Травители для кремния

Кроме того, коррозионное поведение металла связано с образованием слоев из продуктов реакции, которые покрывают его и защищают от дальнейшего разъедания. Например, уже незначительное количество меди способствует повышению коррозионной стойкости стали, вследствие того, что оксид меди, соединяясь с окалиной, образует довольно плотный защитный слой. В железокремнистых сплавах под действием соляной или серной кислоты образуются защитные слои для их образования необходимо, чтобы металл содержал определенное количество кремния (выше 12—13%). Кристаллы матрицы высоколегированных сталей (например, зерна хромистого феррита и зерна аустенита), так же, как и зерна феррита в нелегированной углеродистой стали, могут выявляться как окрашиванием при погружении в травитель, так и оптически после обычного травления поверхности зерен. [c.109]

Травитель 55 [насыщенный на холоду раствор КОН]. Клемм ввел этот раствор для общего контурного травления всех алюминиевых сплавов. Очерчивание промежуточных фаз происходит в результате незначительного распада а-твердого раствора. Средняя продолжительность травления составляет около 5 с. Из промежуточных фаз алюминиды меди, никеля и кобальта приобретают коричневатый оттенок только при длительном травлении. Хотя сплавы алюминия с кремнием можно изучать в нетравленом виде, раствор 55 служит для контрастности при исследовании структуры кремния. Этот раствор обязательно должен быть насыщен на холоду, чтобы была достигнута самая низкая степень диссоциации водного раствора. Вследствие этого поверхность образца плотно покрывается очень мелкими пузырьками газа. [c.269]

Для обнаружения р — п-переходов опробовали действие травителей, в основном тех, которые часто применяются для травления арсенида галлия или кремния и германия [2, 3, 4]. [c.80]

Латеральное разрастание размеров кластеров связано с концентрацией ОН-групп на поверхности. При переходе к более гидрофобной, частично фторированной поверхности общая адсорбционная способность поверхности понижается — рис.7.11, . Хотя за счет фторирования число сильных первичных центров (НгО) росло в 3—5 раз, число ОН-групп, необходимых для формирования пленки, уменьшилось в 19 раз. Поэтому слияние гроздей происходит при более высоких давлениях паров — рис.7.11. Таким образом, фторирование уменьшает общую адсорбционную активность поверхности, но увеличивает активность ЯД-центров. Монокристаллы кремния и пористый кремний, подвергавшиеся обработке во фторсодержащих травителях, обладают более гидрофобной поверхностью, но с весьма активными ЯД-центрами. [c.239]

Травитель 15 [4 г AgNOg 80 мл HF 40 мл HNO3 80 мл Н2О]. Этот раствор Ловелл и др. [8] рекомендуют для германия и кремния. Для кремния они приводят также некоторые другие растворы азотной и плавиковой кислот с добавками азотнокислого серебра. [c.302]

Рис.6.22. Зависимость эффективной скорости поверхностной рекомбинации от поверхностного потенциала для кремния, травленного в СР-4 (1-5) и пи-рагалловом травителе (6,7) после вакуумирования при Р - 10 Па и Г = 370 (1 и 6), 670 (2), 700 (3,7) 850 К (4) и после адсорбции атомов водорода (5)

Полупроводниковые материалы. В течение последних лет ведутся интенсивные поиски способов получения тончайших защитных пленок на поверхности полупроводниковых пластин и приборов. Теоретические расчеты показали, что такие пленки должны иметь высокое удельное электросопротивление, эффективную маскирующую способность и обеспечивать стабильность параметров полупроводниковых приборов. Проведенными в Институте опытами установлено, что методом осаждения стеклообразователей из раствора можно получить пленку стекла толщиной 0.1 —1.0 мк, которая обладает удельным электрическим сопротивлением 10 —10 ом-см, эффективной маскирующей способностью в процессе внедрения диффузантов, устойчивостью во влажной атмосфере, высокой термостойкостью, растворимостью в обычных травителях и характеризуется хорошей адгезией с использованием для фотолитографии резистом. Процесс получения пленок из раствора более производителен и осуществляется при более низкой температуре, чем процесс термического оплавления кремния. Метод получения пленок применяется при изготовлении приборов по планарной технологии. [c.8]

Оберхоффер [141 использовал травитель 9 для изучения распределения кремния в стали. [c.49]

Травитель 59 [NaaSjOs — добавка до насыщения 2 г KHSO4 100 мл Н2О]. Этот травитель ввел в практику металлографии Клемм [60]. Для цветного травления необходимо удалить с поверхности шлифа деформированный слой. Продолжительность травления составляет 60 с. В невысушенном состоянии поверхность шлифа окрашена в различные оттенки коричневого цвета. Только после высушивания они приобретают истинную окраску окраска постепенно меняется при вылеживании на воздухе. После длительного вылеживания (до 6 мес) происходит дополнительное окрашивание образцов, подвергнутых кратковременному травлению. В присутствии сегрегаций, например кремния, марганца и фосфора, образование пленки при травлении в первую очередь определяется этими элементами, влияние различий в ориентировке отступает на второй план. Так, образование в сварочной стали зон обогащенного фосфором феррита приводит к распространению одинаковой окраски на многие зерна. [c.98]

Травитель 43 [30 мл НС1 5 г Fe lg по 30 мл этилового и амилового спирта 5 мл Н2О], Этот травитель рекомендуют Криц и Поборил [30] для сплавов железо—углерод—кремний с 10% Si и 0,22—1,35% С, [c.119]

