Микроинтерферометр — Применение

Из оптических приборов большее применение нашли двойной микроскоп и микроинтерферометр академика В. П. Линника. [c.90]

За критерий оценки состояния поверхности, согласно этому методу, принято изменение глубины штрихов, полученных при шлифовке. Количественная характеристика профиля поверхности осуществляется с помощью оптического метода, основанного на применении микроинтерферометра системы проф. Линника. Этот метод оценки скорости коррозии в настоящее время получил признание. [c.67]

Для измерения потенциала с внутренней стороны образцов может быть применен хлорсеребряный электрод. Скорость коррозии, после исчезновения штрихов со стороны шлифованной поверхности, целесообразно измерять микроинтерферометром МИМ-4. С помощью этого прибора проводится большое количество измерений глубины штрихов в различных точках исходной поверхности контрольного образца (эталона) и образца после опыта и снятия с него окалины описанным выше способом. По разности глубин штрихов (вернее высоты гребней) этих образцов и судят о скорости коррозии. [c.70]

В. С. Фадеева и М. Е. Яковлева [45] показали, что в исследовании состояния поверхности глазури может также оказаться вполне эффективным применение электронного микроскопа. Разрешающая способность электронного микроскопа при измерении неровностей поверхности определяется в 0,005—0,006 [j., в то время как профилографом можно измерить выступы и впадины на микрорельефах порядка 0,2 [л и микроинтерферометром 0,03 р.. [c.161]

Широкое применение имеют приборы акад. Линника, измеряющие Ятах (двойной микроскоп И микроинтерферометр). Двойной микроскоп сконструирован по принципу так называемого светового сечения. Сущность сечения светом заключается в следующем. Пучок лучей направляется под некоторым углом на исследуемую поверхность через узкую щель и объектив в виде световой полоски. [c.429]

Для измерения параметров шероховатостей поверхностей высокой чистоты и толщин пленок микросхем, применяют многолучевые интерференционные микроскопы. Отличительной особенностью этих приборов является применение многолучевой интерференции, позволяющей повысить точность и чувствительность измерений. Так, например, многолучевой микроинтерферометр МИИ-11, выпускаемый Ленинградским ордена Ленина оптико-механическим объединением, дает возможность измерять высоту неровностей и толщину пленок от 50 до 10 А. В этом приборе многолучевая интерференция достигается применением стеклянных пластин, одна сторона которых покрыта тонкой пленкой, обладающей избирательным отражением света. При наложении такой пластины на исследуемую поверхность и освещении монохроматическим светом в зазоре между ними происходит многократное отражение лучей, достигших исследуемой поверхности. В результате этого возникает явление многолучевой интерференции, которое наблюдается в окуляре микроинтерферометра. Неровности исследуемой поверхности изгибают (деформируют) интерференционные полосы. Окулярным микрометром измеряют величину изгиба и по формуле (6.8) определяют высоту неровностей или толщину пленки. [c.132]

Микроинтерферометр МИИ-5 представляет собой упрощенную конструкцию микроинтерферометра МИИ-4. Упрощение в основном заключается в отсутствии фотокамеры, интерференционных светофильтров, микрометренных перемещений стола и устройства для изменения ширины и направления интерференционных полос. В остальном его технические характеристики и способ применения совпадают с МИИ-4. [c.95]

Для снятия копий используют, в частности, кинопленку, растворимую в ацетоне, при высоте неровностей в пределах от 0,5 до 20 мкм. Способ применения кинопленки описан выше в разделе, посвященном иммерсионно-репликовому микроинтерферометру МИИ-10. [c.121]

Применением имерсион-но-репликового микроинтерферометра МИИ-10 можно измерять указанными выше способами покрытия толщиной до 10 мкм. [c.89]

Двойной микроскоп Линника. Приборы акад. Линника, измеряющие Wmax (двойной микроскоп и микроинтерферометр), нашли достаточное применение. [c.24]

А. Сформированная интерферевц. картина обладает исключительно высокой чувствительностью к разл. рода нарушениям. Такого типа интерферометры используются для измерений показателей преломления, структурных дефектов. Применение технологии микрострук-турирования позволяет изготовлять из совершенных монокристаллов сложные типы микроинтерферометров, спектральных приборов и их злементов. [c.348]

Недостаток прибора МИИ-4, заключающийся в сравнительно низком контрасте интерференционной картины при больших апертурах полностью устранен в другой модели двухлучевого микроинтерферометра, предназначенного для тех же целей, что и МИИ-4, — однообъективном микроинтерферометре МИИ-9. В микроинтерферометре МИИ-9 применен интерференционный объектив, предложенный А. Н. Захарьевским. [c.490]

МИИ-10 по принципу действия и устройству аналогичен микроинтерферометру МИИ-4. Благодаря применению особой конструкции узла референтного (неподвижного) зеркала и двух осветительных систем прибор позволяет проводить обычные измерения высоты неровностей и измерения неровностей реплик (отпечатков), снятых с деталей на прозрачную пленку, помещаемую в специальную камеру с иммерсионной жидкостью для усиления яркости и расширения пределов увеличения изображения. Иммерсионно-репликовым микроинтерферометром можно измерять неровности высотой 1...10 мкм. [c.177]

Под визуально-оптической дефектоскопией понимают визуальный контроль с применением оптических приборов различного назначения. Визуальночзптический контроль является наиболее простым и доступным методом обнаружения поверхностных дефектов изделий. Если деталь изготовлена из прозрачного материала, то при визуальном контроле можно выявить и глубинные дефекты. Какими бы уникальными ни бьши методы и средства последующих контрольных операций, контроль изделий начинается с визуального осмотра невооруженным глазом или с применением таких оптических приборов, как лупы, микроскопы, микроинтерферометры, компараскопы, проекторы часового типа и т, п. [c.190]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...