Метод высокочастотного разряда

МЕТОД ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА [c.138]

Метод высокочастотного разряда применим для определения степени разрежения и обнаружения течей в стеклянных вакуумных приборах и установках, а также в металлических системах при наличии в них стеклянных деталей или при установке специального стеклянного разрядника. [c.138]

Метод высокочастотного разряда прост и удобен, но применение го ограничено узким диапазоном рабочих давлений. Простой прибор, заменяющий трансформатор Тесла, описан в [Л. 8-4]. [c.139]

Высокочастотного разряда (метод Тесла трансформатора) [65] 1 10-1 Течеискание только для стеклянных изделий [c.24]

Течи в стеклянной вакуумной системе при пониженном давлении быстро обнаруживаются искровым тече-искателем. Если в стеклянных трубках имеются незаметные для газа трещины, то при приближении к ним электрода искрового течеискателя в этих местах возникают ярко светящиеся искорки и достигается точная фиксация места течи. При пользовании этим методом необходимо помнить, что мощный высокочастотный разряд или слишком длительное удерживание электрода течеискателя на одном месте может привести к пробою стеклянной стенки. [c.387]

Применительно к нуждам машиностроения вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий и создания модифицированных поверхностных слоев можно условно разделить на четыре группы а) ионно-диффузионные методы, осуществляемые в тлеющем разряде б) методы,основанные на явлении катодного распыления в разряде постоянного тока и в высокочастотном разряде в) ионное осаждение г) ионное легирование и внедрение (имплантация). [c.154]

Искровой метод применяют для контроля герметичности либо стеклянных вакуумных систем, либо металлических вакуумных систем, если в последних имеются стеклянные детали. Метод основан на возбуждении в откачанном объеме высокочастотного разряда электродом течеискателя. Течи обнаруживают по изменению характера (формы, цвета) разряда, который зависит от степени разрежения и рода газов, содержащихся в изделии или проникающих в течь. Для реализации метода может быть использован искровой помехозащитный течеискатель ИО-60-010, работающий в диапазоне давлений (1,3- -6,6) 10 Па [8]. [c.273]

Катодное травление материала пленки является видоизменением катодного распыления, при котором подложка с пленкой представляет собой мишень, бомбардируемую ионами тлеющего разряда. Особенно эффективным является травление в высокочастотном разряде. Такой процесс позволяет использовать фото-резистивные контактные маски, избежать подтравливания материала пленки, обеспечивает хорошее формирование края линии и достаточно высокую скорость травления. Имеются данные [31] о получении этим методом линий шириной 2—3 мкм. Вытравленное в пленке ЗЮг толщиной 5,5 мкм отверстие диаметром 25 мкм имеет практически перпендикулярные стенки с незначительным Коэффициентом подтравливания й/Д/=4. [c.83]

По этому методу получают простые или сложные отверстия, полости, вырезы в электропроводном материале путем контролируемого удаления материала в результате воздействия высокочастотного электроискрового разряда. Импульсы тока проходят между обрабатываемой деталью и электродом, которые погружены в диэлектрическую жидкость. Расстояние между деталью и электродом составляет от 5,08 до 0,127 мм и менее. Диэлектрик в промежутке частично ионизован электроискровым разрядом, вызываемым высоким импульсным напряжением. [c.439]

Из всех методов газотермического напыления (газопламенного, электродугового, высокочастотного и др.) для целей получения композиционных материалов наиболее широко используют — метод и аппаратуру плазменного напыления. В аппаратах плазменного типа для плавления и распыления материала покрытия используется струя дуговой плазмы, представляюш,ая собой поток газообразного вещества, состоящего из свободных электронов, положительных ионов и нейтральных атомов. Плазменную струю получают путем вдувания плазмообразующего газа (аргона, гелия, азота, водорода и их смесп) в электрическую дугу, возбуждаемую между двумя электродами. Напыляемый материал подается в плазменную горелку либо в виде проволоки, либо в виде порошка. Принципиальные схемы устройства головок плазменных горелок показаны на рис. 75. В головке, представленной на рис. 75, а, напыляемый порошок вводится в дуговую плазму, образуемую между вольфрамовым электродом (катодом) и соплом (анодом). В головке, представленной на рис. 75, б, сопло остается электрически нейтральным, а дуговой разряд возникает между вольфрамовым электродом горелки и напыляемой проволокой, которая является расходуемым анодом [36]. [c.170]

