ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Латеральное разрастание размеров кластеров связано с концентрацией ОН-групп на поверхности. При переходе к более гидрофобной, частично фторированной поверхности общая адсорбционная способность поверхности понижается — рис.7.11, . Хотя за счет фторирования число сильных первичных центров (НгО) росло в 3—5 раз, число ОН-групп, необходимых для формирования пленки, уменьшилось в 19 раз. Поэтому слияние гроздей происходит при более высоких давлениях паров — рис.7.11. Таким образом, фторирование уменьшает общую адсорбционную активность поверхности, но увеличивает активность ЯД-центров. Монокристаллы кремния и пористый кремний, подвергавшиеся обработке во фторсодержащих травителях, обладают более гидрофобной поверхностью, но с весьма активными ЯД-центрами. [Выходные данные]