоченный твердый раствор а-железа на основе соединения Fe jSi со средним содержанием кремния более 11%. Микротвердость прослойки достигает ЯГзо 440—600. [c.182]

Механизм перехода. В настоящее время широко распространено мнение, что при относительно низких температурах большая часть пути газа через твердые кристаллы идет не столько через самую решетку, сколько через поры или интергранулярные трещины. При высоких температурах диффузия через решетку, конечно, возможна Однако до сих пор еще имеются большие разногласия относительно действительного механизма перехода кислорода или металла наружу или внутрь окисленного слоя, и, может быть, вообще сомнительно существование четкого различия, проводимого некоторыми исследователями между диффузией через решетку и диффузией через трещины. Кроме того, очень много гипотез, распространенных в настоящее время среди физико-химиков, основаны на работах о веществах, подобно углероду или кремнию, которые весьма отличаются от окисных пленок металлов. Одаако последние исследования диффузии газов через окись кремния достойны внимания, так как они показывают, что различные виды перехода возможны даже в тех случаях, когда вообще нет действия на металл. Баррер пришел к заключению, что при высоких температурах гелий, водород и неон проходят сквозь решетку окиси кремния, хотя более тяжелые газы, как кислород, азот и аргон, идут вдоль плоскостей скольжения. При низких температурах гелий, водород и неон проникают вследствие диффузии вдоль плоскостей скольжения. Баррер считает, что миграция идет от адсорбированного слоя, а не от газовой фазы. Элти с другой стороны, считает, что гелий и неон диффундируют через окись кремния вдоль узких трещин в виде адсорбированных атомов и что атомы газа проникают в трещины скорее непосредственно из газовой фазы, чем из слоя газа, адсорбированного поверхностью окиси кремния. [c.171]

При печной сварке преобладает ваканси-онный механизм самодиффузии железа, кремния, марганца в месте стыка кромок штрипса. Кромки деформируются при относительном обжатии 5 - 13 %, что положительно влияет на скорость диффузии. Давление на кромках [c.698]

В табл. 1.1 приведены значения предэкспоненциальных множителей и энергий активации для некоторых элементов, диффундирующих в кремнии по междоузлиям [1.1]. Из-за природной разреженности кристалла кремния многие элементы растворяются в междоузлиях и в этом же состоянии и диффундируют. В их число входят щелочные и тяжелые металлы, а также О и С. Кислород является хорошим примеров элемента, образующего с кремнием связанное междоузельное состояние даже при комнатной температуре, тогда как углерод по всей видимости находится при такой температуре в узлах решетки кремния. Общий вывод заключается в том, что междоузельные диффузанты мигрируют значительно быстрее, чем находящиеся в узлах решетки, и имеют более низкую энергию активации диффузии (ср. табл. 1.1 и 1.3). Это согласуется и с излагаемой в данной главе теорией, поскольку, как будет видно из дальнейшего, энергия активации диффузии по вакансиям включает не только энтальпию миграции. Кроме того, по-видимому, наряду с примесями, диффундирующими исключительно по вакансионному или междоузельному механизмам, имеются частицы, способные диффундировать по обоим механизмам. Интересным примером элемента, диффундирующего в кремнии по такому комбинированному механизму, является Аи, имеющий низкую растворимость в междоузельном состоянии и при этом высокий коэффициент диффузии и более высокую растворимость в замещенном состоянии с низким коэффициентом диффузии. [c.15]

