Пушка аксиальная

Пучок ионный — Получение 441 Пушка аксиальная 430 [c.488]

В мощных электронно-лучевых испарителях применяют электронные пушки с аксиальным пучком и с ленточным плоским пучком электронов. Отклонение электронных пучков (лучей) и управление ими осуществляется с помощью магнитных систем. Можно поочередно направлять луч на близко расположенные объекты (тигли, стержни, навески) и напылять послойно пленки из разных материалов. Сконструированы также двухлучевые прожекторы, с помощью которых можно одновременно испарять два различных материала и получать пленки из сплавов и смесей. Если необходимо, используют несколько электронных пушек. Процесс ведут в вакууме 6,7(10 2— Ю- ) Па [5(10 — 10 ) мм рт. ст.] [37]. [c.40]

Для нагрева испарителей применяют аксиальные пушки и пушки с плоскими (ленточными) лучами. Проблема повышения долговечности катодов решается использованием систем поворота луча на 90—270°, что позволяет удалить катод от зоны интенсивного испарения металла и предотвратить тем самым его эрозию при бомбардировке ионизированными парами. С этой же целью всю систему формирования луча часто помещают в замкнутый объем, откачиваемый независимо от рабочей камеры до более высокого вакуума, а электронный луч вводят в рабочую камеру через небольшие отверстия или щели. Металл испаряется из тиглей, которые снабжены системами непрерывной загрузки. Чаще всего применяют медные водоохлаждаемые, керамические, металлокерамические или графитовые тигли. [c.214]

Рис. 117. Зависимость скорости испарения алюминия от мощности аксиальной пушки [202]

Для сварки обычно применяются аксиально-симметричные конические, реже цилиндрические электронные пучки. Формирование мощного электронного пучка с малыми поперечными размерами осуществляется сварочной электронной пушкой с высоковольтным источником питания и системами управления. Схема получения электронного л) ча показана на рис. 6.12. [c.415]

На рис. 7.13 показана электронно-лучевая гарниссаж ная промышленная установка для литья тугоплавких металлов, в которой находятся четыре аксиальные пушки мощностью 120 кВт каждая. Емкость тигля для плавки титана 6 л. Печь снабжена системой дистанционного наблюдения и управления процессом. [c.275]

В агрегате алюминирования полосовой стали на Лысьвенском металлургическом заводе применены две пушки аксиального типа 16 и. л. Ройх 241 [c.241]

В настоящее время получили распространение два типа электронно-лучевых пушек для испарения материалов аксиальные, формирующие осесимметричный пучок электронов плосколучевые, преобразующие первоначальный плоский пучок электронов в цилиндрический. Аксиальные пушки обычно имеют две независимые электромагнитные линзы для фокусировки луча и управления им. Катод в аксиальных пушках выполнен в виде массивной шайбы из вольфрама или тантала и имеет косвенный нагрев. В плосколучевых пушках прямолинейный катод из вольфрамовой проволоки нагревают прямым пропусканием тока. Электромагнитная система преобразования плоского луча в цилиндрический и управления лучом выполнена в виде одного блока [16, 28]. Мощность пушек, применяемых для осаждения жаростойких покрытий, изменяется в достаточно широких пределах в зависимости от типа покрытий и размеров изделий (25... 150 кВт), ускоряющее напряжение 20 кВ. [c.430]

Производительность установок определ i-ется непрерывностью ведения процесса испарения и согласованием времени выполнения ряда технологических операций (загрузки деталей, нагрев, осаждение покрытия) с операциями охлаждения деталей, извлечения из вспомогательной камеры, загрузки новой партии лопаток. Для решения этих задач в установке ES -30/300S (рис. 1. 9) фирмы Лей-больд-Гереус предусмотрены четыре шлюзовые устройства (по два с каждой стороны камеры испарения). После подогрева лопаток в промежуточной камере детали вводятся в рабочую камеру, оснащенную прямоугольным испарителем, где на них наносится покрытие. Электронно-лучевой испаритель состоит из водоохлаждаемого медного тигля 3 (120 х 4S0 мм), через днище которого снизу вверх одновременно подаются пять слитков, и двух аксиальных электронно-лучевых пушек 12 мощностью 150 кВт каждая. Для подогрева изделий в процессе осаждения покрытия применяются дополнительные электронные пушки, которые снабжены отклоняющей системой, разворачивающей лучи на угол более 90°. [c.432]

