Катоды полые высокочастотные

Излучение разряда, сосредоточенное внутри цилиндрических электродов ( полый высокочастотный катод ), проектируется на щель спектрального прибора — монохроматора и. За выходной щелью монохроматора расположен фотоэлектронный умножитель 12 типа ФЭУ-19М, питающийся от высоковольтного стабилизированного выпрямителя 13, в этом же блоке смонтирован и электронный микроамперметр для регистрации фототока. [c.158]

Развитая система одиночных полос с красным оттенением. Система наблюдается в спектре дуги между кадмиевыми электродами в водороде при низком давлении и в спектре разрядов через смесь водорода с парами кадмия в условиях достаточной ионизации, например, в спектре полого катода или высокочастотного разряда. [c.117]

Высокочастотное распыление. Разряд на постоянном токе нельзя использовать для распыления диэлектрических материалов, так как электроны должны непрерывно уходить с мишени во внешнюю цепь. Поэтому мишень должна быть проводящей. Это ограничение снимается при проведении разряда на переменном токе достаточно высокой частоты, именно такой, при которой за половину периода высокочастотного напряжения, приложенного к электродам Э1 и Э2 (рис. 2.7) электроны не успевают пройти расстояние между анодом и катодом (обычно это частота 10—50 МГц). В этом случае электроны попеременно движутся то к электроду Э1, то к электроду Э2, производя на своем пути ионизацию газа. Для поддержания стационарного характера разряда необходимо, чтобы за время своей жизни каждый электрон произвел в среднем одну ионизацию. Роль электродов Э1 и Э2 сводится теперь лишь к созданию поля в газоразрядном промежутке, и их можно в принципе вынести за пределы разрядной камеры. В установках высокочастотного распыления эти электроды покрываются мишенями MJ и М2 из распыляемого диэлектрика. [c.68]

Клистроном называется ЭВП, в котором используется принцип модуляции электронов по скорости, вызывающей модуляцию потока по плотности вследствие взаимодействия электронного потока с высокочастотным (ВЧ) полем. Большое распространение получили отражательные клистроны. Отражательный клистрон (рис. 7.15) состоит из электронной пушки 1, создающей поток электронов с необходимыми параметрами (плотностью, скоростью, формой и т. п.), отражателя 2, потенциал которого отрицателен относительно катода, и объемного резонатора 3. [c.343]

Во всех современных монохроматических источниках света используются различные типы электрического разряда в газах или парах металла при сравнительно низких давлениях (от нескольких сотен до нескольких десятков миллиметров ртутного столба) чаще всего — тлеющий разряд, либо высокочастотный, либо разряд в полом катоде. [c.56]

Если нужно заполнять лампы малым количеством исходного вещества, то выгоднее применять высокочастотное возбуждение спектра или возбуждение в полом катоде. [c.61]

На рис. 110 видно, что электростатическое поле на процесс осаждения молибдена существенного влияния не оказывает, однако целесообразно, чтобы катодом была подложка. Одновременное действие высокочастотного и электростатического полей существенно изменяет кинетику процесса осаждения максимум скорости осаждения смещается в область более низких температур на подложке и абсолютная величина скорости значительно возрастает. [c.171]

ОЛ до 20 мкм. В настоящее время ведутся многочисленные ра- боты по нанесению в вакууме тонких пленок цинка, кадмия, хрома, никеля, титана и др. Вакуумное напыление дает возможность получать двухслойные и многослойные покрытия, например цинковое и алюминиевое. Возможности вакуумного напыления далеко еще не изучены, но можно с уверенностью сказать, что этот метод займет определенное место при нанесении антифрикционных износостойких покрытий. Аппаратура для получения покрытий вакуумным напылением довольно сложна. В камере, в которой производится покрытие, должен быть создан и постоянно поддерживаться вакуум не ниже 10 мм рт. ст. Наносимый в качестве покрытия металл помещается в специальный тигель, называемый лодочкой, изготавливаемый обычно из тугоплавкой керамики. Металл, находящийся в лодочке, нагревается до температуры испарения. Существуют несколько методов нагрева металла высокочастотный, электросопротивлением и электронным лучом. Наиболее эффективен с точки зрения достижения стабильности характеристик испаряемого металла электронно-лучевой метод. Обычно источником электронов в пушке служит вольфрамовый катод. Электроны фокусируются в магнитном поле и направляются в тигель. Характерными параметрами испарителей являются количество испаряющегося металла, необходимая для этого мощность нагрева и срок службы. [c.120]

К источникам, работающим ири пониженном дав-лети] (0,1 —10 мм рт. ст.), относятся газоразрядные трубки постоянного тока, безэлектродный высокочастотный разряд, трубки с полым катодом в них возбуждаются спектры атомов и ионов в видимой и УФ областях. [c.34]

