Контроль плоскопараллельных пластин

КОНТРОЛЬ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПЛАСТИН [c.84]

Фиг. 32. Схема контроля плоскопараллельных пластин

Однако широкополосным преобразователям как с СВП, так и с пьезоэлементами, имеющими другой профиль поверхности, присущ и ряд недостатков. Один из них — повышенный уровень радиальных колебаний,который проявляется в качестве длинного хвоста низкочастотных колебаний после излучения зондирующего импульса, увеличивающего мертвую зону контроля. Поскольку пьезоэлемент возбуждается кольцами, составляющая вектора электрического поля, направленная вдоль поверхности пластины, при использовании СВП имеет большее значение, чем при использовании плоскопараллельной пластины, что и определяет повышенный уровень радиальных колебаний. Одна из мер уменьшения мертвой зоны — электрическое и механическое демпфирование, поэтому пьезоэлемент в прямом преобразователе (как и в обычном узкополосном) наклеивают на демпфер. Импеданс демпфера подбирают, исходя из оптимального демпфирования радиальных колебаний. [c.170]

Весьма разнообразен круг задач, решаемых оптическими методами контроля ими можно определять толщины и диаметры, показатели преломления и поглощения материала, концентрацию свободных носителей заряда и их подвижность в полупроводниках, плоскостность и плоскопараллельность пластин, наличие анизотропии в элементах оптических систем, однородность отражения зеркал, величину и природу напряжений в материалах, дефекты в структурах интегральных схем и т. д. Однако до настоящего времени сделано очень мало для разработки и внедрения в производство лазерных методов контроля. Настоящая глава ставит своей целью ознакомить читателя с существующими лазерными методами контроля качества материалов и макетами приборов, созданных для решения конкретных задач. [c.178]

Проверку плоскостности притертых поверхностей деталей проводят оптическим методом, основанным на принципе интерференции световых лучей, проходящих через стеклянную или кварцевую оптическую плоскопараллельную пластину. Пластина и проверяемые кольца выдерживают не менее 2 ч в помещении, где будет проводиться контроль. [c.152]

В связи с развитием многолучевой интерференционной техники приобретает существенное значение контроль качества зеркальных поверхностей плоскопараллельных пластин — основных элементов, образующих картину интерференции. Отступление от плоскостности ухудшает качество интерференционной картины, уменьшает разрешающую способность, снижает чувствительность измерений, искажает распределение интенсивности в интерференционной картине. [c.220]

В данной главе описан самый чувствительный метод измерения температуры прозрачных плоскопараллельных пластин. В настоящее время метод лазерной интерференционной термометрии (ЛИТ) применяется наиболее часто (по сравнению с любыми другими методами) для изучения процессов при взаимодействии плазмы с поверхностью, а также для контроля температуры полупроводниковых и диэлектрических подложек в микротехнологии. Метод ЛИТ объединяет качества, на первый взгляд кажущиеся взаимно исключающими очень высокую температурную чувствительность и широкий диапазон измеряемых температур. [c.131]

Объективом 6 они проектируются в его фокальной плоскости, где рассматриваются при помощи окуляра 12, снабженного сеткой И с перекрестием. Для выделения зеленой линии спектра ( ь = 546,1 нм) ртутной лампы служит зеленый светофильтр 3, который можно выводить из пучка лучей. Лампу в осветителе можно смещать. Для установки щели в фокальной плоскости осветитель вместе со щелью можно перемещать вдоль оптической оси объектива. В приборе предусмотрена возможность наклона образцовой пластины на угол 5—10 при контроле плоскостности и на больший угол при контроле плоскопараллельности. [c.191]

Некоторые возможные способы контроля параллельности поверхностей приведены в табл. 2.31. Контроль параллельности плоскостей осуществляется с помощью поверочной плиты 1, на которой деталь 3 устанавливают базовой поверхностью, и измерительной головки 2, перемещающейся параллельно плоскости поверочной плиты. Определяют разность показаний головки в различных точках проверяемой поверхности. При этом отклонение от плоскостности войдет в результат измерения и, если не задано суммарного допуска параллельности и плоскостности, должно рассматриваться как часть погрешности измерения. Для исключения влияния отклонения формы применяют плоскопараллельную пластину, накладываемую на проверяемую поверхность, или проводят математическую обработку измеренных значений. Небольшие детали можно контролировать на стойке со столиком. [c.407]

Прибор ДП-477— оптическая струна [4], применяемый для контроля объектов длиной до 30 м, используется по такой же методике (рис. 5). Отсчеты снимаются по прибору, который имеет так называемый оптический компенсатор с плоскопараллельной стеклянной пластиной. Наклон пластины параллельно смещает изображение светящейся точки относительно перекрестия окулярной сетки, величина же смещения отсчитывается по барабану микровинта. Положение трубы регулируется установочными винтами. [c.357]

Контроль обработанных измерительных поверхностей осуществляют интерференционным способом с помощью набора плоскопараллельных стеклянных пластин. Перед контролем инструмент обезжиривают в бензине, тщательно протирают и на доведенную поверхность накладывают стеклянную пластину. Слегка прижав пластину к поверхности, наблюдают световые полосы, по которым и судят о качестве доводки. [c.218]

Плоские стеклянные пластины. Их применяют при измерениях методом интерференции при контроле плоскостности и притираемости измерительных поверхностей плоскопараллельных концевых мер длины, калибров, измерительных приборов и инструментов. [c.106]