Метод плазменного напыления при пониженном давлении в инертной атмосфере. Этот метод в последние годы довольно широко применяется для получения пленок с полупроводниковыми свойствами [157]. В этом методе с помощью различных видов самостоятельного (или несамостоятельного) тлеющего разряда удается наносить равномерные по толщине молибденовые (и вольфрамовые) покрытия с высокой адгезией и малым содержанием примесей. В таких установках вводимый инертный газ переходит в состояние плазмы под воздействием высокочастотного пли высоковольтного разряда. Ионная бомбардировка мишени (анода) приводит к ее распылению и осаждению распыленного материала на подложке. Так как вырванные атомы имеют энергию порядка сотни электронвольт, они способны проникать в поверхностный слой подложки и микротрещины, обеспечивая тем самым хорошую адгезию. Несмотря на положительные качества, получать толстые термостабильные покрытия этим методом трудно и дорого. [c.106]

Таким образом, полученные данные позволяют сделать вывод о возможности использования травления Пк в плазме высокочастотного кислородного разряда, как ускоренного тест-метода при исследовании старения Пк, позволяющего с достаточной точностью оценивать потерю массы и изменение микрорельефа поверхности. [c.146]

Для получения окисных пленок на кремнии и металлах (тантале, ниобии, алюминии, титане) в последнее время предложен метод плазменного анодирования [41, с. 139, 262]. Этот процесс ведут в газовом разряде (высокочастотном, тлеющем) в кислородной или кислородно-аргонной плазме при давлении 6,7—67 Па [c.53]

Метод циклограмм может быть применен для экспериментального исследования характеристик разрядов в газовых включениях изоляции только при повышении чувствительности электрической схемы установки благодаря введению в нее усовершенствований [60]. Мостовой метод также является недостаточно чувствительным для изучения зависимости tg 6 = / ( /эфф). сли размеры газовых включений сравнительно невелики. Поэтому при изучении характеристик разрядов в газовых включениях сравнительно небольших размеров, что и имеет место в диэлектриках промышленных изделий, широко применяются индикаторы частичных разрядов ИЧР [61]. Наиболее распространены ИЧР, регистрирующие электрические импульсы (сигналы), возникающие в цепи вследствие разрядов в воздушных включениях диэлектрика. Сюда относятся а — схема измерения высокочастотных составляющих тока б — схема с конденсатором связи в-— мостовая схема (рис. 3-11). В этих индикаторах электрические сигналы, возникающие при разрядах, усиливаются и отмечаются регистрирующим устройством (осциллографом, стрелочным прибором или счетчиком импульсов). При таких исследованиях возникают следующие затруднения [c.98]

Попытка количественного сравнения различных методов нанесения покрытий в вакууме предпринята авторами работы [245], причем в каждом из методов учтены их разновидности. Так, метод термического напыления рассмотрен с точки зрения резистивного метода нагрева испаряемого материала, электронно-лучевого и взрывного с непрерывной догрузкой тигля порошком испаряемого материала. В методе катодного распыления рассмотрены обычное высокочастотное распыление и высокочастотное распыление при наличии отрицательного потенциала на подложке. Метод ионного осаждения представлен процессами с применением плазмы, получаемой в разряде постоянного напряжения и в высокочастотном поле, причем каждая из этих разновидностей рассмотрена с точки зрения резистивного и электронно-лучевого испарителя. Для возможности сравнения все рассматриваемые процессы нанесения покрытий были отнесены к вакуумной камере одного и того же размера — цилиндр диаметром 60 см. [c.16]

Рис. 3. Технологические схемы а — стыковой контактной сварки методом сопротивления б — стыковой контактной сварки методом оплавления в — ударной стыковой сварки разрядом конденсатора г — нормальной точечной контактной сварки д — рельефной контактной сварки е и ж — сварка давлением с высокочастотным нагревом

Неисправный конденсатор может явиться источником высокочастотных помех. Причиной тому может послужить нестабильность емкости конденсатора ( мерцание ), обусловленная процессом ионизации и возникновением разрядов на отдельных микроскопических изолированных островках металла обкладок конденсатора. Методы измерения электрических параметров конденсаторов изложены в ГОСТ 21315.0—75 — ГОСТ 21315.10—75. [c.52]

