Реактор плазмохимический

Реактор для плазмохимического осаждения диэлектрических пленок [c.43]

Основным достоинством этого реактора является низкая температура осаждения пленок. Однако он имеет и недостатки — небольшой объем, трудность автоматизации загрузки и разгрузки и возможность загрязнения подложек рыхлым осадком. Основные реагенты для осаждения пленок оксида и нитрида кремния плазмохимическим методом приведены в табл. 2. [c.43]

Кластеры Ti ,, получены методом плазмохимического газофазного синтеза. В качестве инертного газа использовали гелий, реагентами были углеводороды (метан, этилен, ацетилен, пропилен и бензол) и пары титана, давление газовой смеси в реакторе составляло 93 ГПа (0,7 мм рт. ст.). Для испарения вращающегося металлического прутка титана и создания ионизированного пучка паров металла применяли сфокусированное излучение Nd-лазера с длиной волны 532 нм. Нейтральные и ионизированные кластеры выделяли из продуктов реакции и анализировали с помощью масс-спектрометра. В масс-спектрах продуктов реакции обнаруживался резкий пик, соответствующий молекуле [c.27]

В плазмохимическом реакторе осуществляется сложное взаимодействие плазменной струн с потоком сырья. Конструкция реактора оказывает значительное влияние на протекание взаимодействия. В реакторном пространстве выделяются т ж области (рис. 9) [c.20]

Конструктивно плазмохимические установки базируются на той или иной модели реактора, в который входят плазмотрон, реакционная камера, устройство подачи исходного продукта, закалочное устройство и т.д. [c.442]

Плазмохимические реакторы - аппараты, в которых осуществляются физикохимические превращения с помощью низкотемпературной плазмы. В общем виде плазмохимический реактор состоит из плазмотрона, реакционного объема, устройства ввода реагентов в высокотемпературную зону, закалочного устройства и фильтра для отделения готового продукта. Конструкции плазмохимических реакторов многообразны, и выбор определенной схемы зависит от конкретного технологического процесса. Их классифицируют по различным признакам [c.446]

Рис. 4.6.6. Схемы плазмохимических реакторов

Для получения ультрадисперсных порошков однородного состава, а также для синтеза неравновесных продуктов (образующихся на промежуточных стадиях химического процесса) требуется использование реакторов с выровненным поперечным профилем температур, позволяющим осуществлять плазмохимическую реакцию для всей реагирующей массы примерно в одинаковых условиях. Такие реакторы выполняют с футеровкой стенок (рис. 4.6.6, в, с - у). В качестве футеровочного материала используются стеклоуглерод, пироуглерод, графитовый войлок, каолиновую вату и др. Для уменьшения образования отложений конденсированных продуктов на стенках реактора его увеличивают в диаметре (рис. 4.6.6, б, в), обдувают защитным газом (рис. 4.6.6, ч) или обмывают пленкой жидкости (рис. 4.6.6, ш) [38]. [c.449]

При гомогенном плазмохимическом процессе, например при пиролизе метана, важным фактором, определяющим его эффективность, является задача смешения исходного газообразного сырья с плазмой, его нагрев до температуры реакции и химические взаимодействия в реакторе. Применяют три способа ввода исходных веществ в поток плазмы спутный, поперечный и под углом к потоку. Для газообразного сырья наиболее эффективна поперечная подача через отверстия в реакционном канале. По такой схеме построены реакторы известных мировых производителей (рис. 4.6.7). [c.449]

Из многообразия технологического применения пЛазмохимических установок с центробежными реакторами можно отметить процессы получения плавленного оксида алюминия, тугоплавкого стекла, а также различных металлов и других веществ из руд [10]. [c.454]

Рис. 1.3. Коэффициент отражения света (длина волны Л = 633 нм) от пластинки плавленого кварца после зажигания ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе. Пластинка толщиной 1 мм и диаметром 10 см лежит на

На рис. 5.16 а показана зависимость интенсивности света, проходящего сквозь пластинку монокристаллического кремния толщиной 0,38 мм, которая находится в плазмохимическом реакторе, от времени [c.127]

К перечисленным параметрам можно добавить диаметр и материал катода, размеры катодной вставки, число секций межэлектродной вставки, расстояние между ними и их ширину. Однако эти параметры оказывают меньшее влияние на технологический процесс. Кроме того, конструкция плазмотрона может быть иной, например плазмотроны для резки металлов имеют, как правило, одно сопло, в плазмохимических процессах используются плаз.мо-троны одно- и двухкамерные с вихревой подачей газа и т. д. Для их характеристики могут быть приняты некоторые другие параметры, учитывающие специфику конструкции плазмотрона и установки, например конструктивные параметры реактора и закалочного устройства. [c.36]

Рис. Д.2. Принципиальная схема стационарной плазмохимической СВЧ-установки 1 — магнетрон 2 — направленные осветители 3 — реактор 4 — согласованная калориметрическая нагрузка 5 — система подачи исходного

