Осаждение газофазное химическое (ХОГ)

Осаждение газофазное химическое (ХОГ) 66 [c.239]

Рассматриваются некоторые свойства, определяющие области применения различных тугоплавких покрытий, нанесенных на углеродные материалы плазменным напылением, газофазным, химическим и электрохимическим методами. Показано, что покрытие из двуокиси циркония, получаемое путем нанесения на графит методом аргоно-дуговой наплавки циркония и окислением последнего в кислороде, отличается высокой термостойкостью, определяемой металлическими прожилками циркония в двуокиси, а также наличием пластичного металлического слоя, демпфирующего напряжения, возникающие в окисной плевке при эксплуатации. Метод газофазного осаждения может быть использован для нанесения различных тугоплавких покрытий как на графитовые изделия, так и в качестве барьерных на углеродные волокна при этом толщина покрытия определяется его назначением. Путем химического и последующего электрохимического наращивания, например меди на углеродные волокна, возможно получение композиции медь—углеродное волокно с содержанием волоков 20—50 об.%. [c.264]

Химические методы синтеза включают различные реакции и процессы, в том числе процессы осаждения, термического разложения или пиролиза, газофазных химических реакций, восстановления, гидролиза, электроосаждения. Регулирование скоростей образования и роста заро- [c.11]

Характеристика Газофазное осаждение Химическое осаждение и пропитка смолой [c.191]

Центр автоэмиссионных технологий (ЦЛ Г МФТИ) создан при Московском физи-ко-техническом институте в 1999 г. на базе лаборатории эмиссионной электроники, существующей на кафедре вакуумной электроники МФТИ с 1990 года. ЦАТ МФТИ проводит исследования в области автоэлектронной эмиссии углеродных материалов. В настоящее время ведутся фундаментальные исследования по следующим направлениям исследование структуры углеродных материалов разработка новых перспективных технологий изготовления автоэмиссионных катодов электрофорез, метод печати, химического газофазного осаждения ( VD) и другие разработка методик модификации углеродных материалов для уменьшения работы выхода электронов разработка методики измерения вакуума в отпаянных приборах. Проводятся также прикладные исследования электронные пушки различного назначения высокоэффективные источники света плоские дисплейные трубки рентгеновские трубки. [c.288]

Для изготовления термостойких высокопрочных конструкций, например ротора газовой турбины, вручную или с помощью машины готовят из кремниевых или углеродных волокон сетчатый каркас заданной формы, несколько меньший по сравнению с конечной формой элемента. Затем методом химического газофазного осаждения поверхность каркаса покрывают керамикой, что осуществляют с помощью лазера или высокочастотного индукционного нагрева. [c.240]

Электроизоляционные неорганические пленки (ЭНП) в отличие от большинства остальных электроизоляционных материалов не получаются в свободном состоянии, а образуются в процессе изготовления на подложке, являющейся элементом той или иной электро-или радиотехнической конструкции. По своим показателям химической и радиационной стойкости, нагревостойкости, электрической прочности — ЭНП превосходят почти все известные материалы. Методы получения неорганических пленок весьма разнообразны, но все их можно объединить в две группы А — химические или электрохимические реакции вещества подложки с активным веществом среды — такими методами могут быть получены оксиды, нитриды, фториды и другие соединения, образующиеся на поверхности металлов и полупроводников Б — осаждение пленок из газовой или жидкой среды, не вступающей в реакцию с веществом подложки, испарение, ионное распыление, газофазные реакции и др. [c.256]

Покрытия, осаждаемые из газовой и паровой фазы, в настоящее время все шире исследуются и применяются в практике. Если парофазный метод распространяется главным образом на металлы и те немногие соединения, которые испаряются без изменения химического состава, то газофазный метод позволяет получать покрытия из широкого круга неорганических тугоплавких соединений, причем осаждаемые соединения отличаются высокой чистотой. Несмотря на то что первые работы в области осаждения металлов и соединений из газовой фазы выполнены более сорока лет назад [131, 132], этот метод получил достаточное развитие и применение только в последнее десятилетие. Исследованию закономерностей процессов, происходящих при осаждении покрытий из газовой фазы, аппаратурному оформлению различных технологических вариантов, исследованию свойств получаемых покрытий посвящены многочисленные работы, обобщенные и проанализированные в монографии [11]. Некоторые материалы, не включенные в эту работу и представляющие теоретический и практический интерес, будут рассмотрены в гл. V. [c.131]

