ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Микроинтерферометры для измерения шероховатости поверхности из "Лабораторные оптические приборы " Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности (рис. 121) был впервые разработан В. П. Линником. Входной зрачок Ь расположен в фокальных плоскостях одинаковых микрообъективов Ох и Оа- Зеркала 3 и За, из которых 3 является исследуемой поверхностью, находятся в передних фокальных плоскостях объективов Ох и Оа. [c.183] Радиус поля зрения в пространстве предметов = 0,15 мм. [c.185] Подставив соответствующие значения, получим, что Dsx. don = 1,55 лш. [c.185] Таким образом, можно наблюдать контрастные интерференционные полосы лишь на участке 0,02 мм в центральной части поля зрения. Следовательно, схема интерферометра с наклоном одного из зеркал является неудачной. [c.186] В схеме, приведенной на рис. 121, б, интерференционная картина образуется вследствие эксцентричного смещения оптической оси объектива 0 относительно оптической оси объектива О . В этом случае а = 2с, где с — величина эксцентрицитета. При вращении микрообъектива 0. относительно оптической оси объектива зрачок и описывает окружность относительно неподвижного зрачка L[ и интерференционная картина вращается одновременно с вращением микрообъектива. Изображение зеркала 3 совпадает с плоскостью зеркала 3i (/г = 0) и поэтому интерференционная картина наблюдается контрастной во всем поле. [c.186] Вполне ясно, что такое смещение объектива легко осуществить. Преимущество второй схемы интерферометра очевидно. Промышленность выпустила много образцов микроинтерферометров. Остановимся на приборе МИИ-4, принципиальная оптическая схема которого изображена на рис. 122. [c.186] Интерференционная схема не требует пояснений, так как она соответствует рис. 121, б. Рассмотрим схему микроскопа прибора. [c.187] Из рис. 122 видно, что осветнтетьная система построена по схеме нормального освещения, а сам микроскоп состоит из микрообъектива с тубусом бесконечность , ахроматической линзы и винтового окулярного микрометра. [c.188] Первый член Л от р не зависит. Второй член Вр в центре поля при р = О не дает разности хода, а вне центра поля зависит от знака р. Поэтому он определяет ориентировку полос, но не влияет на их форму. На искривление полос оказывает влияние третий член разложения СР . [c.189] В интерферометре МИИ-4 величина 2р (2р 3°12 ) мала. Следовательно, в сечении, перпендикулярном плоскости рисунка, величиной угла Р можно пренебречь и считать, что угол падения лучей одинаков для всех точек поля и равен i -г Щ поэтому и возникает астигматическая разность mg — (рис. 123, б). Наличие астигматической разности ограничивает возможность компенсации разности хода в стекле путем наклона компенсационной пластины. [c.189] Если принять допустимую величину разности — mi = полосы, то = 1,3°. В этом случае dA — 0,08 мм. [c.189] Вернуться к основной статье