Для плазмохимического осаждения диэлектрических пленок используют реактор с радиальным распределением газового потока, показанный на рис. 21. Круглая реакционная камера, обычно выполняемая из алюминия или стекла, имеет два плоских алюминиевых электрода, на нижнем 7 из которых (заземленном) помещаются на пьедестале 6 подложки. При подаче высочастотного напряжения на верхний электрод 4 между ним и нижним электродом создается тлеющий разряд, который служит источником энергии для протекания химических реакций. Газовый поток вводят по краям 1 камеры и выводят из ее центральной части 8. Нижний электрод, кроме того, нагревается резистивными или инфракрасными нагревателями до 100—400 °С. [c.43]

Развитие новой техники,высокотемпературных энергетических устанс-вок,плазмохимических реакторов и других объектов требует детальных теплофизичеокгос исследований теплообмена в условиях высоких температур. Одним иэ наиболее важных вопросов является исследование теплообмена в поперечно обтекаемых пучках труб.Большое влияние на теплообмен в таких слз чаях оказывают гомогенные химические превращение адесь в основном сталкиваемся с рекомбинацией диссоциированных частиц при охлаяденки высокотемпературных газовых потоков. [c.124]

Начиная с 1973 г. в Отделе машиноведения ИВМ СО РАН проводятся исследования, в ходе которых был выполнен большой объем работ по изучению возможностей применения НП (более 20 видов), полученных путем плазмохимического синтеза и взрывным методом, для повышения качества металлоизделий. Первое авторское свидетельство на изобретение по применению НП для измельчения структуры алюминиевых сплавов [12] с приоритетом от 20.11.1978 г. было получено в 1980 г. Ввиду того что в исследованиях в основном использовались НП, полученные методом плазмохимического синтеза, опишем сущность этой технологии [13]. Из известных способов плазмохимический синтез НП по своим технологическим возможностям и технико-экономическим показателям наиболее перспективен. Его основными достоинствами являются возможность переработки тугоплавкого сырья высокая производительность малая инерционность непрерывность процесса. Этот способ позволяет [14] управлять размерами частиц, формирующихся в потоках плазмы по различным макромеханизмам пар жидкость кристалл и пар кристалл. На рис. 9.1 приведена общая схема плазмохимической установки. Исходное сырье (газ, жидкость или порошок) загружается в питатель, оттуда поступает в узел смешения, где происходит его перемешивание с энергоносителем (плазменным потоком), который создается в генераторе плазмы (плазмотроне). При дальнейшем прохождении образовавшейся смеси сырья с энергоносителем через реактор сырье претерпевает фазовые и химические превращения. С целью торможения некоторых физико-химических процессов (например, для прекращения коагуляции НП) многокомпонентный поток на выходе из реактора может подвергаться резкому охлаждению в устройстве закалки. Затем для снижения температуры газодисперсный поток проходит через теплообменник и поступает на фильтр, где целевой НП отделяется от газа. Энергоносителем является плазменный поток, ввод электрической энергии в который осуществляется в генераторе плазмы. Существует два способа ввода сы- [c.256]

Высокочастотные плазмотроны могут быть как электродными, использующими коронный, факельный разряды, так и безэлек-тродными - высокочастотные индукционные (ВЧИ), емкостные (ВЧЕ), сверхвысокочастотные (СВЧ). Основные преимущества безэлек-тродных плазмотронов перед электродными (в том числе электродуговыми) заключаются в высоком ресурсе работы (несколько тысяч часов) в отсутствии зафязнения получаемых в плазмохимическом реакторе материалов продуктами эрозии электродов в возможности работы на чистом кислороде или на других агрессивных плазмообразующих газах. [c.444]

В 80-е годы получил распространение термолюминесцентный датчик с волоконно-оптической линией связи, в котором сигнал о температуре чувствительного элемента переносится к регистрируюш ему прибору световым потоком. Например, измеряется длительность послесвечения небольшого активного элемента из стекла с неодимом, возбуждаемого ИК излучением мош,ного светодиода [1.29]. В другом датчике измеряется отношение интенсивностей люминесценции двух участков спектра элемента из оксисульфида европия или лантана при его возбуждении ультрафиолетовым излучением [1.30]. В этих случаях влияние электрических помех полностью исключено, поскольку отсутствует гальваническая связь между чувствительным элементом и реги-стрируюш им прибором. С помош ью таких термометров были получены некоторые важные результаты, касаюш иеся термостабилизации подложек в плазмохимическом реакторе [1.31], теплопереноса на границе [c.14]

Особенности неравновесных плазмохимических систем определяют большую удельную производительность, низкую металлоемкость и малые весогабаритные характеристики таких реакторов. Пока экспериментальные исследования таких реакторов немногочисленны. До последнего времени эти исследования были связаны с разложением углеводородов в тлеющем разряде и характеризовались очень низкой эффективностью. И только в последнее время в экспериментах по прямому разложению воды в СВЧ-разрядах получена достаточно высокая эффективность [1. [c.206]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...