Насосы турбомолекулярные

Высокий вакуум в установках для тепловой микроскопии в принципе может быть создан механическими (турбомолекулярными) и пароструйными (диффузионными) насосами, а также насосами с поверхностным связыванием (сорбционными). [c.43]

Турбомолекулярные вакуумные насосы целесообразно использовать для получения в рабочей камере разреженности от 10 до 10 мм рт. ст. [c.43]

Принцип работы турбомолекулярного насоса заключается в том, что молекулы воздуха, сталкиваясь с движущейся поверхностью (вращающимся ротором), получают от нее импульс в направлении движения и перемещаются от середины ротора к краям, в область высокого давления. [c.43]

Преимуществами турбомолекулярных безмасляных насосов являются отсутствие необходимости в рабочей жидкости, большая скорость откачки, быстрота ввода в действие. Кроме того, насос не выходит из строя при прорыве атмосферного воздуха в этом случае лишь прекратится откачка после превышения определенной границы давления в области перехода от молекулярного течения к вязкостному. При внезапном отключении электросети насос из-за инерционности ротора некоторое время будет продолжать работу. [c.43]

Наиболее распространены турбомолекулярные насосы типов ТВН-200 и ТМН-200. Конструктивным отличием последнего является встроенный герметичный привод, работающий от высокочастотного генератора. [c.43]

Использование турбомолекулярных насосов целесообразно в высоковакуумных установках с большим объемом рабочей камеры для создания разрежений Ы0 —1-10 мм рт. ст. [c.44]

Безмасляная откачка (рис. 1.21, г) применяется в тех случаях, когда высоковакуумный насос устанавливается на поворотных камерах и работает в различных пространственных положениях. Для откачки используют сорбционные или турбомолекулярные насосы. [c.343]

Откачные системы в установках с выводом пучка в атмосферу (рис. 1.21, д) имеют несколько независимых ступеней откачки. Схема каждой ступени выбирается в зависимости от давления в ней, причем для ступени с давлением, близким к атмосферному, выбирают насосы типа РВН или водокольцевые, которые длительное время могут работать при высоком давлении с высокой производительностью, а для откачки полости катодного узла пушки предпочтительны турбомолекулярные насосы. [c.346]

Применение турбомолекулярных насосов позволяет избежать загрязнений вакуумной системы органическими парами [158]. [c.267]

Процессы разделения происходят при высоком вакууме в анализаторе, полученном и поддерживаемом в течеискателях с помощью высоковакуумного насоса, пароструйного или турбомолекулярного. Применение турбомолекулярного насоса предпочтительнее, поскольку при этом обеспечивается использование принципа противотока , при котором контролируемое изделие подключается к выходу высоковакуумного насоса. При уменьшенной частоте вращения ротора ТМН работает в режиме прозрачности для пробного газа, и гелий, ди-фундируя в масс-спектрометрическую камеру, детектируется как сигнал течи. При такой схеме работы течеискателя исключается загрязнение анализатора продуктами, выделяющимися из контролируемого изделия, а также не требуется предварительной откачки изделия до высокого вакуума перед его подсоединением к анализатору, что существенно повышает производительность контроля. Применение ТМН также снижает время запуска и остановки течеискателя. [c.552]

В связи со сказанным, все последние модели отечественных и зарубежных течеискателей базируются на применении турбомолекулярных насосов. [c.552]

Турбомолекулярный насос Беккера (рис. 3) не нуждается и малых зазорах между движущимися [c.303]

Для откачки применяются турбомолекулярные, сорбционные, электроразрядные насосы. Например, на синхротроне Пахра применяются для откачки канала СИ электроразрядные насосы НОРД-100 и НОРД-250. Число насосов и их расположение определяются свойствами канала геометрией (длина, сечение, изгибы и пр.), материалами, натеканием на участке (например, проведение экспериментов, связанных с [c.225]

