Рентгеновская интерферометрия

Рве. 3. Рентгеновский интерферометр Бонзе — Харта, [c.348]

Крылова И, О. Рентгеновские интерферометры для измерения амплитуд перемещения от 10-2 до IQ2 нм. — Труды метрологических институтов СССР, 1976, вып. 192 (252), [c.211]

Фиг. 15.1. Схема рентгеновского интерферометра, полученного вырезанием трех параллельных связанных слоев из большого почти совершенного кристалла кремния.

Разработаны методы, в которых рентгеновский интерферометр сочетается с оптическим так, что для измерения одних и тех же смещений кристалла используются оба вида излучения. Это означает, что рентгеновские длины волн и параметры решетки кристалла можно рассматривать как фундаментальные стандарты длины, определенные с помощью длин волн отдельных оптических спектральных линий, что дает возможность повысить абсолютную точность этих величин на несколько порядков . [c.335]

В случае рентгеновских лучей периоды осцилляции интенсивности порядка сотен микрометров. Измерения можно проводить на малоугловых клиньях, вырезанных из почти совершенных кристаллов, с помощью метода рентгеновской топографии, проиллюстрированного на фиг. 9.8 [249]. Однако в случае рентгеновских лучей большую точность, надежность и удобство обеспечивает секционная топография (гл. 9). Обзор экспериментов такого типа дал Като [252]. Он установил, что точность определения абсолютных значений структурных амплитуд, полученных таким путем, может быть - 1%, а относительные значения можно получать с точностью Еще большая точность достигается при измерениях с помощью рентгеновских интерферометров. Так Харт и Милн [177 ] оценили точность своих измерений структурного фактора для отражения (220) кремния по интерференционным полосам (которые возникают, когда небольшой нерассеивающий зазор разделяет две толстые совершенные параллельные области монокристалла) примерно в 0,2%. [c.340]

Представляет интерес исследование возможности дилатометрических исследований при помощи рентгеновского интерферометра. Предполагается, что он позволит измерять относительное изменение межплоскостного расстояния с точностью порядка 10 [c.83]

Неразрушающие методы контроля можно подразделить на визуальные (оптические, проникающие жидкости, лазерная голография) термические (с использованием инфракрасного излучения и жидких кристаллов) методы проникающего излучения (рентгеновские, изотопные) электромагнитные методы (вихретоковые, микроволновые, диэлектрические) и акустические методы (ультразвуковой, акустическая интерферометрия, акустическое излучение). [c.257]

На пленках сегнетоэлектриков рядом авторов проведены структурные, оптические и диэлектрические исследования. Толщина пленки обычно определяется по весу, принимая в случае ВаТЮз плотность р = 5,5 г/см . Для определения толщины тонких прозрачных монокристаллических пленок применяется интерферометр. Для установления относительного содержания элементов в пленке применяют рентгеновский спектроскопический [c.302]

В п. 3 мы уже касались интерференционных измерений шероховатости тонких пленок в процессе их осаждения. Они проводились во многих лабораториях на различных материалах 125, 261. В работе [65] те же образцы изучались на сканирующем электронном микроскопе для независимого и.змерения шероховатости поверхности. Результаты, полученные обоими методами — интерферометрией и электронной микроскопией, хорошо коррелировали. Кроме того, результаты рентгеновских исследований одних и тех же материалов, проведенных в различных лабораториях, хорошо согласуются. Поскольку в большинстве случаев это были пленки, нанесенные на подложки, то при обработке результатов предполагалось, что результирующая шероховатость описывается [c.440]

Использование методов голографии и голографической интерферометрии в технологии позволяет решать задачи неразрушающего контроля качества изделий, а также осуществлять дефектоскопию изделий в ультразвуковом и рентгеновском диапазонах. Восстановление ультразвуковых голограмм в световом диапазоне позволяет сравнительно просто визуализировать внутреннее строение и дефекты контролируемых изделий, устраняя основную трудность ультразвуковой дефектоскопии — расшифровку полученных данных. [c.259]

При распространении голографии на область рентгеновских волн необходимо помнить, что критерии интерферометрии позволяют априори оценить успех голографического метода, если путем моделирования выполнить некоторые необходимые эксперименты. [c.164]

Приборы этого типа можно использовать для измерения толщины или показателя преломления рентгеновских лучей для любого объекта, помещенного на пути одного из лучей интерферометра. Чувствительность прохождения к ориентации третьего кристалла такова, что можно обнаруживать небольшие растяжения решетки Ы (1 порядка 10 и угловые повороты порядка Ю рад. Могут быть видны дифракционные картины от внутренних деформаций, обязанных вариациям содержания примеси в кристалле около 1 10 или отдельным дислокациям и другим дефектам прибор можно использовать также для обнаружения или измерения деформаций, связанных с внешними воздействиями, такими, как температурные градиенты или упругие деформации. [c.335]

