ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Конструкция мощных электронно-лучевых пушек для испарения металлов. Для испарения металла в непрерывных линиях применяют плосколучевые и аксиальные пушки с отдельной откачкой катодно-анодного узла. Для защиты от паров металла и брызг пушки располагают ниже уровня поверхности расплава или вдали от нее. Электронный поток, эмиттируемый разогретым вольфрамовым катодом, после фокусировки движется по искривленной траектории и попадает на поверхность испарителя. Для равномерного распределения мощности нагрева по поверхности металла электронный луч при помощи магнитной отклоняющей системы заставляют сканировать по поверхности расплава. Разработаны методы управления электронным лучом, позволяющие концентрировать повышенную мощность на отдельных участках испарителя, например, на краях тигля и повышать тем самым равномерность толщины покрытий [219]. [Выходные данные]