ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Методы химического осаждения из газовой фазы Осаждение Осаждение из газовой фазы Осаждение металлов в вакууме из паровой фазы Осаждение покрытий из газовой фазы Осаждение углеродных покрытий из газовой фазы П фазы Покрытия вакуумные нонно-плазмевные осаждения из газовой фазы Химическое осаждение из газовой фазы