Некоторые виды производства измерительных инструментов требуют особых температурных условий. К этим производствам относятся производство плоскопараллельных концевых мер. оптических измерительных приборов и плоских стеклянных пластин, нанесение делений на деталях измерительных инструментов и некоторые другие. Особых температурных условий требует также выполнение линейных измерений перечисленных изделий, а также контроль калибров и измерительных приборов. [c.18]

Пластины и диски с плоскими или плоскопараллельными гранями (например, контрольные плоскости или интерферометры для контроля плоскостности поверхности). [c.86]

Принцип действия устройства для контроля массы состоит в следующем (рис. 51). Подвижная рама 2 подвешена на пружине 5, при нагружении приемной платформы 1 она совершает плоскопараллельное движение в вертикальной плоскости благодаря наличию пластин 3. Ввиду небольшого хода рамы, что достигается предварительным нагружением системы натяжным устройством 4 и гирями регулировочной платформы 6, движение ее можно считать строго вертикальным. Движение рамы передается сердечнику индуктивного преобразователя линейных перемещений 7,. и на блок 9 поступает сигнал, пропорциональный массе взвешиваемого изделия. Пачки с номинальной массой передаются для дальнейшей заклейки и упаковки. Если отклонения массы не соответствует допуску, пачка отбраковывается а на дозатор подается сигнал на подстройку его для уменьшения ошибки дозирования. [c.120]

Порядок контроля следующий. Первоначально устанавливают пластину 1 Б положение В2 — 5ц. На пластине 1 закрепляют (например, воском плоскопараллельную пластинку 2 так, чтобы ее отражающая грань была примерно параллельна ребру ножа 4 в положении Во и перпенди- [c.67]

Поскольку уравнение (2.2) справедливо для любых веществ 1 и 2, таким способом можно рассматривать также и пластину из воздуха в твердой стали, т. е. воздушный зазор, который как трещина в образце играет важную роль при контроле материалов. Теоретическим результатом будут кривые проницаемости типа показанных иа рис. 2.2 для стальной пластины в воде, ио только максимумы будут располагаться значительно более тесно, примерно на расстояниях в 20 раз меньших, чем между максимумами на рис. 2.2, и к тому же они будут настолько узкими, что в масштабе на рис. 2.2 можно будет показать только тонкие штрихи на нулевой линии. Практически представляет интерес только снижение первого максимума проницаемости от нулевой точки при очень малых толщинах щели. Последующие максимумы можно получить только при очень тщательно выверенных плоскопараллельных губках, образующих щель, и при очень стабильной частоте. [c.35]

Использование когерентного излучателя в осветителе интро-скопа позволило осуществить контроль равнотолщинности плоскопараллельных пластин из оптических материалов, непрозрачных в видимой и ближней ИК области спектра. К такого рода материалам относится обширный класс полупроводниковых соединений с небольшой шириной запрещенной зоны, в частности германий, широко применяемый для изготовления оптических элементов мощных ИК лазеров. Так как плоскостность оптических поверхностей выполняется и контролируется с высокой точностью, то предлагаемый способ может быть использован для контроля клиновидности плоскопаралл л )НЬ1Х пластин. Измерение клино- [c.187]

Пластины (в частности, тонкие полупроводниковые монокристаллы) характеризуются, как правило, некоторыми отклонениями от идеальной плоскопараллельной формы, что обусловлено особенностями процессов резки, шлифовки и полировки пластин, а также сложностью контроля геометрических параметров в ходе технологического процесса (контроль после окончания процесса только фиксирует наличие и степень неидеальности, но повторная обработка пластин с целью устранить эту неидсальность практически никогда не проводится). Различные отклонения от идеальной формы по-разному влияют на результат взаимодействия света с пластиной. Например, при взаимодействии лазерного пучка с пластиной тонкого полупроводникового монокристалла происходит интерференция света, но ее проявление в проходяш,ем и отраженном пучках может соответствовать любой из возможностей, ограниченных предельными случаями (от интерференции в идеальной пластине до вырожденного режима многократных отражений без интерференции). В пределах плош,ади одного кристалла диаметром 75-Ь150 мм иногда проявляется полный спектр возможностей. Поэтому правильность интерпретации результатов лазерного зондирования зависит от знания геометрических свойств пластины. Неучет геометрических особенностей пластин иногда приводит к обнаружению фиктивных микро- и макрообъектов в монокристаллах (например, областей аномального поглош,ения света, волнообразного распределения примесей и т.д.). [c.58]

Контроль плоскостности притертых поверхностей рекомендуется троизводить плоскопараллельными стеклянными пластинами ПИ (ГОСТ 2923—59) по интерференции света. [c.79]

М н т о р ф е р е п ц и я с в е т а прл.мсняется для контроля лолиро1 анных поверхностей, направленно отраукающих световые лучи (см. разд. 142). Интерференция осуществляется с помощью плоскопараллельных стеклянных пластин прп дневном свете или в дюнохроматическом свете в интерферометре (см. разд 248). Интерференция обладает тем преимуществом, что дает возможность вычислять величину отклонений от плоскостности в долях точно определенной длины световой волны. Обязательным условием является предварительная очистка контролируемых поверхностей от пыли и грязи. [c.553]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...