Поскольку вся информация относительно уровней и энергий вакансион-ных состояний черпалась из низкотемпературных измерений, то предс -авля-ется затруднительным проверить пригодность этих значений при высоких температурах. По-видимому, разумно предполагать, что свободная энергия образования вакансий и 1 0 одинаковы для всех состояний. Однако имеются указания на то, что при низких температурах энтальпия миграции заряженных вакансий на 0,1 - 0,2 эВ выше энтальпии миграции нейтральных [1.15а]. Если это имеет место и при высоких температурах, то возможно некоторое примирение между вакансионной теорией диффузии и тенденцией а). Тем не менее, попытка полного примирения может оказаться тщетной, если не учитывать механизм диффузии по междоузлиям с замещением. В разд. 1.4 будет показано, что при высоких температурах механизм ди<рфузии по междоузлиям с замещением становится очень важным для понимания диффузии примесей в кремнии. Поэтому маловероятно, что этим механизмом можно пренебречь при рассмотрении самодиффузии. [c.24]

Приведенные факты ярко свидетельствуют о тесной связи между влиянием окисления на диффузию и ростом окислительных дефектов упаковки они также приводят к выводу о том, что в кремнии имеют место следующие физические механизмы а) легирующие атомы диффундируют по д н)йному вакансионному и междоузельному с замещением механизмам С) окисление поверхности кремния увеличивает концентрацию междоузельных атомов кремния с) окисление уменьшает концентрацию вакансий. [c.37]

До сих пор во всех обсуждениях предполагалось, что диффузия примесей аимещения в кремнии определяется одним типом точечных дефектов, а именно вакансиями. Коэффициент диффузии легирующих примесей с учетом как вакансионного механизма, так и механизма междоузельной диф-фучии с замещением,, можно представить в виде [c.37]

Эти неравенства с помощью (1.54) позволяют вычислить предельные значения вклада мехаршзма междоузельной диффузии с замещением, для различных элементов. В табл. 1.4 в качестве примера приведены значения // для фосфора. Результаты последних (неопубликованных) экспериментов показьшают, что О для сурьмы, что, в свою очередь, указывает на существование исключительно вакансионного механизма. Тот факт, что значение /у хотя бы для одного из видов примеси заключено между О и 1, является сегодня наилучшим свидетельством того, что как вакансионный, так и междоузельный с замещением механизмы имеют место в кремнии в равновесных условиях. [c.40]

Рассмотрим отличительные особенности гетеродиффузии в германии и кремнии. Как следует из табл. 8.1, элементы IB и VIII (переходные металлы) групп диффундируют в них с большей скоростью, чем элементы IIIA и VA групп. Механизм диффузии примесей IB и VIII групп, как мы уже установили, — междоузельный для примесей внедрения (литий) или диссоциативный, если атомы примеси могут размещаться как в узлах, так и в междоузлиях. [c.310]

Диффузия атомов в твердых растворах замещения, как и самодиф-фузия, происходит по вакансионному механизму. Так, например, диффундируют примеси элементов П1 и V групп в германии и кремнии их коэффициенты диффузии составляют 10" — сек в кремнии при 1000° и 10 1 —- 10" смЧек в германии при 800°, что на несколько порядков меньше, чем при междоузельной диффузии. [c.113]

Коррозионное разрушение металлов и сплавов происходит вследствие растворения твердого металла в расплавленном натрии, путем взаимодействия окислов металлов, располагающихся между зернами и натрием и его окислами [1,49], [1,57]. При взаимодействии, например, окиси натрия с окислами кремния могут образоваться легкоплавкие эвтектики, что ослабляет связь между зернами металла. При наличии в натрии кислорода и соответственно окислов натрия коррозия может протекать по электрохимическому механизму [1,49]. С этим обстоятельством возможно связана более высокая скорость растворения металлов в натрии при контактах разнородных материалов. Анодный процесс состоит в переходе ион-атомов из кристаллической решетки в расплав, катодная реакция — в восстановлении натрия из окисла до металла. О. А. Есин и В. А. Чечулин [I, 58] доказали, что эффективность катодного процесса восстановления натрия определяется скоростью диффузии ионов натрия в расплаве, содержащем его окислы. Локальные коррозионные элементы на поверхности металла могут образоваться вследствие структурной неоднородности, различных уровней механических напряжений, разрушения окисных пленок на отдельных участках поверхности и по ряду других причин. Устранение кислорода из расплава или связывание его в прочные соединения ингибиторами подавляет электрохимическую коррозию и, как известно, увеличивает стойкость конструкционных материалов в расплавленном натрии. [c.50]