Все рассмотренные выше Э. р. в г. происходят под действием пост, электрич. напряжения. Однако газовые разряды могут протекать и под действием перем. электрич. напряжения. Такие разряды имеют стационарный хар-р, если частота перем. напряжения достаточно высока (или, наоборот, настолько низка, что полупериод перем. напряжения во много раз больше времени установления разряда, так что каждый электрод попеременно служит катодом и анодом). Типичным примером может служить высокочастотный разряд. ВЧ разряд может гореть даже при отсутствии электродов безэлектродный разряд). Перем. электрич. поле создаёт в определ. объёме плазму и сообщает эл-нам энергию, достаточную для того, чтобы производимая ими ионизация восполняла потери заряж. ч-ц вследствие диффузии и рекомбинации. Внеш. вид и хар-ки ВЧ разрядов зависят от рода газа, его давления, частоты перем. поля и подводимой мощности. Элем, процессы на поверхности тв. тела (металла или изолятора разрядной камеры) [c.864]

Эффективность диодных систем катодного распыления снижается при давлениях ниже Ю ЧЛа в связи с уменьшением концентрации ионов рабочего газа, в то же время для получения газоненаполненных пленок целесообразно уменьшить давление в рабочей камере. С этой целью разработаны системы с искусственным поддержанием разряда за счет использования либо термоэмиссионного катода, либо высокочастотного поля, а также многоэлектродные системы. Для поддержания высокочастотного разряда и стабилизации тлеющего разряда используется магнитное поле, предотвращающее попадание вторичных электронов на подложку. Эта группа схем получила название ионно-плазменного распыления. [c.428]

Известны различные виды электрических парогазовых разрядов. Соответствующие установки получают питание от источников постоянного тока или источников переменного тока промышленной и высокой частоты. В первом случае (тлеющий, дуговой, пеннин-говский разряды) главная роль принадлежит явлениям на катоде. В переменном поле определяющая роль катода утрачивается. Высокочастотные разряды подразделяются на двухэлектродные (дуговые, коронные), одноэлектродные (факельные, импульсные) и безэлектродные (Е- и Н-разряды). [c.38]

СПЕКТРОСКОПИЯ — совокупность методов исследования строения вещества, основанных на резонансном поглощении радиоволн РАЗМАГНИЧИВАНИЕ — уменьшение остаточной намагниченности ферромагне1ика после снятия внешнего магнитного поля РАЗМЯГЧЕНИЕ — переход вещества из твердого состояния в жидкое при повышении температуры РАЗРЯД (безэлектродный вызывается либо током смещения, либо является индукционным током, а разрядный промежуток изолирован от электродов высокочастотный происходит в газе под действием электрического поля 1азовый — процесс прохождения электрического тока через газ дуговой — самостоятельный газовый разряд с большой плотностью тока, при котором основную роль в ионизации играют электроны, возникающие вследствие термоэлектронной эмиссии с разогретого самим разрядом катода, а газ в столбе дуги находится в состоянии плазмы при сравнительно небольшом напряжении между электродами) [c.269]

Функциональную основу Г. п., как правило, составляет газовый разряд (дуговой, тлеющий, высокочастотный, СВЧ-разряд, лазерный, пучково-плазменный). Для генерации плазмы пока ещё редко используется ионизация рабочего вещества резонансным излучением, но в будущем, в связи с развитие.м лазеров, такие Г. п. могут получить значит, распространение. Г. п., работающие на газах при давлениях, сравнимых с атмосферным, обычно наз. плазмотрона,ии. Г. п., работающие на газах низких давлений, как правило, входят в состав более крупных устройств, напр, двухступенчатых плазменных ускорителей или ионных источников. Если в плазмотронах одной из основных конструктивных трудностей является защита стенок газоразрядного канала от больших тепловых потоков, то в Г. п. пизкого давления возникает проблема предотвращения гибели за ряж. частиц на стенках. С этим борются, используя экранировку стенок магн. и электрич. полями (см. Ионный источник), а также совмещая ионизацию и ускорение в одном объёме, благодаря чему поток плазмы попадает преим. в выходное отверстие Г. п. (см. Ллаз-.пенные ускорители). В связи с задачами плазменной технологии большое внимание уделяется разработке Г. п., непосредственно генерирующих плазму из твёрдых веществ. Наиб, распространение для этих целей получили вакуумные дуги с холодным катодом. Воз- [c.434]

В высокочастотных безэлектродных лампах (серийные— со сферич. стеклянной колбой 0 2 см) спектры этих и нек-рых др. легколетучих элементов возбуждаются эл.-магн, полем с частотой 1 — 10 МГц, благодаря чему устраняются электродные загрязнения, уменьшаются самопоглощепие и уширенио резонансных линий, а их интенсивность значительно возрастает. Спектральные лампы с полым катодом излучают линейчатые [c.222]

