Осаждение молибдена

Часть книги посвящена обзору работ по нанесению молибденовых покрытий, также важному вопросу с точки зрения технологии ТЭП — нанесению вольфрамовых покрытий на молибден. Рассматриваются требования к покрытиям ТЭП, дается оценка эффективности различных методов нанесения покрытий. Особое внимание уделено методам химического осаждения молибдена, а также осаждения вольфрама на молибден из газовой фазы хлоридов и фторидов, которые являются, основными и получили широкое применение в технологии ТЭП. [c.5]

Изменение состояния поверхности электрода при совместном восстановлении ионов металлов, по-видимому, должно также отражаться на скоростях осаждения каждого из металлов. Действительно, изучение совместного осаждения молибдена и пикеля показало, что скорости восстановления ионов никеля и молибдена зависят от состояния поверхности электрода [60—62]. [c.113]

Как известно, сплав указанного состава (33% Мо - -67% N1) является одним из коррозионностойких сплавов, обладающих прочной пассивной пленкой. Естественно, что прекращение осаждения молибдена и никеля при таком составе сплава связано с пассивированием поверхности за счет адсорбции чужеродных частиц. На такой поверхности разряд ионов молибдена и никеля слишком затрудняется по сравнению с разрядом ионов водорода. [c.113]

Активирующая роль аммонийных солей была также установлена и при совместном осаждении молибдена с металлами группы железа [80]. Изучение процессов совместного осаждения молибдена с этими металлами показало, что получение сплава со сравнительно высоким содержанием молибдена возможно лишь благодаря активированию поверхности электрода. [c.193]

Наиболее полно изучены процессы газофазного осаждения молибдена и вольфрама и в меньшей степени других тугоплавких металлов. Достаточно полный перечень и анализ (в основном, зарубежных) работ, посвященных осаждению тугоплавких металлов, дан в монографии [11]. Среди отечественных работ необходимо прежде всего отметить [19, с. 59, 219 22, с. 295, 302, 323 400— 407], в которых изучены некоторые теоретические вопросы формирования покрытий и влияние условий осаждения на их структуру и свойства. [c.361]

Исследование влияния температуры медной подложки на скорость осаждения молибдена и качество покрытия при высокочастотной ионизации паров карбонила молибдена и наложении электростатического поля было выполнено на лабораторной установке, схема которой показана на рис. 109 [51 ]. Медная подложка [c.170]

Для сравнения осаждение молибдена проводили в условиях обычного термического разложения карбонила в электростатическом поле с различной полярностью на подложке и при одновременном наложении электростатического и высокочастотного поля. Результаты экспериментов приведены на рис. 110 и 111, на которых в зависимости от температуры подложки и других параметров показаны изменение скорости осаждения молибдена и его насыщенность углеродом и кислородом. [c.171]

На рис. 110 видно, что электростатическое поле на процесс осаждения молибдена существенного влияния не оказывает, однако целесообразно, чтобы катодом была подложка. Одновременное действие высокочастотного и электростатического полей существенно изменяет кинетику процесса осаждения максимум скорости осаждения смещается в область более низких температур на подложке и абсолютная величина скорости значительно возрастает. [c.171]

Рис. 110. Температурная зависимость скорости осаждения молибдена [5/]

Анодное окисление меди и ее сплавов, осаждение молибдена Меднение, серебрение [c.34]

Для осаждения молибдена рекомендуется расплав, содержащий эквимолекулярную смесь хлоридов калия и натрия и гекса-молибдат калия. Анод — молибден. Катодная плотность тока 3—10 А/дм температура расплава 750—800 °С. Твердость осажденного молибдена 1,70—2,30 ГПа. [c.588]

Свойства осадков. Покрытия, осаждаемые из газовой фазы, часто имеют более высокую адгезию к подложке, когерентность и температурную стабильность, чем осадки, получаемые другими методами. Адгезия может ухудшаться нз-за протекания паразитных реакций между металлом, находящимся в газовой фазе, и примесями в покрываемом материале Мвг (это наблюдалось, например, при осаждении молибдена на сталь [29]), а также в случае сильного различия коэффициентов термического расширения Mei и Мв2. Чистота реагирующих веществ может сказываться на чистоте слоя Мег. Размер кристаллов Mei уменьшается с повышением концентрации реагирующих веществ и с понижением температуры в реакционной камере. [c.391]

