Лазерные сканирующие микроскопы (ЛСМ)

ЛАЗЕРНЫЕ СКАНИРУЮЩИЕ МИКРОСКОПЫ (ЛСМ) [c.518]

При использовании перечисленных выше приборов анализ изображения дефектов ведет оператор. В последнее время получают распространение телевизионные, а также лазерные проекционные и сканирующие микроскопы, в которых изображение дефекта визуализируется на экране видеоконтрольного устройства. Эти приборы отличают высокие яркость и контрастность [c.624]

Минимально обнаруживаемый дефект достигает порядка 0,1 мм в диаметре. Применение металлического вращающегося зеркала увеличивает скорость сканирования в 4 раза по сравнению со стеклянным зеркалом. Возможно контролирование поверхности материала, двигающегося со скоростью свыше 15 м/с. Сканирующие лазерные системы бегущего луча могут также использоваться для получения изображения объектов контроля. Схема лазерного сканирующего инфракрасного микроскопа для контроля внутренних дефектов полупроводниковых материалов с механическим сканированием объекта контроля и неподвижным лучом лазера отличается низким быстродействием, но имеет высокую разрешающую способность. Схема с системой сканирующих зеркал отличается большим быстродействием (до 50 кад/с при 200. .. 400 строках разложения телевизионного изображения), однако наличие полевых аберраций оптической системы приводит в этом случае к снижению пространственного разрешения. [c.509]

МИКРОСКОПИЯ АКУСТИЧЕСКАЯ — совокупность методов визуализации микроструктуры и формы малых объектов с помощью УЗ- и гиперзвуковых волн. Она включает в себя также методы измерения локальных характеристик упругих и вязких свойств объекта и их распределений по его поверхности или внутри объёма. М. а. основана на том, что УЗ-волны, прошедшие, отражённые или рассеянные отд. участками объекта, имеют разл. характеристики (амплитуду, фазу и др.) в зависимости от локальных вязкоупругих свойств образца. Эти различия позволяют методами визуализации звуковых полей получать акустич. изображения на экране дисплея. В зависимости от способа преобразования акустич. полей в видимое изображение различают сканирующую лазерную М. а. и сканирующую растровую М. а. [c.148]

Возможность организации серийного выпуска изделий из композиционных материалов предопределяется самым тщательным входным и пооперационным контролем, а гарантия работоспособности изделия может быть дана лишь на основании контроля качества готовой продукции. Сравнительная дороговизна некоторых композиционных материалов, особенно на основе углеродных, борных и арамидных волокон, вызывает необходимость разработки и внедрения новых методов неразрушающего контроля всех выпускаемых изделий. Важность использования для композитов метода конечных элементов оказывается бесспорной. В этой связи особое значение приобретает проблема стандартизации методов контроля и оценок по всем операциям технологического процесса. Для не-разрушающего контроля композиционных материалов и изделий из них все шире используются метода сканирующей электронной микроскопии, жидкокристаллического тепловидения , рентгенографии, лазерной техники и т. п. [c.16]

Одной из определяющих тенденций развития фотометрической аппаратуры является переход к использованию многоканальных систем измерения, реализуемых либо с помощью систем бегущего луча (сканирующие лазерные микроскопы и подобные устройства), либо на основе матричных фотопреобразователей. Последние особенно перспективны в связи с жесткой геометрией светочувствительной структуры. Эго ПЗС [фотодиодные (ФД) линейки и матрицы], электронно-оптические микроканальные умножители и т.п. устройства. [c.61]

В последнее время предложена схема лазерного сканирующего микроскопа — зонда, в котором регистрируется не прошедшее через объект или отраженное от него излучение лазера, а возбужденный им в полупроводнике фотоэлектрический эффект (фотоответ). На экране кинескопа в этом случае наблюдают изсбражения, яркость отдельных точек которого пропорциональна величине фотоответов полупроводника на световое воздействие в соответствующих зонах. Метод перспективен для контроля интегральных схем. [c.96]

Сканирующая лазерная М. а. представляет собой разновидность голографии акустической, предназначенную для визуализации малых объектов. При облучении плоской УЗ-волной объекта, помещённого в жидкость, фронт волны после прохождения образца искажается из-за неоднородных фазовых задержек, а амплитуда изменяется в соответствии с неоднородностью коэф. отражения и поглощения в объекте. Прошедшая волна падает на свободную поверхность жидкости и создаёт на ней поверхностный рельеф, соответствующий акустич. изображению объекта. Рельеф считывается световым лучом и воспроизводится на экране дисплея. Этот метод реализуется в лазерном акустич. микроскопе (рис. 1), где У 3-пучок, излучае- [c.148]

Рис. i. Принципиальвая схема сканирующего лазерного акустического микроскопа.

