ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Дефекты оксидные пленки Дефекты пассивной пленки на магнии Дефекты пленок покрытий Дефекты полимерных пленок Технология генерирования структурных дефектов и фоновых примесей цри эпитаксиальном выращивании пленок кремния