В настоящей работе изучено образование защитного покрытия из газовой фазы на графите при нагревании его токами высокой частоты. Покрытие наносилось путем осаждения молибдена на графите из галогенида молибдена при нагревании образца в высокочастотном газовом разряде. Затем проводилось силицирование покрытия из газовой фазы. [c.110]

На рис. 1 показана схема установки для осаждения молибдена на графите. Перед нагреванием образца из кварцевой трубки, помещенной в индуктор, откачивали воздух форвакуумным насосом до остаточного давления 1 мм рт. ст. Внутри трубки устанавливали кварцевый тигель, в котором находился галогенид металла. Измерение температуры поверхности образца проводилось при помощи вольфрамо-молибденовой термопары. [c.110]

Рис. 1. Схема установки для осаждения молибдена на графите.

Описанный способ получения силицидов молибдена на графите путем осаждения молибдена и последующего его силицирования из газовой фазы при нагревании токами высокой частоты позволяет значительно ускорить процесс нанесения равномерных покрытий. [c.114]

Сначала на ниобий или тантал наносят слой молибдена или вольфрама от 0,025 до 0,127 мм восстановлением их фторидов водородом. Затем осуществляют диффузионное насыщение кремнием. Хотя технология получения этих покрытий еще только начинает развиваться, она перспективна, поскольку силициды молибдена и вольфрама обладают лучшими защитными свойствами, чем силициды тантала и ниобия, и служат хорошими диффузионными барьерами, предотвращающими диффузию покрытия в основной металл. Во избежание появления водородной хрупкости осаждение молибдена и вольфрама проводили в кипящем слое йодидов. [c.215]

Из этого выражения следует, что при / > 1 S2 < 1. Электронномикроскопические исследования пленок молибдена на кварце, отожженных в вакууме в течение 15 мин, показали , что пленки имеют островковую структуру и при толщинах 600 А сплошность их еще отсутствует. Как отмечалось ранее, уже при этих толщинах смачивание пленки такое же, как и компактного материала конденсата, что и подтверждает теоретический вывод, следующий из выражения (4). В дальнейшем при увеличении количества осажденного металла растет S , однако вместе с этим происходит выравнивание рельефа (уменьшение /) и смачиваемость остается приближенно постоянной. Подставив в выражение (2) значение Wa, [c.26]

Металлические волокна (проволока). Волокна из металлов и их сплавов — бериллия, вольфрама, молибдена, стали, титана и др. получают различными методами. Наиболее распространенным из них является волочение, т. е. деформирование металла протягиванием катаных или прессованных заготовок через фильеру меньшего сечения. Известны и другие способы получения проволоки — гидроэкструзией, электрохимическим методом, вытягиванием из расплава, осаждением из газовой фазы, описанные в специальной литературе [27]. [c.42]

В данной работе исследовалось осаждение молибдена, вольфрама и железа в электростатическом поле путем высокочастотной ионизации паров соответствующих карбонилов и паров ферроцена. Для исследования применялась вакуумная камера (Р=10 мбар), внутри которой помещались индуктор и электроды (рис. 1). [c.90]

С возрастанием температуры скорость осаждения молибдена растет, а положение максимума и точки нулевого роста на кинетических кривых смещается в сторону более высоких концентраций MoFe в газовой смеси. [c.110]

Изменение скорости осаждения молибдена в области первого порядка реакции относительно концентрации MoFe в газовой смеси при температуре 500—700° С характеризуется значением энергии активации около 5,5 ккал/моль. При температурах выше 800° С скорость осаждения молибдена мало зависит от температуры, что характерно для условий, когда лимитирующей стадией процесса является диффузия реагентов к поверхности осаждения. В области нулевого порядка реакции относительно концентрации МоРб в газовой смеси при температурах выше 800° С кажущееся значение энергии активации процесса составляет 6 ккал/моль. При дальнейшем повышении содержания МоРб наблюдается постепенное увеличение кажущейся энергии активации от 6,0 до 50,0 ккал/моль. Аналогичное увеличение энергии активации наблюдается и при более низкой температуре осаждения. Отрицательная скорость осаждения или травление молибденового осадка является следствием протекания реакций взаимодействия с металлическим молибденом. [c.111]

