Микроинтерферометры для измерения шероховатости поверхности

МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ [c.183]

Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности (рис. 121) был впервые разработан В. П. Линником. Входной зрачок Ь расположен в фокальных плоскостях одинаковых микрообъективов Ох и Оа- Зеркала 3 и За, из которых 3 является исследуемой поверхностью, находятся в передних фокальных плоскостях объективов Ох и Оа. [c.183]

Микроинтерферометры применяют для измерения шероховатости поверхности по параметрам Ка и Кг. Оптическая схема (рис- 140,а) представляет собой сочетание интерферометра и микроскопа. Свет из осветительного [c.176]

Наряду с контактными приборами могут быть рекомендованы бесконтактные оптические приборы, основанные на принципе светового сечения (ПСС), теневой проекции (ПТС) и интерференции света (МИИ), изготовляемые по ГОСТ 9847—79. В настоящее время промышленность выпускает также оптические приборы для измерения шероховатости поверхности микроинтерферометры МИИ-4, МИИ-9, МИИ-10, МИИ-12, двойной микроскоп МИС-11, двойной микроскоп ПСС-2, прибор теневого сечения ПТС-2. [c.49]

Микроинтерферометры используют для измерения шероховатости поверхностей 10—14-го классов чистоты по показателю R . В поле зрения прибора наблюдаются искривленные интерференционные полосы соответственно профилю микронеровностей на рассматриваемом участке поверхности. Высота этих искривлений измеряется окулярным микрометром при увеличении в 490 раз. Фотографирование производится при увеличении в 290 раз. Незна- [c.175]

Микроинтерферометры (МИИ-4) используют для измерения шероховатости поверхностей Яг = 0,025 0,6 мкм. Интер( рен-ционные полосы искривляются соответственно профилю микронеровностей на рассматриваемом участке поверхности. Высоту этих искривлений измеряют окулярным микрометром при увеличении в 4% раз. Фотографирование производят при увеличении в 290 раз. Микроинтерферометры применяют при лабораторных исследованиях и производственном контроле прецизионных деталей. [c.132]

Отечественная промышленность выпускает микроинтерферометр МИИ-10, являющийся разновидностью МИИ-4 со специально пониженной чувствительностью. Он предназначен для измерения шероховатости сравнительно грубых поверхностей с параметрами шероховатости Яа от 2,5 мкм до 0,04 мкм. В МИИ-10 контролируют не саму поверхность, а ее отпечаток (реплику) на прозрач- [c.151]

Микроинтерферометр МИИ-4 В. П. Линника предназначен для лабораторных измерений шероховатости поверхностей 10— 14-го классов Метод измерений основан на использовании явлений интерференции. [c.136]

Для более гладких поверхностей служат приборы типа МИИ, т. е. микроинтерферометры, действие которых основано на принципе интерференции света. Они пригодны для измерения шероховатости с О по 14-й класс. Для этой же цели могут быть использованы и выпущенные ранее приборы для определения чистоты обработки по ГОСТу 2789—51. К наиболее употребительным приборам могут быть отнесены профилометр ПЧ-3, позволяющий производить измерения от 5 до 12-го класса, двойной микроскоп МИС-11, дающий замеры классов от 3 до 9-й, и микроинтерферометр МИИ-4 для измерений классов с 10 по 14-й. Все они после небольшой реконструкции могут быть использованы для определений чистоты по ГОСТу 2789— 59. [c.23]

При стандартизации размерных рядов неровностей поверхности в начале использовали Rq (или Я к) — среднее квадратическое отклонение профиля неровностей от его средней линии (США) и Ra —> среднее арифметическое, точнее, среднее абсолютное отклонение его от той же линии (Англия). Эти параметры измеряли электромеханическими профилометрами возможно потому, что они представляют собой хорошо известные в электротехнике эффективное и среднее значения функций, а также статистические характеристики, подходящие для описания рассеивания случайной ординаты профиля относительно ее среднего значения, за которое в данной ситуации была принята средняя линия. Позднее, повсеместно, а также в международном масштабе, был принят параметр Ra из соображений, приведенных выше. Сохранившийся до настоящего времени параметр Ra используют с начала 40-х годов, т. е. более 30 лет. Для измерений оптическими приборами (двойными микроскопами и микроинтерферометрами) параметр Ra не подходит, так как требует трудоемких вычислений. Поэтому применительно к этой категории средств измерений неровностей принимали различные модификации характеристик общей высоты неровностей, такие, как R max — максимальная на фиксированной длине высота неровностей (ранее обозначавшаяся через Я а с). Яср — средняя высота неровностей и Rz—высота неровностей, определяемая по 10 точкам профиля. Для сопоставимости результатов измерений и однозначности стандартизуемых величин потребовалось выделить шероховатость из общей совокупности неровностей поверхности. Это сделали путем установления стандартного ряда базовых длин, полученного из рядов предпочтительных чисел. Значения параметров определяют на соответствующих базовых длинах. Неровности с шагами, превышающими предписанную базовую длину, в результат измерений шероховатости не входят, и стандартизация шероховатости поверхности на них не распространяется. [c.59]

Для бесконтактного измерения шероховатости применяют двойной микроскоп МИС-11 (Нг = 1,6. .. 80 мкм), микроинтерферометры МИИ-4 и МИИ-11 (Нг = 0,05. ... .. 1 мкм), МИИ-100 (для оценки шероховатости в труднодоступных местах по отпечатку поверхности) и другие оптические приборы. [c.165]