К механическим относятся насосы с масляным уплотнением типа ВН, двухроторные типа РВН и турбомолекулярные. Эти насосы служат для создания предварительного разрежения в рабочем объеме (1011 гПа—1,3 Па), а также используются в качестве насосов предварительного разрежения при работе с вы-соковакуумными насосами. Технические характеристики насосов этого типа приведены в табл. 12. Насосы типа РВН в откачных системах установок для ДСМ используются в тех случаях, когда технологический процесс сопровождается значительным газовыделением. Они имеют большую быстроту откачки в области давлений 1,3—1,3-10" Па и занимают промежуточное положение между насосами типа ВН и высоковакуумными диффузионными насосами. Турбомолекулярные насосы предназначены для работы в области высокого и сверхвысокого вакуума (1,3-10" —1,3> 10" Па). Применяют турбомолекулярные насосы сравнительно редко, например при имитации условий космического пространства. [c.80]

Рис. 2.9. Блок-схема установки 1 — вакуумная камера 2 — люминесцентный экран i — верхний фланец с приводами перемещения образцов 4 — форвакуумный насос ВН-2МГ 5, 8 — азотные ловушки 6 — турбомолекулярный насос ВМН-150 7 — магнитозарядный насос Трион-150 9 — вспомогательный объем

Во-вторых, все анализы необходимо проводить в условиях высокого вакуума (10 —10 торр) . При такой малой глубине анализа, как в методе ОЭС, например, чрезвычайно возрастает роль атомов и пленок газа, адсорбированного на исследуемой поверхности. Они усложняют Оже-спектр, снижают его интенсивность и могут совершенно исказить — не только количественно, но даже качественно — результаты анализа. Поэтому анализ необходимо проводить на максимально атомночистой поверхности, которую получают разрушением непосредственно в вакуумной камере, высокотемпературным прогревом, или ионной бомбардировкой с последующим отжигом. Наличие сверхвысокого вакуума совершенно необходимо для получения и анализа свежеприготовленной поверхности, особенно если используют несколько методов, что сильно увеличивает продолжительность эксперимента. Важно подчеркнуть, что сверхвысокий вакуум создают (за редким исключением) безмасляными средствами откачки во избежание загрязнения исследуемой поверхности углеродом. Обычно применяют турбомолекулярныё насосы или комбинации турбомолекулярных, магнитных электроразрядных и титановых испарительных насосов. [c.127]

Более совершенная система откачки, показанная на рис. 1.21, б, отличается от предыду-шей наличием еше одного насоса II предварительной откачки, что увеличивает скорость откачки системы, а для откачки электронного прожектора сварочной пушки имеется дополнительная вакуумная система меньшей производительности. Особенностью такой схемы является возможность выполнять сварку как в высоком, так и в низком вакууме. В последнем случае используются агрегаты типа АВР, со-стояшие из двухроторного насоса и насоса предварительного разрежения. Такие системы имеют высокую скорость откачки при давлении примерно равном 10 Па. Для откачки электронного прожектора пушки целесообразно использовать турбомолекулярные насосы. При этом полость катодного узла пушки не загрязняется парами рабочей жидкости диффу- [c.343]

Откачные системы с диффузионными насосами (схемы I, II, III) имеют существенный недостаток в процессе откачки пары рабочих жидкостей насосов загрязняют откачиваемый объем. Необходимость в безмасляном вакууме возникает при сварке изделий, предназначенных для работы в агрессивных средах, когда к соединениям предъявляют требования максимальной коррозионной стойкости. Для защиты от миграции паров рабочих жидкостей откачные системы снабжают конденсационными или сорбционными ловушками. Ловушки 5 решают проблему только частично, поэтому в особо ответственных случаях применяют специальные системы безмасляной откачки (схема IV), где в качестве основных насосов используют электроразрядные типа ЭДТ, магниторазрядные типа НОРД, дуговые, геттероидные типд ГИН, турбомолекулярные насосы 10, работа которых не связана с рабочими жидкостями. Диффузионные насосы малой производительности иногда используют только для откачки инертных газов. [c.80]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...