Мы экспериментально проверили реальность фантомного листового эффекта в Институте Химической Физики РАН. Был собран генератор высоковольтных высокочастотных электрических полей, в точности повторявший основные характеристики, приводимые в работе [11, в которой указанный эффект имел высокую (50%) воспроизводимость. Мы развили этот метод в той его части, которая касалась непосредственного визуального наблюдения газового разряда на живых листьях растений (прозрачный электрод) и регулируемого непрерывного прохождения частот пачек импульсов, подаваемых на растения [2, 31. В данном разделе представлены иллюстрации фантомных эффектов, не вошедших в публикации (2, 31. [c.200]

Метод возбуждения газовым разрядом наиболее широко распространен в газовых оптических генераторах. Для получения разряда в газоразрядной трубке создается высокий вакуум, после чего трубка заполняется либо однокомпонентным, либо двухкомпонентным газом, подобранным в строго определенной пропорции. После этого в трубке возбуждается газовый разряд прикладыванием к внешним электродам высокочастотного поля или прикладыванием высокого напряжения к внутренним электродам, впаянным в трубку. [c.41]

Испытание методом высокочастотного разряда может быть произведено с помощью выпускаемого нашей промышленностью течеискателя искрового, помехозащищенного типа Н060.010. Этот течеискатель представляет собой высоковольтный высокочастотный трансформатор Тесла, схема которого приведена на рис. 8-3, а внешний вид — на рис. 8-4. [c.139]

Состав недиффузионных покрытий необходимо выбирать таким образом, чтобы обеспечить совместимость материала покрытия и основы при температурах эксплуатации, а также высокую адгезию покрытия с основой. Эти покрытия наносят методами химического осаждения из газовой фазы, а также различными методами напыления (пламенного, плазменного, детонационного). В последние годы развиваются методы электронно-лучевого напыления покрытий в вакууме, а также напыление различных элементов и соединений с использованием электрических и магнитных полей (ионно-плазменное, в том числе магнетрон ное, катодное напыление, нанесение покрытий в тдёю-щем и высокочастотном разряде и т. д.). При достаточно высокой температуре процесса часть напыленного покрытия может превратиться в диффузионное. [c.432]

Метод катодного осаждения сочетает в себе метод катодного распыления и метод молекулярных пучков. Исходное вещество испаряется термическим путем, а подложка служит отрицательным электродом и располагается в зоне плазмы, поддерживаемой постоянным током или высокочастотным разрядом. В результате ионизирующиеся в плазмённом пространстве атомы вещества осаждаются на подложку. Метод осаждения из ионизированных пучков позволяет получать эпитаксиальные слои, легированные летучими примесями при сравнительно низких температурах. [c.330]

В настоящее время наиболее экономичным путем связывания, т. е. применения атмосферного А., является синтез а.ммиака вследствие гл. обр. сравнительно низких энергетич. расходных коэфициентов. С этим способом все еще конкурирует в промышленном масштабе азотирование карбида кальция. Новые экспериментальные данные дают возможность предположить, что станут конкурировать способы 1) получение нитрида алюминия, 2) синтез синильной кислоты из метана и А., 3) окисление А. воздуха кис лородом воздуха в тихом тлеющем, напр, высокочастотном, разряде (см. Азотная кислота). Последний метод обещает большие возможности регулировки и позволит использовать воздух непосредственно однако еще не вполне разрешена проблема экономичного расходования электроэнергии при его применении. Подавляющее больвгин-ство промышленных установок получает А. ректификацией жидкого воздуха (см. Аммиак) существуют и установки, в которых ректифицируется не воздух, а дымовые газы после выделения из них углекислоты (Слюй-скилл, Голландия). Хвостовые газы заводов азотной кислоты, получаемой окислением аммиака воздухом, также богаты А. в них 95—96% N2 по объему 3—4% Оа и 0,2 [c.199]