Увеличение размера зерна с ростом скорости осаждения молибдена наблюдается при повышении температуры до 800°С, а также при изменении состава газовой смеси в области температур 800—1100° С. Наблюдавшиеся случаи снижения размера зерна с увеличением температуры выше 800° С объясняются повышением содержания посторонних примесей за счет коррозии аппаратуры и восстановления примесных элементов на поверхности осаждения (табл. 5.1). В условиях, когда на поверхности сформировавшихся зародышей осаждается трифто- [c.113]

Химически технеций, как и было предсказано [125, 69], стоит ближе к рению, чем к марганцу. Его гидроокись растворяется в растворах аммиака с образованием анионов и в растворах соляной кислоты или хлористого олова с образованием катионов. Катионный или анионный характер можно обнаружить по адсорбции на кислой или основной окиси алюминия [38]. Технеций отличается от марганца тем, что его сульфид не растворяется в разбавленных кислотах, он не осаждается с двуокисью марганца, его окись возгоняется при 400—500° С. Отделение от рения является более трудной задачей, чем отделение его от марганца. Частичного разделения можно достигнуть путем дробной кристаллизации калийных солей, а полного разделения можно достигнуть отгонкой при 200° С рения вместе с хлористым водородом из раствора в серной кислоте. В противоположность технецию, рутений вытесняется хлором из кипящего раствора. Для отделения технеция от материнского молибдена можно использовать реакцию осаждения молибдена с бензидином или оксином или же экстрагировать хлористый молибден эфиром. Полного отделения от металлической молибденовой мишени можно достигнуть путем [c.88]

Наиболее важную роль в процессе формирования осаждаемого покрытия играет температура подложки, которая прежде всего влияет на структуру осадка и прочность сцепления с подложкой. Повышенная температура благоприятствует получению мелкозернистых (часто аморфных) осадков с невысокой прочностью сцепления покрытия с основой, при этом структура подложки слабо влияет на форму осадков. При высоких температурах подложки образуются крупнокристаллические, ориентированные осадки, причем при определенных условиях возможно получение достаточно крупных монокристаллов. Прочность сцепления покрытий с подложкой с повышением температуры, как правило, возрастает. Однако малостабильные соединения проявляют в этих условиях тенденцию к разложению или восстановлению на значительном расстоянии от нагреваемой поверхности. В результате образуются плохо сцепленные с подложкой порошкообразные осадки или продукты разложения уносятся из зоны реакции прежде, чем произойдет осаждение. Этот эффект заметно проявляется при осаждении молибдена и вольфрама водородным восстановлением галогенидов, при осаждении окислов в смеси гало -генидов металлов, СО2 и Нд, при пиролизе карбонилов и карбонил-галогенидов ряда металлов. Для предотвращения этого нежелательного явления необходимо снижать температуру подложки или, что более эффективно, давление реакционной среды. В последнем случае повышается средняя длина свободного пробега молекул газа и практически прекращается конденсация нелетучих продуктов частичного восстановления или разложения. [c.360]

При помощи описанного прибора А. И. Кра-совским было показано, что молибден осаждается на свежей поверхности никеля примерно моноатомным слоем. В результате тысячекратного послойного осаждения никеля и молибдена в осадке было получено достаточное количество молибдена, чтобы подтвердить деполяризующее действие подкладки как основного фактора при осаждении молибдена. [c.204]

Экспериментально также была доказана возможность получения покрытия из MoSia на поверхности ниобия (рис. 103, б) путем осаждения молибдена на ниобии и последующего ионного силицирования по ранее описанной методике. [c.156]

Молибденовые пленки можно нанести на раскаленный чистый никель (рис. 3-3-7,/ и II), никелированное железо (рис. 3-3-7,///) или на сплав меди с содержанием 5—10% никеля путем термического разложения паров хлористого молибдена (МоСЬ) Эти пары образуются при 200 С и примешиваются в отношении I часть МоСЬ 10 частям Нг в поток водорода, омывающий под пониженным давлением металлическую поверхность, которую необходимо покрыть молибденом. Покрываемая молибденом деталь при этом помещается в кварцевую трубку и нагревается токами высокой частоты. При 900° С и давлении смеси газов 5 мм рт. ст. скорость осаждения молибдена равна 0,5 мм1ч. Наилучшее оцепление никеля и молибдена достигается при температуре осаждения 950° С. [c.66]

