Вакуумная ионно-плазменная обработка

Вакуумные методы нанесения покрытий и модифицирования поверхности (электроннолучевой и ионно-плазменный методы, термоионное и катодное распыление, ионная имплантация и др.), а также электроискровое легирование и лазерная обработка основаны на использовании электрической энергии. Источники питания, как правило, являются специализированными и во многих случаях входят в состав установки для нанесения покрытий или обработки поверхности. [c.420]

Результаты исследований прочности при изгибе сосредоточенной нагрузкой различных инструментальных материалов после статистической обработки представлены в табл. 20 (влияние ионной бомбардировки процесса КИБ) и 21 (влияние вакуумно- плазменных покрытий КИБ). Анализ полученных результатов позволяет сделать следующие выводы. [c.85]

Вакуумная ионно-плазменная обработка 366,367 Верчение и трение при верчении 90, 122 Виброподготовка 113 [c.573]

Выбор установки для ионно-плазменной обработки определяется в соответствии с технологическими возможностями данной модели оборудования и решаемыми задачами. Промышленно освоенные модели [145] (табл. 8.2) в основном отличаются числом и расположением испарителей, формой и размерами вакуумных камер, а также скоростью осаждения ионно-плазменных потоков. Последовательность операций и параметры типового технологического процесса ионноплазменной обработки инструментальных материалов следующие. [c.251]

Весьма перспективно применение вакуумных ионно-плазменных методов — с ионным распылением и азотированием, методов КИБ, ПУСК, РЭП, распыление моноэнергетическими пучками ионов, с помощью магнетрон-ных распылительных систем. Износостойкие покрытия из нитридов, карбидов, окислов, сложных соединений, алмаза и др., а также антифрикционные покрытия из халькогенидов металлов, полимеров и других материалов наносятся при помощи реактивных методов с участием плазмо-химических реакций. Особенно перспективно применение указанных методов к прецизионным парам, насосам, топливной аппаратуре, газовым подшипникам, гидроприводу, точным направляющим и устройствам. Для обработки поверхностного слоя материала в целях повышения износостойкости используется ускоренный поток ионизированных атомов с энергией 100— 200 кЭВ в вакууме, с глубиной проникновения ускоренных ионов 0,1 мкм. Ионная имплантация применяется также для изменения триботехнических свойств, повышения коррозионной стойкости и прочности сцепления покрытия с основой. [c.200]

Суш,ествует много традиционных способов создания поверхностных слоев с повышенной износостойкостью [15, 27, 65. 68]. Наиболее широко применяются методы поверхностной закалки, поверхностного наклепа, различные химикотермические способы обработки (в первую очередь цементация и азотирование) и т. д. Все шире применяются методы, основанные на воздействии на поверхностные слои деталей потоков частиц (ионов, атомов, кластеров) и квантов с высокой энергией. К ним следует отнести в первую очередь вакуумные ионно-плазменные методы [26, 33, 34, 45, 71, 104] и лазерную обработку [16, 23, 38, 104]. Суш,ест-венио развились также способы осаждения покрытий из газовой фазы при атмосферном давлении и в разряженной атмосфере [1, 42, 54, 105]. Мош,ный импульс получило применение газо-термических методов нанесення покрытий в связи с развитием плазменных- [c.152]

В последнее время в микроэлектронике широко используют си-таллы. Для получения этого класса материалов в расплав, в котором приданных условиях центры кристаллизации отсутствуют, их искусственно вводят, например, в виде инородных частиц. Такие материалы обладают заранее заданными свойствами. Пластины из ситалла могут служить не только подложками, но и при тонкопленочной технологии коммутационными платами, на которые разводку наносят вакуумным термическим или ионно-плазменным напылением. Керамику обычно получают из смеси специально подобранных оксидов, которую термообрабатывают при высоких температурах, не доводя ее до плавления. Это значительно удешевляет технологический процесс, позволяет использовать оксиды, имеющие высокие температуры плавления, и предварительно до высокотемпературной обработки формовать изделия прессованием, литьем керамической массы и другими способами. [c.51]

Процесс вакуумно-плазменной обработки состоит из двух этапов. Первый этап - это ионная бомбардировка, второй - конденсация покрытия. Реализация указанных этапов обеспечивается технологическими параметрами процесса обработки, последовательность которого можно представить следующим образом бомбардировка подложки o yп e твляeт я ионами с энергией 1-2 кэВ. Одновременно осуществляется очистка поверхности от загрязнений и нагрев образца до тре- [c.249]

Необходимым оборудованием для радиационно-энергетической обработки твердо-сплавных режущих пластин и инструментов являются вакуумная термическая печь, установка для нанесения покрытий, ускоритель сильноточных ионных пучков. Выбор режимов термической, ионно-плазменной и ионно-лучевой обработки осуществляется в соответствии с известными и специально разработанными технологическими рекомендациями. Наиболее важные варьируемые параметры технологического процесса - состав и толщина наносимого покрытия, плотность тока сильноточного ионного пучка, а также режимы окончательной термической обработки износостойкого комплекса. Стабилизационный отжиг, являющийся окончательной технологической операцией, желательно проводить в условиях вакуума с контролируемой скоростью охлаждения, которая регулируется циркуляцией инертного газа. Режимы и вид предварительной термической обработки назначаются для каждой марки твердого сплава, исходя из задач его дальнейшей эксплуатации, определяемых условиями трибомеханического нагружения модифицированного инструмента в прогдессс пезаиня. [c.267]

Выбор способа химико-термической обработки обусловлен не только требованиями, предъявляемыми к поверхностному слою, но и температурой, прн которой выполняется эта обработка, и теплостойкостью стали. Наиболее универсальными и эффективными методами упрочнения поверхностного слоя инструментов из быстрорежущих сталей является жидкое цианирование, карбонитрация, ионное азотирование и вакуумно-плазменное нанесение износостойких покрытий. Основные способы химико-термической обработки, применяемые в качестве заключительной операции для повышения стойкости инструментов из быстрорежущих сталей, приведены в табл. 18. [c.613]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...