ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Вакуумные покрытия Газовая фаза Нонен Осаждение Осаждение покрытий Осаждение покрытий из газовой фазы П фазы Покрытия вакуумные нонно-плазмевные Ф вакуумная Фазы осаждения