Электростатические отклоняющие поля

Электростатические отклоняющие поля [c.581]

Аберрации отклонения можно рассматривать аналогично аберрациям осесимметричных линз (см. гл. 5). Однако вследствие более сложных условий симметрии выражения для этих коэффициентов аберрации более громоздкие, а также необходимо большее число коэффициентов. В литературе дана исчерпывающая информация о различных подходах к вычислению аберраций отклонения магнитных [372, 373], электростатических [374] и комбинированных [16, 51Ь] дефлекторов. Были опубликованы выражения для аберраций при наложении магнитных осесимметричных и отклоняющих полей [375], последние распространены на релятивистский случай комбинированных электростатических и магнитных фокусирующих и отклоняющих систем [376]. [c.587]

В этой короткой главе было дано введение в системы отклонения пучка. Вначале было рассмотрено сканирующее отклонение. Были выведены выражения как для электростатических, так и для магнитных отклоняющих полей. Было показано, что стигматическая фокусировка поддерживается при малых отклонениях. Была выведена теория аберраций для комбинированных электростатических и магнитных мультипольных линз и дефлекторов. Заключают главу краткий обзор электростатических и магнитных призм и предложение исследовать необычные виды симметрий. [c.598]

Мы рассмотрели основные законы движения заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Сначала мы определили лагранжиан частиц (уравнение (2.15)). Закон сохранения энергии позволил представить скорость частицы в виде функции потенциала (уравнение (2.31)). Затем были получены релятивистские уравнения движения (2.50) — (2.52) в обобщенной ортогональной криволинейной системе координат. Были рассмотрены частные случаи уравнений движения в декартовой (уравнения (2.53) — (2.55) и цилиндрической (2.60)—(2.62) системах координат. Уравнения движения были затем преобразованы в траекторные уравнения (2.76) —(2.77), (2.80), (2.81) и (2.84) — (2.85) соответственно. Мы ввели релятивистский потенциал (уравнение (2.89)) и показали, что он позволяет использовать нерелятивистские уравнения в магнитных полях даже в случае высоких энергий частиц. Затем был введен электронно-оптический показатель преломления (соотношение (2.92)) и установлены аналогии между геометрической оптикой, с одной стороны, и электронной и ионной оптикой, — с другой. Были определены траектории частиц в однородных электростатическом и магнитном полях посредством точного решения траекторных уравнений. В качестве практических примеров рассмотрены плоские конденсаторы, длинные магнитные линзы, электростатические и магнитные отклоняющие системы, простые анализаторы масс и скоростей. Наконец, были приведены законы подобия электронной и ионной оптики (соотношения (2.183) — (2.188) и (2.190)). [c.63]

Соотношение (3.32) аналогично (3.21), и обозначение Оо сохраняется только для того, чтобы отделить этот случай от аксиально-симметричного. Величина Оо обозначает распределение потенциала в плоскости хг, что эквивалентно распределению потенциала вдоль оси г, так как потенциал не зависит от х. 1 1 представляет собой поперечную компоненту поля вдоль этой же оси (с отрицательным знаком), и в случае электростатического поля это не что иное, как отклоняющая компонента. Таким образом, произвольное планарное поле полностью определяется соответствующими аксиальными распределениями потенциала и отклоняющей компоненты поля. [c.71]

Это означает, что только нечетные члены, содержащие у, остаются в соотношении (3.31). Поэтому (за исключением распределения потенциала в плоскости антисимметрии) в разложении остаются только отклоняющие компоненты. В случае электростатического поля это чисто отклоняющее распределение потенциала. Простейшим примером антисимметричного поля является плоский конденсатор, показанный на рис. 5 уг — плоскость антисимметрии). [c.72]

В соответствии с приведенной выше классификацией будем рассматривать два этих основных случая отдельно. Должно быть ясно с самого начала, что для отклонения можно применить множество различных типов симметрии. Следовательно, нужно ограничиться несколькими простыми случаями, особенно теми, которые чаще всего встречаются на практике. Простейшими отклоняющими системами являются однородные электростатические и магнитные поля. Они уже обсуждались в разд. 2.7.1.1 и 2.7.2.2 соответственно. К сожалению, чисто однородные поля на практике реализовать невозможно вследствие присутствия контурных полей на физических границах электродов или магнитных полюсов. [c.580]

Теперь рассмотрим электростатическое поле, отклоняющее в направлении у. Необходимо такое поле, для которого плоскость XZ является плоскостью антисимметрии, а плоскость г/г — плоскостью симметрии. [c.581]

Отклонение электронного луча (развертка) у большинства видиконов осуществляется электромагнитным полем отклоняющей катущки. Однако у некого-рых имеет место электростатическое отклонение луча. Электростатическое и смешанное (электростатическое и электромагнитное) управление лучом позволяет снизить массу, габаритные размеры и энергопотребление телевизионной аппаратуры. [c.233]

Наиб, распространение в Э.с. получили энергоанализаторы электростатического типа с тормозящим или отклоняющим полем. Квазисферич. сеточные анализаторы с тормозящим полем позволяют, кроме анализа электронов по энергиям, визуализировать угл. распределения эмитируемых электронов на коллекторе, для этого его покрывают люминофором (напр., в дифракц. методах исследования). В случае отклоняющего поля преим. используют анализаторы типа цилиндрич. зеркала и секторные со сфе-рич. полем. С их помощью исследуют и пространств, распределения электронов во всём диапазоне их энергий. Специфика регистрирующей аппаратуры обусловлена тем, что структура энергетич. спектров наблюдается на непрерывном фоне, часто превосходящем её по величине, и задача состоит в вьщелении этой структуры и её измерении. В разработанной аппаратуре используется как аналоговая, так и цифровая техника в сочетании с ЭВМ (в частности, для увеличения отношения сигнал/фон широко применяется аналоговое дифференцирование спектра с помощью синхронного детектирования). Предложены способы полного Удаления фона. В случае цифровой техники часто применяют способ, основанный на использовании многоканального анализатора, работающего в режиме многоканального счётчика. [c.554]