Доменная неустойчивость (см. Низкотемпературная плазма) в Т. р. приводит к возбужденкю высокочастотных (МГц) колебаний, связанных с образованием слоев с повышенным сопротивлением, бегущих вдоль электрич. поля. Из-за Л -образной зависимости дрейфовой скорости электронов от поля могут возбуждаться домены, аналогичные доменам Гана в полупроводниках. В электро-отрицат. газах (имеющих отрицат. ионы) с увеличением Е сильно растёт скорость прилипания электронов, что приводит к возникновению неустойчивости. Эта неустойчивость во многом аналогична рекомбинационным доменам в полупроводниках. Домены большой амплитуды движутся от катода к аноду с большой скоростью ( 0 см/с) и существенно изменяют нек-рые характеристики ПС Т, р. < // > и т. д. [c.119]

Магнетроном называется ЭВП со скрещенными полями. Он состоит из цилиндрического катода / (рис. 7.18), размещенного в центре, и коакоиально с ним расположенного анодного блока 2 с резонаторами 3, представляющего собой замедляющую систему, замкнутую в кольцо. Электроны, эмиттируемые катодом, под воздействием постоянных электрического и магнитного полей образуют в пространстве взаимодействия вращающийся электронный поток. Под его воздействием в резонаторах возникают высокочастотные (ВЧ) колебания, частота которых определяется геометрическими размерами замедляющей системы. По замедляющей системе движется бегущая волна в направлении движения электронного потока. Электромагнитное поле волны группирует электронный поток, образуя сгустки 4 электронов, имеющие форму спиц, которые, пролетая над щелями резона- [c.346]

Заметное влияние на зажигание оказывают внешние иоиизатп ры [6]. При Наличии ионизаторов (например, слабы высокочастотные поля, освещение газоразрядного промежутка, подогрев катода ГРГТ, рентгеновское излучение и т. п.) напряжение пробоя понижается, становится более стабильным, а также уменьшается запаздывание между моментом приложения инициирующего напряжения и началом зажигания. [c.7]

В настоящее время распространены следуюш,ие основные типы источников дуговые разрядные лампы низкого давления, разрядные лампы тлеюш,его разряда, разрядные лампы с полым катодом, разрядные лампы с безэлектродным высокочастотным разрядом, одноизотопные лампы и источники с атомными пучками. [c.56]

К источникам света, удовлетворяющим отмеченным требованиям, относятся широко используемые в технике спектроскопии тлеющий разряд ((ейслсровы трубки) высокочастотный электрический разряд в газах и парах элекгрический разряд в разрядных трубках с полым катодом вакуумный электрический дуговой разряд источники света с атомными пучками. [c.200]

Для получения спектров испускания двухато.мных и простых многоатомных молекул используются различные источники света (пламена, печи, электрические дуга, газоразрядные трубки и т.д.). Наиболее просты и удобны в работе различные типы газового разряда, которые подразделяются на плазму высокого и низкого давления. Их различие состоит в том, что в плазме высокого давления все частицы находятся в термодинамическом равновесии, а в плазме низкого давления (обычно давление газа ниже 1 — 10 мм рт. ст.) равновесия между нейтральными и заряженными частицами нет нет также равновесия между поступательной энергией частиц и энергией их колебания и вращения. К первому типу разряда относятся дуговой и искровой разряды, а ко второ-.му — тлеющий и высокочастотный разряд и разряд в полом катоде. [c.133]

Рис.-II. 9. Газоразрядные трубки низкого давления а — Гейслеровская разрядная трубка б —разрядная трубка для высокочастотного разряда е—разрядная трубка с полым катодом

Если в Э. р. в г., питаемых от источника постоянного тока, главную роль играют явления на катоде, то при перемеппом электрич. поле достаточно высокой частоты эта роль утрачивается. Высокочастотные Э. р. в г. (см. Разряд высокочастотный) могут существовать даже при полном отсутствии электродов (см. Веаэлектродпый разряд). Переменное электрич. иоле создает плазму и сообщает электронам энергию, достаточную для того, чтобы производимая ими ионизация восполняла убыль носителей заряда, происходящую вследствие диффузии и рекомбинации. Внешний вид и характеристики высокочастотных разрядов зависят от давления газа, частоты переменного поля и подводимой мощности и в ряде свойств приближаются к свойствам положительного столба Э. р. в г. па постоянном токе. Соответственно говорят о высокочастотной дуге, высокочастотной короне и т. п. Своеобразная форма высокочастотного разряда высокого давления — факельный разряд. Высокочастотные Э. р. в г. без электродов принято разделять на Е-и //-разряды, понимая под первыми разряды в поле, аналогичном нолю конденсатора, а нод вторыми — разряды в переменном магн. поле, создающем вихревое электрич. поле. Такое деление песк. условно и не всегда может быть проведено четко. Наиболее типичным //-разрядом можно считать разряд в то-роиде, помещенном в переменное магн. иоле, силовые линии к-рого направлены по оси тороида. [c.448]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...