Экспериментальные исследования рентгеновского рассеяния показали, что большинство кристаллов относится к мозаичному или к промежуточному типу (наблюдается экстинкционное ослабление интенсивности ярких линий). В отдельных экземплярах природных кристаллов (алмаз, кальцит и др.), а также искусственно полученных (германий, хлористый натрий, металлы) четко проявляется динамическое рассеяние как в отношении ширины, так и интегральной интенсивности. Такие идеальные кристаллы представляют большой интерес для оптики рентгеновского диапазона длин волн и используются для изготовления рентгеновских интерферометров, резонаторов и для сверхмонохроматизации излучения и т. д. По отклонениям от динамического рассеяния можно исследовать методом рентгеновской топографии структурные несовершенства кристаллов (дислокации, дефекты упаковки). [c.110]

Такой ПОДХОД далек от теоретической трактовки дифракции рентгеновских лучей Эвальда [126] или Лауэ [281] или даже от более простого интуитивного подхода Дарвина [108]. И тем не менее именно на эти источники следует опираться, обсуждая допущения теории, простой для использования на практике. Эта же теория дифракции лежит в основе понимания и интерпретации таких важных новых методов, как рентгеновская топография и рентгеновская интерферометрия, и более старых методов, использующих линии Косселя, но упрощения этой теории, созданные для практического использования, развиты в различных направлениях. [c.13]

Измерения высокой точности стали возможными благодаря разработке рентгеновских интерферометров Бонзе и Хартом [25,26]. Был создан ряд модификаций этих приборов, в которых использованы как прохождение рентгеновских лучей через почти совершенные кристаллы кремния и германия, так и их отражение. Наиболее простая схема показана на фиг. 15.1. Три почти совершенных толстых кристалла расположены точно параллельно. Прошедаиий и дифрагированный пучки от первого кристалла вновь дифрагируют на втором кристалле, давая пучки, которые вместе идут к третьему кристаллу. Интерфгренция между этими пучками создает волновое поле, модулированное с периодичностью плоскостей решетки. Если решетка третьего кристалла представляет собой точное продолжение решетки первых двух, то максимумы интенсивности волнового поля будут совпадать с промежутками между атомными плоскостями и будет наблюдаться максимум прохождения. Поперечный сдвиг либо третьего кристалла, либо модуляций волнового поля на половину межплоскостного расстояния даст условие для максимума поглощения в третьем кристалле и, следовательно, для минимума прохождения. Следовательно, интенсивность прошедшего через это [c.334]

Хуакга 380, 382 Релаксация решетки 158, 262 Рентгеновская интерферометрия 334, 340 Рентгеновская топография 333, 340, 408 Рентгеновские лучи, амплитуда атомного [c.424]

Перечисленные свойства многослойных зеркал, доступность и универсальность технологии их производства, а также удачные результаты испытаний образцов, полученные за последние годы во многих лабораториях, привлекли внимание к применению многослойных зеркал во многих научных и технических задачах. Это прежде всего рентгеновская диагностика плазмы и коротковолновые лазеры приборы для рентгеноспектрального, рентгеноэлектронного и рентгенофлюоресцентного микроанализа сканирующие и передающие изображение рентгеновские микроскопы нормального падения двойные монохроматоры делительные пластинки фильтры и интерферометры для рентгеновского излучения рентгеновские телескопы рентгеновская литография в микроэлектронике, а также медицинские приложения маммография [c.78]

Заслуги советских ученых в деле развития квантовой электроники, а также вклад американских ученых были отмечены Нобелевской премией. Ее получили в 1964 году Н. Г. Басов, А. М. Прохоров и-Ч. Таунс. С этого момента началось бурное развитие лазеров и приборов, основанных на их использовании. Было получено стимулированное излучение от многих материалов — твердотельных, газовых, жидких, полупроводниковых. Диапазон излучения стал захватывать широкий участок спектра от крайнего ультрафиолета до дальней инфракрасной области, а в последние годы получено стимулированное излучение, лежащее в рентгеновском диапазоне. Поскольку стимулированное излучение отличается от теплового монохроматичностью, узконаправленностью, высокой спектральной яркостью и когерентностью, то его стали использовать для построения целого ряда приборов, предназначенных сначала для проведения экспериментальных исследований, а затем для лазерной технологии. Эти приборы способствовали развитию новых научных направлений, таких как лазерная интерферометрия, интроскопия, безлинзовая оптика, голография, термоядерный синтез. [c.5]

Это означает, что если волну представить в виде суммы падающей и вторичной дифрагировавшей волн, то рассеянием вторичных волн можно пренебречь. Указанное пренебрежение известно как псрвис борновское приближение и находит широкое применение в теории рассеяния рентгеновских лучей и электронов. Границы применимости этого приближения в электронной микроскопии и интерферометрии рассмотрены в [111]. [c.411]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...