Существует бесконечное разнообразие различных сочетаний типов симметрий. Соотношения (3.19) и (3.27) включают все возможные случаи. Например, электронная или ионная оптическая колонна, используемая для микротехнологии ИС, может состоять из электростатических и (или) магнитных аксиальносимметричных и мультипольных линз, дефлекторов, бланкирую-щей системы, масс-анализатора и т. п. Кроме того, необходимо принять во внимание возможные отклонения от симметрии, вызванные разъюстировкой и дефектами сборки. Таким образом, если мы хотим рассмотреть всю колонну в целом или только совокупность аксиально-симметричных линз и двух взаимно перпендикулярных отклоняющих полей, необходимо начать с полученных общих выражений. Ниже будет видно, как наличие различных типов симметрии приводит к существенному упрощению этих соотношений. [c.69]

Генерирование электронов и формирование пучка происходит в электронном излучателе, или электронной пушке (рис. 5). Излучатель состоит из электростатической системы, включающей катод /, фокусирующий электрод 2 и анод 3, и магнитной системы, которая содержит фокусирующую катушку 4 и отклоняющие катушки 5, осуществляющие перемещение пучка в двух взаимно перпендикулярных направлениях — в поперечном (центровка пучка на образце) и продольном (развертка пучка вдоль образца 6). Для достижения равномерной температуры по рабочей длине образца развертка осуществляется по специальной программе, предусматривающей задержку пучка на крнцах образца с целью компенсации тепловых потерь через захваты. На рис. 6 показана форма тока в отклоняющих катушках в функции времени, обеспечивающая равномерное температурное поле на образце. Изменение временной за- [c.288]

Электронная оптика основана на фокусирующем действии магнитного (или иногда электростатического) поля, симметричного относительно оси, на пучок электронов, расходящихся из одной точки, не слишком удаленной от оси поля и под небольшими углами к этой оси. Ограничение углов и расстояний от оси вызвано несовершенством электронных линз и обеспечивается серией диафрагм. Аксиштьносимметричное магнитное поле большой напряженности и малой протяженности вдоль оси получают путем выведения магнитного потока из железного панцыря, целиком охватывающего многослойный соленоид, в узкий кольцевой зазор во внутреннем канале панцыря. Магнитное поле у зазора панцыря и играет роль линзы, отклоняющей электроны тем сильней, чем дальше от оси линзы они проходят. [c.31]

Масс-спектрографы — это чаще всего уникальные, сложные приборы с фокусировкой ионных пучков по энергиям в электрическом поле и по направлению в магнитном поле, обладающие разрешающей способностью MJts.ni от 10 000 до 500 000. Высокая разрешающая способность у этих приборов достигается с помощью ионнооптических систем с двойной фокусировкой, позволяющих получить минимальные хроматические и сферические аберрации, а также благодаря применению высокостабильных электронных схем, питающих ионный источник, отклоняющие электростатические системы и катушки диспергирующего электромагнита. Точность определения относительных атомных масс методом измерения дефекта массы изотопных дублетов на лучших [c.6]

Для получения ионных пучков, содержащих определенный элемент, выполняют сепарацию общего потока, осуществляя взаимодействие движущихся ионов с магнитным и электрическим полями, с одновременным воздействием постоянного и переменного электрических полей. По скоростям поток фильтруют с помощью электростатических анализаторов. Разделение пучка осуществляют с помощью секторных магнитных систем, отклоняющих пучок на 60 или 90°. Разделительная способность секторных магнитов не уступает разделительной способности 180 -ных магнитов. Чтобы разделить ионы по массе, используют фильтр Винна — устройство со скрещенными ортогонально магнитным и электрическим полями. В некоторых масс-спектромет-рах и сепараторах применяют квадрупольные [c.442]

Измерение амплитуд записанных сигналов сопровождается сравнительно высоким уровнем погрешностей из-за неточности отсчета, изменения коэффициента усиления усилителя осциллографа и непостоянства чувствительности трубки. Неточность отсчета вызвана усадкой фотоматериалов, толщиной линии записи и другими причинами, сопровождающими фотозапись. Кроме того, имеется ряд причин, специфических для электронного осциллографа среди них наиболее значима погрешность отсчета, обусловленная кривизной экрана трубки. Для различных конструкций трубки эта погрешность различна и колеблется в пределах от 3 до 6% при максимальных отклонениях луча. Погрешности, вызванные изменениями коэффициента усиления усилителя, могут быть уменьшены введением обратных связей и стабилизацией источников питания. Чувствительность трубки изменяется во времени вследствие изменения питающих напряжений кроме того, она различна в различных частях экрана. Чувствительность на краю экрана всегда меньше, чем в центре, из-за краевого эффекта электростатического поля отклоняющих пластин, несимметричности соединения отклоняющих пластин относительно заземления, наличия конечной емкости у отклоняющих пластин и пр. Падение чувствительности на краю экрана достигает 0,5—1,0%. [c.155]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...