Микроинтерферометр многолучевой

Схема многолучевого микроинтерферометра показана на рис. 11. Свет от источника / (ртутная лампа низкого давления, дающая монохроматическое излучение, выделяемое фильтром 10) через диафрагму 2 проходит конденсор 3 и параллельным пучком падает на полупрозрачное зеркало 4. После отражения пучок проходит пластину 5, накладываемую на объект 6 под малым углом (0. Ее нижняя сторона покрыта слоем вещества с коэффициентом отражения, близким к коэффициенту отражения контролируемой поверхности. [c.69]

Таково назначение многолучевого микроинтерферометра МИИ-11, показанного на рис. 25. [c.99]

Метод интерференционного контраста. Небольшие изменения микрорельефа поверхности можно обнаружить с помощью интерференционного микроскопа или, микроинтерферометра. Последний прибор позволяет, кроме того, количественно оценивать изучаемый рельеф, что особенно важно для исследования структурного механизма пластической деформации. Используют методы двухлучевой и многолучевой интерферометрии. В первом случае (интерферометр Линника) свет от источника Ь расщепляется полупрозрачной пластинкой Т на два пучка (рис. 1.7). Один пучок, отраженный от [c.27]

Приборы, основанные на определении смещения или формы интерференционных полос, образованных в воздушном клине между двумя частично пропускающими зеркальными поверхностями малого размера, называют многолучевыми микроинтерферометрами. Они предназначены для измерений толщины тонких пленок, малой неплоскостности поверхностей и малых линейных перемещений. [c.152]

Многолучевые микроинтерферометры построены на использовании отраженного света, поскольку наиболее распространенными являются непрозрачные объекты измерения. [c.153]

В результате многолучевой интерференции в отраженном свете в поле зрения видны узкие черные полосы на светло-желтом или светло-зеленом фоне (см. рис. Н1.17, а). При такой картине глаз наблюдателя может заметить искривление или смещение полос, равное 0,02 расстояния между полосами, что соответствует изменению исследуемой величины на 0,005 мкм. Эта величина принимается за чувствительность многолучевого микроинтерферометра. [c.153]

Основным недостатком многолучевых микроинтерферометров по схеме Физо является малая апертура объектива микроскопа. Объектив большой апертуры нельзя применять в этой схеме потому, что он имеет малый рабочий отрезок и в его пределах нельзя разместить эталонную пластинку. Малая же апертура объектива дает низкую разрешающую способность, поэтому МИИ-11 нельзя применять для точных измерений микронеровностей, шаг которых меньше предела разрешения. [c.155]

Для измерения параметров шероховатостей поверхностей высокой чистоты и толщин пленок микросхем, применяют многолучевые интерференционные микроскопы. Отличительной особенностью этих приборов является применение многолучевой интерференции, позволяющей повысить точность и чувствительность измерений. Так, например, многолучевой микроинтерферометр МИИ-11, выпускаемый Ленинградским ордена Ленина оптико-механическим объединением, дает возможность измерять высоту неровностей и толщину пленок от 50 до 10 А. В этом приборе многолучевая интерференция достигается применением стеклянных пластин, одна сторона которых покрыта тонкой пленкой, обладающей избирательным отражением света. При наложении такой пластины на исследуемую поверхность и освещении монохроматическим светом в зазоре между ними происходит многократное отражение лучей, достигших исследуемой поверхности. В результате этого возникает явление многолучевой интерференции, которое наблюдается в окуляре микроинтерферометра. Неровности исследуемой поверхности изгибают (деформируют) интерференционные полосы. Окулярным микрометром измеряют величину изгиба и по формуле (6.8) определяют высоту неровностей или толщину пленки. [c.132]

Многолучевая интерференция и многолучевой микроинтерферометр МИИ-И. Многолучевая интерференция возникает за счет многократного отражения когерентных пучков света в клинообраз-йой пластине по схеме Фабри и Перо (свет падает под углом <0 = 1-ьЗ ). При этом получение узких контрастных полос обусловливается тем, что при сложении N когерентных пучков образуется не по одному максимуму и минимуму освещенности (Как это имеет место при двухлучевой интерференции), а на М максимумов приходится Л —1 минимумов освещенности. Из макси- [c.97]

Интерференционные измерения беспорядочных неровностей поверхности. Микропрофилометр МИИ-12. Рассмотренные выше двухлучевые и многолучевые микроинтерферометры предназначены для измерения неровностей поверхностей с преимущественным направлением следов обработки. [c.99]

Микроинтерферометр модели МИИ-И —многолучевой прибор, в котором т-терференционная картина возникает в результате многократных отражений в возд> ш-вом клине, образованном поверяемой поверхностью и интерференционной пластин- [c.351]

МИКРОСКОП ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ — микроскоп, применяемый для изучения микрорельефа поверхностей обработанных металлич. деталей (см. Микроинтерферометр) и для изучения биологич. объектов. Существует ряд схем биологич. М. и., основанных на двухлучевой или многолучевой интерференции и на интерференции поляризованных лучей. Принцип действия любого биологич. М. и. состоит в том, что каждый луч, входящий в микроскоп, раздваивается, причем один из пих проходит сквозь наблюдаемую частицу, а второй — мимо препарата по особой, второй ветви микроскопа или совместно с первым лучем, но через иную точку препарата, не содержащую наблюдаемой частицы. В окулярной части М. и. оба луча вновь соединяются и интерферируют между собой. Результат интерференции зависит от разности хода б, к-рая выражается ф-лой б = Ш.— = ( о — ш) Л, где Ио, п,п — показатели преломления частицы и окружающей среды, (1 — толщина частицы, N — порядок интерфереиции, Я — длнна волны свота. [c.239]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...