Травитель 46а [2 г пикриновой кислоты 25 г NaOH 75 мл НаО]. Травитель 466 [2 г пикриновой кислоты 25 г КОН 75 мл НаО]. Травитель 46в [10 мл HNO3 10 мл HF 60 мл Н2О]. При рассмотрении макротравления уже была рассмотрена пригодность некоторых реактивов для микротравления. Кипящие растворы 46а и 466 придают окраску образцам соответственно в течение 3 и 10 мин. Реактив 46в окрашивает коррозионностойкий кремнистый сплав в литом состоянии с содержанием, % С 0,59 Si 14,5 Мп 0,24 Р 0,065. При этом удается выявить ликвацию кремния. Реактивы для микротравления позволяют выявлять ликвацию внутри твердого раствора и строение эвтектики. Особенно отчетливо, по данным Кербера, микроструктура ликвации выявляется травителями 46а и 466. Окраска указывает на увеличивающуюся от внутренних слоев к поверхности химическую стойкость твердого раствора. Путем циклического травления погружением в реактивы 46а и 46в, по данным Хурста и Релея [35], можно внутри металлической матрицы выявить границы вторичных зерен, которые ранее Васмуч [36] обнаружил только при электролитическом травлении. [c.121]

Травитель 16 [раствор КМПО4 добавка НС1]. Травитель 17 [раствор HF]. Два способа травления рекомендует Ролл [8] для выявления степени чистоты кремния. Травление раствором 16 происходит в присутствии хлора. Кварцевые включения не травятся в течениеЗ-ч обработки при 50° С, но другие силикаты хорошо выявляются. [c.160]

Травитель 18 [5 мл HNO3 5 мл HF 90 мл Н2О]. Этот реактив, по данным Темплина [9], пригоден для исследования чистого кремния как и у аустенитных сталей, выявляются границы зерен и двойников. [c.160]

Травитель 40 [12,5 г (NH4)2Sa08 12,5 г НС1 100 мл НаО]. Кислый раствор персульфата аммония, рекомендованный Норт-коттом [М ] для выявления субструктуры нержавеющих сталей, при длительном травлении выявляет субструктуру сплавов меди с алюминием. Медные сплавы с алюминием, кремнием, а также оловом склонны к образованию при травлении пленки, которую иногда можно принять за субструктуру. Эта пленка может быть легко устранена последующей обработкой в разбавленной соляной кислоте или сильно кислом растворе персульфата аммония. [c.210]

Травитель 42 [6,6 мл 48%-ной HF 13,3 мл HNO3 13,3 мл НС1 100 мл H2OI. Этот видоизмененный раствор Тукера (см. реактив 4) характеризуют как макрореактив, общеприменимый для всех литейных и деформируемых сплавов с высоким содержанием кремния. Образцы погружают в раствор или промывают им, затем споласкивают горячей водой и просушивают. [c.265]

Травитель 44 [15—16 г u la 100 мл Н2О]. Этот реактив Рейнольдс и Юм-Розери [39] рекомендовали для сплавов алюминий— кремний (литье в песчаные формы и кокильное литье с содержанием 5, 10 и 11% кремния в немодифицированном и модифицированном состояниях), так как большинство реактивов растворяют толькд алюминиевый твердый раствор как основную структуру без всякого контрастного различия. Образцы травят 5—10 с [c.265]

Дислокации в кремнии выявляют на шлифах, отполированных хи.мическим путем (см. работу 3). Травитель свежеприготовленная смесь из 1 ч. плавиковой кислоты и 1 ч. водного раствора хромового ангидрида (раствор 100 г хромового ангидрида в 200 см воды). Для травления следует взять шлиф фторопластовыми щипцами, погрузить его в приготовленный холодный раствор полированной стороной вверх на 10—15 мин., и затем моментально промыть водой. Качество травления проверяют под микроскопом при увеличении 100—200. [c.59]

Для травления кремния был использован газовый травитель, состоящий из смеси I2F2 и О2 в соотношегош 5 1 соответственно. Кислород добавлялся для увеличения количества химически активных атомов фтора и хлора и подавления органических загрязнений на поверхности травления. Для увеличения скорости травления крем- [c.280]

Травитель Па [Юг I 100 мл спирта]. Травитель 11б мл 0,1 н. раствора I, 100 мл спирта]. Действие редко применяемого спиртового раствора иода подобно действию травителя б Оберхоффер [14] использовал травитель 9 для изучения распределения кремния в стали. В настоящее время растворы иода редко применяют в качестве травителей. [c.71]

Травитель 39 [50 мл ННОз 50 мл НР]. Указанной смесью Фрагмен [27] выявлял структуру сталей, обогащенных кремнием. Для сталей с низким содержанием кремния раствор разбавляется равным или двойным количеством воды. Длительность травления составляет 30 с. [c.151]

Травитель 40а [25 мл НР 50 мл этилового спирта 25 мл НгО]. Травитель 406 [50 мл НЫОз 50 мл Н2504]. Оба реактива пригодны, по данным Барадук-Мюллера [28], для выявления структуры спдавов железо — кремний. Если в растворе 40а (длительность травления от 2 мин до 6 ч) не происходит растравливания через 5 мин, то по капле добав- [c.151]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...