Для измерения параметров шероховатостей поверхностей высокой чистоты и толщин пленок микросхем, применяют многолучевые интерференционные микроскопы. Отличительной особенностью этих приборов является применение многолучевой интерференции, позволяющей повысить точность и чувствительность измерений. Так, например, многолучевой микроинтерферометр МИИ-11, выпускаемый Ленинградским ордена Ленина оптико-механическим объединением, дает возможность измерять высоту неровностей и толщину пленок от 50 до 10 А. В этом приборе многолучевая интерференция достигается применением стеклянных пластин, одна сторона которых покрыта тонкой пленкой, обладающей избирательным отражением света. При наложении такой пластины на исследуемую поверхность и освещении монохроматическим светом в зазоре между ними происходит многократное отражение лучей, достигших исследуемой поверхности. В результате этого возникает явление многолучевой интерференции, которое наблюдается в окуляре микроинтерферометра. Неровности исследуемой поверхности изгибают (деформируют) интерференционные полосы. Окулярным микрометром измеряют величину изгиба и по формуле (6.8) определяют высоту неровностей или толщину пленки. [c.132]

Ввиду большой трудоемкости измерения оптические приборы применяются в основном для выборочного контроля отливок. Для оценки поверхности отливок с низкой шероховатостью можно использовать микроинтерферометры. Параметры некоторых типов микроинтерферометров приведены в табл. 15. [c.503]

Профилографами называются приборы, регистрирующие (запи-сываюпще) показатели чистоты поверхности на графике. Приборы Левина ИЗП-17 и Аммона основаны на онтико-механических принципах. Перемещение иглы через систему пружин вызывает поворот зеркала. Луч от лампочки попадает на зеркало и, отражаясь в виде зайчика, попадает на шкалу прибора или на фотобумагу, при помощи которой регистрируется профиль шероховатостей (фиг. 117). Эти приборы применяют для измерения шероховатости поверхности достаточно твердых металлов, которые могут выдерживать давление иглы. Для измерения чистоты деталей из мягких металлов применяют микроинтерферометр акад. Линника. [c.138]

Для измерения высоты микронеровностей и отнесения обработанной поверхности к тому или иному классу чистоты применяются специальные приборы двойной, микроскоп Линника, микропрофилометры, микроинтерферометры и др.), а также эталоны шероховатости (для оценки поверхности методом сравнения). Измерение шероховатости поверхности должно производиться в направле- [c.71]

Так как щуповые профилометры, как правило, обеспечивают надежное измерение шероховатости поверхности со значениями Яа только выше 0,02— 0,08 мкм, то в настоящее время одним из основных средств для исследования чистых поверхностей являются микроинтерферометры. [c.489]

К оптическим приборам относятся двойне 1 ммкроскоп МИС-11 и микроинтерферометр МИИ-4 академика В. П, Лин> ча. Для измерения шероховатости труднодоступных внутренних поверхностей, поверхностей деталей без снятия их со станка применяют иммерсионно-репликовый интерферометр МИИ-10. На приборе рассматривают не саму обработанную поверхность, а ее отпечаток (реплику). [c.566]

Микроинтерферометр типа ММИ-10 ГОСТ 9847-61 Для иммерсионно-реплико-вого и непосредственного измерения. Пределы измерения шероховатости поверхности Ra = 0,160- -- -0,010 мкм чувствительность метода 0,015 мкм. Увеличение 500 , 700. Поле зрения 0,32 мм 0,20 мм [c.211]

Для измерения шероховатости труднодоступных и внутренних поверхностей, а также на деталях без снятия их со станка применяется иммерсионно-реилнконый микроинтерферометр МИИ-10. На приборе рассматривается не сама поверхность, а ее отпечаток (реплика). [c.340]

МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР — интерференционный прибор для исследования шероховатости поверхностей, для измерения толщины цленок, малых переме- [c.230]

Из всей совокупности погрешностей поверхности наиболее важной для обрабатываемости металлов и сплавов методом ЭХО является щероховатость. При анализе состояния шероховатости после ЭХО необходимо исходить из деления шероховатости на наследственную, являющуюся результатом сглаживания ранее полученного микрорельефа, и стабильную, обусловленную только режимом ЭХО и свойствами обрабатываемого материала. Для шероховатости после ЭХО (стабильной) характерно отсутствие направленности следов обработки. Нерегулярный характер интерференционной картины после ЭХО и отсутствие направленности следов обработки не позволяют пользоваться микроинтерферометром и двойным микроскопом МИС-11. Измерение шероховатости после ЭХО производят щуповыми приборами, в частности профилометром-профилографом модели 201. [c.39]

Приборы светового сечения (ПСС) называют двойными микроскопами (МИС-11 системы В.П. Линника). Они позволяют измерять шероховатость поверхности до 2 0,8 мкм.Для измерения более чистых поверхностей с Л2 0,8...0,03 мкм применяют микроинтерферометры (МПИ-4 МИИ-5 МИИ-10 МИИ-12), работающие на принципе интерференции света. Поверхность образца (детали) рассматривается в микроскоп и при этом на ее изображение накладываются интерференционные полосы, по искривленшо которых судят о распределении неровностей. Если бы контролируемая поверхность была идеально плоской, то на ней возникли бы прямые параллельные интерференционные полосы. Микронеровности на поверхности изменяют ход лучей и вызыва- [c.46]

Тонкпй слой серебра весьма четко проявляет структуру лежащей под ним поверхности глазури очень наглядно выступают все дефекты поверхности мпкротрещины, посторонние включения, шероховатости, следы разрядов (для высоковольтных фарфоровых изоляторов) и пр. Структура посеребренной поверхности глазури изучается так же, как и структура металлических поверхностей, с помощью двойного микроскопа Линника, поляризационного микроскопа, микроинтерферометра Линника, а также путем измерения коэффициентов отражения на различных рефлексометрах. [c.159]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...