Волноводные структуры на основе пленок окислов достаточно хорошо изучены. Наиболее эффективными методами их получения является вакуумное реакционное распыление, ХОГ, термическое окисление в среде кислорода, в ряде случаев анодирование в растворах и плазме разряда [6, 10]. При получении пленок окислов вакуумным распылением наиболее широко применяются методы высокочастотного ионоплазменного и магне-тронного распыления в кислородноаргоновой среде. Этими способами получены волноводные структуры на основе окислов Та, Т1, ЫЪ, Су и др. Оптические потери в них не превышают единиц, а в ряде случаев — долей децибел на сантиметр. Волноводные структуры на основе окислов можно получить способом термического окисления пленок металлов в среде кислорода. Так, на основе пленок 3-Та, нанесенных катодным распылением в атмосфере Аг, после 40 ч окисления в кислороде при 550 С получают л = = 2,2026 с потерями 1 дБ/см при Х = = 0,6328 мкм. Параметры волноводных структур на основе пленок окислов и нитридов представлены в табл. 10.6. [c.175]

Развитие электроэрозионной обработки позволяет сегодня различать три метода, каждый из которых постоянно совершенствуется по пути расширения своих технологических возможностей 1) электроискровая обработка 2) электроимпульсная обработка 3) высокочастотная элек троэрозионная обработка. Для всех электроэрозионных методов, независимо от их технических и технологических параметров, общим является наличие диэлектрической среды между электродами и подача энергии в форме импульсов, вызывающих в зоне обработки возникновение разряда, разрушающего поверхность одного или обоих электродов. [c.498]

СПЕКТРОСКОПИЯ — совокупность методов исследования строения вещества, основанных на резонансном поглощении радиоволн РАЗМАГНИЧИВАНИЕ — уменьшение остаточной намагниченности ферромагне1ика после снятия внешнего магнитного поля РАЗМЯГЧЕНИЕ — переход вещества из твердого состояния в жидкое при повышении температуры РАЗРЯД (безэлектродный вызывается либо током смещения, либо является индукционным током, а разрядный промежуток изолирован от электродов высокочастотный происходит в газе под действием электрического поля 1азовый — процесс прохождения электрического тока через газ дуговой — самостоятельный газовый разряд с большой плотностью тока, при котором основную роль в ионизации играют электроны, возникающие вследствие термоэлектронной эмиссии с разогретого самим разрядом катода, а газ в столбе дуги находится в состоянии плазмы при сравнительно небольшом напряжении между электродами) [c.269]

Химическое газофазное осаждение. Одним из наиболее широко применяемых методов получения нанотрубок является химическое газофазное осаждение ( VD — hemi al vapour deposition). Под этим общим названием понимаются различные методы получения низкотемпературной плазмы углеродсодержащего газа, например, разряд постоянного тока [49], высокочастотный [50] и радиочастотный разряд [51]. Наиболее распространенный метод реализации VD — газовый разряд постоянного тока в смеси газов, например, водород—метан. [c.38]

А-3. Окисление в газоразрядной плазме. Окисление в кислородной газоразрядной плазме можно вести в тлеющем разряде постоянного тока, в высокочастотном (ВЧ) или сверхвысокочастотном (СВЧ) разряде и в дуге низкого давления. Во всех случаях источпико.ч кислорода являются однозарядные атомарные ионы кислорода и атомарный кислород. Следует различать два метода окисления при анодной поляризации окисляемого металла — анодирование и без поляризации — оксидирование. При анодировании в тлеющем разряде наиболее распространенной является установка, в которой разрядные электроды располагаются параллельно. Образец помещается так, чтобы его плоскость была параллельна оси разряда в области наибольшей концентрации ионов и находилась под положительным по отношению к плазме потенциалом. Существенное преимущество анодирования в плазме тлеющего разряда — простота оборудования, возможность использования серийных вакуумных установок и хорошая совместимость с другими процессами вакуумной технологии, К недостаткам метода относятся малая скорость образования пленки (0,01—0,05 нм/с) и загрязнение ее поверхности продуктами рас- [c.257]

Поверхности обрабатывают не только коронным разрядом, но и другими методами тлеюш им и высокочастотным газовым разрядом, бомбардировкой электронами и т. д. В результате обработки тле-юш,им разрядом на поверхности полиэтилентерефталата (ПТФЭ) образуются реакционноснособные перекисные радикалы, которые являются причиной повышенной адгезии этих пленок [8, с. 170]. Если пленки формируются в результате напыления путем испарения в вакууме и одновременно обрабатываются тлеющим разрядом, то адгезионная прочность их значительно выше, чем полученных без обработки. [c.294]