Подтверждением такого механизма процесса является четкая зависимость скорости обезуглероживания от измельчения реагентов и практическое отсутствие такой зависимости от давления прессования брикетов, т. е. от степени контакта окислителя с карбидом. Однако в заключительной стадии процесса при очень малых значениях рсо и Рсо, кинетические возможности его настолько ограничены, что дальнейшее течение процесса может осуществляться лишь при непосредственном взаимодействии оксида и углерода, т. е. скорость обезуглероживания на последней стадии зависит лишь от скорости диффузии реагентов. Вследствие очень малых скоростей диффузионных процессов взаимодействие углерода с окислителем практически прекращается еще до достижения равновесия, поэтому для получения сплава с заданным содержанием углерода (<0,02 %) необходимо вводить в брикет до 2 % избыточных оксидов, что неизбежно вызывает загрязнение феррохрома неметаллическими включениями. Загрязненность получаемого феррохрома в значительной степени зависит от рода применяемого окислителя. При использовании руд или концентратов сплав будет загрязняться как избытком восстановителя, так и оксидами пустой породы (MgO, AI2O3, СаО и др.), которые в условиях процесса не могут восстанавливаться. При использовании кремнезема образуются силициды хрома и содержание кремния в сплаве повышается до 5—8 %, что недопустимо при выплавке сталей многих марок, хотя за рубежом такой феррохром и производится в значительных количествах. Ввиду высокой стоимости не нашли широкого применения оксиды никеля и хрома. Кроме того, использование оксида никеля суживает область применения сплава только выплавкой хромоникелевых сталей. Трудности были устранены в результате использования окисленного углеродистого феррохрома. [c.243]

Типичные проявления восходящей диффузии неоднократно описывали при исследовании паяных соединений из стали латунными припоями, легированными кремнием (до 0,3—0,5%), который вводили в эти припои для упрочнения паяного соединения и торможения процессов испарения цинка. В контакте таких жидких припоев со сталью в результате большого химического сродства кремния с железом последнее вытягивает кремний из припоя по механизму восходящей диффузии и образует с ним хрупкий сплошной слой соединения FegSi. Естественно, что кремний, входящий в латунь отлитую в изложницу, нейтральную по отношению к кремнию или имеющую на поверхности толстый слой окислов, препятствующий их физическому контакту, повышает прочность латуни (снижая ее пластичность), тогда как кремний в припое вызывает снижение прочности паяного соединения при пайке железа и стали. [c.60]

Технологические особенности процесса формирования си-лицидных покрытий и механизм их роста. Как показали исследования процесса диффузионного насыщения кремнием поверхности металла, рост силицидных слоев происходит путем преимущественной реакционной диффузии кремния сквозь образующиеся поверхностные слои. Для системы W—Si это показано в работах [90—92], для системы Мо—Si и Та—Si— в работах [89, 92, 93]. [c.235]

Нами найдено, что добавки 1—2% 51 к сплавам N1 4- 10% Сг и N1-1-20% Сг Увеличивают их окалиностойкость при 1200° примерно до одинакового уровня. Этот факт позволяет предположить, что механизм влияния кремния не зависит от содержания хрома в сплавах. Поэтому кажется, что лаиболее вероятное объяснение действия кремния заключается в том, что он образует на границе между сплавом и окисью. слой 5Ю2, который резко замедляет диффузию ионов основных ком.понентов сплава, тем более что в. пленке 51О2 следует ожидать малой скорости диффузии, так как окисел имеет весьма низкую электропроводность (10 ом см- по соавнению с ом см для N10 и 10-1 ом . см- для СггОз) [1.3]. [c.101]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...