Электронно-лучевой метод нагрева. Наиболее простой является схема электронно-лучевого нагрева, в которой стальная полоса служит заземленным анодом диодной электронной пушки [52]. Накаленные нити из материала с высоким коэффициентом термоэмиссии (катоды) помещают на небольшом расстоянии от полосы, и подают на них высокий отрицательный потенциал (порядка нескольких киловольт). Недостатком такой системы является необходимость поддержания в камере нагрева высокого вакуума (10 —10 Па) во избежание возникновения газового разряда и короткого замыкания высоковольтного выпрямителя. Выполнить это условие очень трудно, так как при нагреве происходит интенсивное газовыделение из стали. Поэтому чаще применяют более сложные электронно-лучевые системы с аксиальными или плоеколучевыми пушками. Индивидуальная откачка блока фор-234 [c.234]

Конструкция мощных электронно-лучевых пушек для испарения металлов. Для испарения металла в непрерывных линиях применяют плосколучевые и аксиальные пушки с отдельной откачкой катодно-анодного узла. Для защиты от паров металла и брызг пушки располагают ниже уровня поверхности расплава или вдали от нее. Электронный поток, эмиттируемый разогретым вольфрамовым катодом, после фокусировки движется по искривленной траектории и попадает на поверхность испарителя. Для равномерного распределения мощности нагрева по поверхности металла электронный луч при помощи магнитной отклоняющей системы заставляют сканировать по поверхности расплава. Разработаны методы управления электронным лучом, позволяющие концентрировать повышенную мощность на отдельных участках испарителя, например, на краях тигля и повышать тем самым равномерность толщины покрытий [219]. [c.238]

Сравнение аксиальных и плосколучевых пушек описано в работе [202]. Показателем работы электронно-лучевого испарителя является зависимость количества испаренного за единицу времени веш,ества от электрической мош,ности пушки. На рис. 117 приведена такая зависимость для аксиальных, а на рис. 118 — для плосколучевых пушек. [c.239]

В плоском луче постоянная пространственного заряда больше, чем в цилиндрическом, поэтому в плосколучевых пушках достижима большая мощность, чем в аксиальных. Кроме того, к. п. д. плосколучевых пушек выше. Однако аксиальные пушки легче поддаются регулировке и управлению, поэтому их можно располагать далеко от зоны испарения, даже от рабочей камеры. Конструкция плосколучевых пушек проще, но их следует помещать вблизи испаряемой поверхности, так как управлять плоским лучом на большом расстоянии от анодно-катодного узла очень трудно. В настоящее время разрабатываются оба типа электронно-лучевых пушек. [c.239]

Серия пушек аксиального типа для испарения в вакууме разработана фирмой Лейболд—Гереус (ФРГ). В опытно-промышленном агрегате применены испарительные блоки мощностью 100 кВт, состоящие из двух керамических тиглей и четырех аксиальных пушек. Электронные лучи круглого сечения входят в рабочую камеру через небольшие отверстия, так что режим работы пушки не зависит от давления в вакуумной камере, скорости испарения и газовыделения при испарении. Магнитная отклоняющая система поворачивает луч на 180° и направляет его в тигель. Предусмотрено сканирование луча по поверхности расплава. Такое устройство предназначено для нанесения покрытий на непрерывно движущуюся стальную полосу шириной 400—600 мм. Тигли для испарения алюминия имеют стальной кожух, охлаждаемый водой и облицованный толстостенной керамикой срок службы тигля порядка 100 ч [148]. [c.240]

В институте Манфреда фон Арденне (ГДР) разработана серия электронно-лучевых аксиальных пушек для плавки и испарения, в том числе пушка ЕМО 60/2 мощностью 60 кВт 220]. Пушка имеет индивидуальную откачку, поэтому режим ее работы не нарушается даже при повышении давления в рабочей камере до 1 Па. В пушке применена двухэлектродная система генерирования луча. Массивный вольфрамовый катод диаметром 12 мм с полусферической эмиттирующей поверхностью разогревается электронной бомбардировкой до температуры 2800° С. Фокусирующий электрод располагается концентрично и имеет потенциал катода. Анодное отверстие диаметром 12 мм находится на расстоянии 10 мм от катода, что обеспечивает хорошую фокусировку, и поэтому водяное охлаждение анода не применяется. Ускоряющее напряжение пушки ЕМО 60/2 составляет 20 кВ. Электронный луч формируется двумя магнитными линзами, и для управления ими применена магнитная отклоняющая система. [c.241]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...