Электроимпульсная обработка. Такой способ основач на использовании разрядов, возникающих между поверхностями инструмента и заготовки. Заготовка является катодом, а инструмент — анодом. Происходит плавление малых частиц металла в зоне электрических разрядов, возникающих между электродами. Разряды возбуждаются с помощью импульсов напряжения, вырабатываемых специальными генераторами, дающими более продолжительный и мощный дуговой разряд, чем при элект-роисковом методе. Наиболее часто электроимпульсный-способ применяют при трехкоординатной обработке штампов, пресс-форм, турбинных лопаток, ручьев в валках периодического проката, а также резцов, фрез и штампов из жаропрочных и твердых сплавов. Низкочастотная электроимпульсная обработка дает грубую поверхность шероховатостью = 40 20 мкм, а при высокочастотной обработке (частота 7—25 кГц) — = 20 ч- 1,25 мкм. [c.204]

Разрушение под действием высокочастотных электрического и магнитного полей. В последнее время как в Советском Союзе, так и за рубежом ведутся интенсивные исследования электрофизических методов разрушения различных материалов, что потребовало детального изучения электрофизических и других свойств материалов, подвергающихся воздействию электромагнитных полей и электрических разрядов. Первые исследования в этом направлении относятся к электротермическому разрушению диэлектрических материалов при диэлектрическом нагреве. В сороковых годах Г. И. Бабат, А. В. Варзин и др. на примере горных [c.463]

Особое значение для горной науки имеют исследования интергрануляционного превращения, приводящего к ослаблению прочности вплоть до полного разрушения зерон материала или к ослаблению межкристал-лических связей, под действием высокочастотных электромагнитных полей, а также эффекта расщепления слюды в высокочастотных электрических полях. Поиски наиболее эффективных методов выдвинули проблемы разрушения горных пород токами промышленной частоты (тепловой пробой, способ электрической дуги и расплавления породы) и импульсными электрическими разрядами, отличающимися динамическим, взрывным характером. [c.465]

Струйнодуговые (электродные) плазменные установки создают узкую высокотемпературную зону и применяются преимущественно для нанесения покрытий методом распыления. Для оплавления уже нанесенных слоев более приемлем индукционный разряд, получаемый с помощью высокочастотных генераторов мощностью от 1 до 200 кВт и частотой тока от 1 до 40 МГц. В простейшем виде рабочий орган плазменного генератора представляет собой кварцевую [c.68]

После длительного периода господства неустойчивостей в решении проблемы устойчивости достигнуты существенные успехи. Так, удалось путем создания должной конфигурации внеигних магнитных нолей преодолеть пек-рые типы крупномасштабной (магнитогидродинамической) неустойчивости нлазмы конвективную (желобковую) неустойчивость в магнитной ловушке с комбинированными нолями и винтовую неустойчивость шнура в тороидальном разряде с сильным продольным магнитным полем, а также в системе с т. п. динамич. (высокочастотной) стабилизацией. Разрабатывается новый метод т.п. турбулентного нагрепа нлазмы (турбулентность развивается из мелкомасштабной, кинетич. неустойчивости). Т. о., нек-рые тины неустойчивости плазмы даже поддаются рациональному исиользованию. В итоге, напр., время удержания плазмы с темн-рой ионов неск. клв в ловушке с комбинированными полями доходит до неск. десятков мсек (правда, пока при плотности плазмы всего см ), в тороидальных системах [c.180]

Метод интегрального аналого-цифрового преобразования базируется на представлении входного аналогового сигнала временным интервалом определенной длительности. В простейшем случае, когда характеристика преобразователя представляет собой прямую, входной сигнал сравнивается с линейно нарастающим напряжением (пилообразная функция) и определяется время, необходимое для достижения значения, равного значению входного сигнала. Это время прямо пропорционально уровню входного сигнала. Разрешающая способность этого метода определяется частотой счетных импульсов и крутизной фронта импульса пилообразного напряжения. Наивысшая точность достигается при высокочастотных тактовых импульсах и малом наклоне пилообразной характеристики. Интегральное аналого-цифровое преобразоваш1е-процесс более медленный, чем метод последовательных приближений так, типовое преобразование с точностью шесть разрядов занимает около 14 МКС. Однако данный метод более точен, особенно в условиях электрических помех, из-за его меньшей чувствительности к ним сигнал помехи может быть как положительным, так и отрицательным, вследствие чего интегральное значение сигнала стремится к нулю. [c.420]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...