Используемый в сканирующей лазерной М. а. способ визуализации не позволяет получать высокие разрешения. Лазерные акустич. микроскопы работают на частотах вплоть до HO K, сотен МГц и дают разрешение до 10 мкм. Одно из достоинств лазерного акустич. микроскопа — возможность одновременно получать оптич. и акустич. изображения и сравнивать их. Для количеств. измерений в лазерной сканирующей М. а. используются те же методы, что и в обычной акустич. голографии, напр. метод интерферограмм. [c.148]

Оба способа ультразвуковой микроскопии, доведенные д стадии практической применимости (SAM и SLA.M, раздел 13.13), были разработаны в начале 1970-х гг. Квейте е соавторами ( сканирующий акустический микроскоп ) и Корнелем и Кесслером с соавторами ( сканирующий лазерный акустический микроскоп ) [836, 916]. [c.196]

В принципе каждый из вышеописанных способов формирования изображения может быть применен и для ультразвуковой микроскопии при выборе достаточно высокой частоты коптро.ля. Однако до стадии практической применимости доведены только два способа, сокращенно именуемые SLAM (сканируюи1 ий лазерный акустический микроскоп) и SAM (сканирующий акусти- [c.312]

ЛП-11 СССР, нииин н ИТК АН БССР 0,1 10-100 50—100 (4000) ТВ сканирующий лазерный проектор с управлением от 9ВМ и записью нзоб-рам ений на фото-хромном носителе. Размер экрана 1х X 1 м. Использован аргоновый лазер Максимальный размер объектов до 200 мм. Измерения элементов структур масок БИС производятся фотоэлектрическим микроскопом [c.81]

Аналогичные микроскопы с числовой апертурой А = 0,3-ь0,4 и уменьшением Л1 — 1/50- -1/2000, разрабатываемые для син-хротронных и лазерно-плазменных источников, описаны в работах [32, 73]. Детальный анализ, проведенный в работе [73], показывает, что для достижения дифракционного разрешения необходима очень высокая точность юстировки, в том числе по расстоянию между зеркалами — до нескольких микрометров, децентрировке — менее 1 мкм, наклону осей зеркал — до единиц угловых секунд. Такую точность невозможно обеспечить при юстировке в видимом диапазоне, поэтому она должна проводиться непосредственно в рентгеновском. Для этого зеркала соединяются через пьезоэлементы, длины которых регулируются компьютером в соответствии с сигналом детектора, сканирующего изображение. Предполагается, что такой микроскоп будет иметь пятно фокусировки порядка 50 нм и обеспечит в пределах спектральной полосы шириной 1 % поток порядка 5-10 фот/с в случае синхротрона и до 5-10 фот/с в случае лазерно-плазменного источника, работающего в частотном режиме. [c.210]

Дефлекторы излучения. В ОПК сканирующего типа (лазерные микроскопы и т.п.) для перемещения луча в пространстве с высоким быстродействием (до 10 Гц) применяются дефлекторы, или сканаторы. На смену традиционным оптико-механическим системам (вращающиеся или вибрирующие зеркала, призмы и т.п.) приходят электронно-оптические и голографические дефлекторы. Разработана гамма подобных устройств на различных физических принципах - акусто-оптические (основаны [c.490]

С помощью ЛСМ можно формировать изображения с более высокими разрешениями и большей глубиной резкости, чем в фадиционной микроскопии, в частности, с использованием различных специфических методов типа динамической фокусировки. Кроме того, методы лазерного сканирования позволяют регисфировать свет, диффузно рассеиваемый малыми деталями поверхности, размеры которых гораздо меньше поперечного сечения падающего сканирующего лазерного пучка (например, с помощью сканирующего пучка лазерного излучения, сфокусированного в пятно размером 50. .. 100 мкм, можно обнаружить микрометровые дефекты на поверхности конфолируемых изделий). [c.518]

Рис. 2.30. Характерные периодические структ>ры, наведенные лазерным излучением на поверхности твердых тел а - одномерная решетка, образующаяся на поверхности Се под действием лазерного импульса с Л. = 1,06 мкм (// = 10 МВт/см , Тр - 100 не, угол падения в 10° стрелкой показано направление вектора , ) б - двумерная решетка, образующаяся на поверхности Се под действием импульсов излучения большой интенсивности с Л. - 1,06 мкм (сложная структура может быть связана с взаимодействием решеток) в - структура, образованная на поверхности Се волной с круговой поляризащ1ей при наклонном падении г - замороженные капиллярные волны на поверхности первоначально расплавленного излучением СО, лазера кварца (снимок получен с помощью сканирующего электронного микроскопа)

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...