К покрытиям этого типа можно отнести покрытия, составные части которых образуются в результате гетерогенных химических реакций в газовой среде, окружающей обрабатываемое изделие, и осаждаются на его поверхности, формируя сплощной слой осаждаемого материала. Принимая терминологию, предложенную в монографии [11 ], целесообразно рассмотреть только покрытия, образующиеся при химическом осаждении из газовой фазы (под физическим осаждением при этом понимают процесс вакуумного испарения и конденсации). Методом газофазного осаждения могут быть получены почти все металлы, кислородсодержащие и бескислородные тугоплавкие соединения, интерметаллиды, различные сплавы и керметы. Исходными продуктами служат газообразные галогениды, карбонилы или металлорганические соединения, при разложении или взаимодействии которых с другими газообразными составляющими смесей (водородом, аммиаком, углеводородами, окисью углерода и др.) могут образовываться и осаждаться на обрабатываемой поверхности нужные материалы. В данной главе будут кратко изложены некоторые принципиальные положения технологии газофазного осаждения, приведены отдельные типы покрытий и примеры их практического использования. [c.357]

Это газофазные, химические и электрохимические процессы получения армированных. металлических композитов, Главной технологической операцией процессов осаждения-напыления является нанесение на арматуру покрытий из матричного металла, который, заполняя пространство между ар.мирующими элементами, образует матрицу композита. [c.108]

Химическое газофазное осаждение. Одним из наиболее широко применяемых методов получения нанотрубок является химическое газофазное осаждение ( VD — hemi al vapour deposition). Под этим общим названием понимаются различные методы получения низкотемпературной плазмы углеродсодержащего газа, например, разряд постоянного тока [49], высокочастотный [50] и радиочастотный разряд [51]. Наиболее распространенный метод реализации VD — газовый разряд постоянного тока в смеси газов, например, водород—метан. [c.38]

Рис. 1.21. Клок-схема установки для получения углеродных пленок методом химического газофазного осаждения (52) I — высоковольтный источник 2 — манометры, ротаметры и стабилизаторы расхода газа 3 — цилиндрическая вакуумная камера 4 — водоохлаждаемые токовводы 5 — смотровое окно 6 — верхний электрод 7 — нижний плектрод 8 — нагреватель 9 — подложка 10 — компьютер II — ограничительный резистор 12 — форвакуумный насос 13 — натекательный вентиль 14 — электромагнитные клапаны 15 — электролизер 16 — интерфейс 17 — кварцевое смотровое окно 18 — П.З.С. видеокамера

Жидкофазный метод включает пропитк исходных армирующих углеродных каркасов специальным, например, фенолформальдегидным связующим (пека.ми или другими высокоуглеродсодержащими органическими смолами), которое отверждают, а затем карбонизуют при высокой температуре (2000°С и выше). Так как при этом материал становится пористым, его еще раз пропитывают связующи.м и опять карбонизуют. Эт> операцию повторяют несколько раз. Другой способ - газофазный, включает химическое осаждение пироуглерода из газовой фазы на армирующий каркас при высоких температурах и давлениях. Перспективен и комбинированный метод, суть которого заключается в жидкофазной пропитке или газофазном уплотнении армирующего каркаса пироуглеродом с последующим доуплотнением газофазным или жидкофазным способами до получения необходимых свойств. Полученный материал южет работать при температурах до 3000°С, если его поверхность защитить от окисления. [c.164]

Пиролитические графиты ПГВ, ПГН, ПГИ — поликристалл ические материалы. Получают методом химического газофазного осаждения. Отличаются закрытой пористостью, газонепроницаемостью, равномерным распределением фаз, высокой чистотой, коррозионной T /i-костью. Легирование бором, кремнием, цирконием позвс-ляет получить материалы с хорошей межслоевой прочностью и сопротивлением к окислению. [c.64]

Химические методы газофазной эпитаксии основаны на осаждении из газовой фазы вещества, полученного в результате химической реакции. Примером могут служить технологии получения кремниевых или германиевых эпитаксиальных слоев. Например, автоэпитаксия кремния из парогазовой смеси тетрахлорида кремния и водорода протекает по реакции восстановления при температуре 1100 °С [c.328]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...