Влияние режимов на скорость осаждения молибдена на UO2 (Z)= 100140 мкм) из M0 I5 (скорость водорода 100 мл мин, температура сублиматора 200° С) [c.100]

Другое направление заключается в улучшении антифрикционных свойств поверхностей осаждением фосфатных пленок (фосфатирование), насышением поверхностного слоя серой (сульфидирование), графитом (графитирование), дисульфидом молибдена и др. При умеренной твердости такие поверхности обладают повышенной скользкостью, малым коэффициентом трения, высокой устойчивостью против задиров, заедания и схватывания. Эти способы (особенно сульфидирование и обработка дисульфидом молибдена) увеличивают износостойкость стальных деталей в 10 — 20 раз. применяют и сочетание обоих методов (например, сульфо-цианирование, повышающее одновременно твердость и скользкость поверхностей). [c.30]

Чрезвычайно важная и интересная задача — осаждение иридия на молибден. Технология покрытия молибдена заключается в следующем обезжиривание в ацетоне, затем химическое травление молибдена при температуре 80—90 °С в электролите из 100 г/л едкого натра и 100 г/л железистосинероднстого калия. При этом необходимо осуществлять непрерывное перемешиваиие. [c.73]

Для получения покрытия на основе алюминидов никеля, легированного тугоплавкими металлами, была разработана технология производства никель-алюминиевого порошка НА67Л путем совместного осаждения никеля, кобальта, хрома, молибдена и вольфрама на частицы алюминиевого порошка АСД-1Н. [c.112]

Адгезия к окислам металлов и металлических пленок, осажденных на окисную подложку, во многом определяется образованием химических соединений [3], в частности окислов [5, 10, 12L При исследовании тонких пленок молибдена и ванадия, напыленных на подложки SiOj и AlaOg, необходимо обратить внимание на возможность обнаружения на межфазной границе пленка — подложка окислов молибдена и ванадия соответственно. Однако в то время как металл обладает максимально возможным коэффициентом поглощения К Ю —10 смг ) в очень широкой области спектра от жесткого ультрафиолета и до радиоволн включительно, окислы в широких спектральных участках обладают значительно меньшим коэффициентом поглощения [14]. Поэтому сравнительно небольшие по интенсивности полосы поглощения окислов практически невозможно обнаружить на фоне мощного поглощения чистого металла. Лишь в определенных участках спектра, в которых начинаются собственные поглощения, обусловленные междузонными переходами, величина поглощения окисла может в какой-то мере приближаться к коэффициенту поглощения металла. Для обнаружения окислов молибдена и ванадия по оптическому пропусканию тонких пленок, напыленных на окисные подложки, необходимо было выбрать такой спектральный интервал, в котором происходит резкое изменение величины коэффициента поглощения окисла молибдена или ванадия) от сравнительно небольших значений до значений, близких к их металлическому поглощению. Только в этом случае можно обнаружить характерные спектральные изменения пропускания, которые будут указывать на наличие того или иного окисла. Так как при высоких температурах, начиная с 800° С и выше, стабильны только [c.19]

Изучались свойства КЭП с порошками дисульфида молибдена, диселенида ниобия, молибденита МВЧ-3, фталоцианина меди и графита различных марок, осажденных из различных электролитов. Состав электролитов и условия получения КЭП приведены в табл. 16. Сравнить свойства КЭП Си — графит и металлических материалов можно при рассмотрении рис. 49. [c.146]

Покрытие для внутренней поверхности стальных труб, обладающее самосмазывающими свойствами и имеющее постоянный коэффициент трения в диапазоне 20—260 °С, получают осаждением смеси дисульфида молибдена и оксидов серебра и меди. Частицы диспергированы в смеси, состоящей из глицерина и изопропанола (1 1). Градиент напряжения 10 кВ/м. Слой толщиной 90, мкм получают за 55 с, затем осадок восстанавливают в атмосфере водорода при 700 °С, в результате чего он [c.237]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...