Защитные покрытия осаждения в вакууме

Рис. 1.10. Электронно-лучевая установка УЭ-175 М для совместного испарения металлов и химических соединений и нанесения защитных покрытий осаждением в вакууме

Метод ионного осаждения покрытий в вакууме основан на термическом напылении защитного металлического покрытия на защищаемую деталь в газовом разряде [70]. При этом обрабатываемая металлическая деталь (подложка) является катодом, испаритель — анодом тлеющего разряда. Металл, используемый в качестве покрытия (подложка), напревают любым методом электрическим, электронно-лучевым и др. Пары [c.125]

На рис. 1.8 приведена схема специализированной электронно-лучевой установки периодического действия для нанесения защитных покрытий испарением в вакууме из одного источника [26]. Рабочая камера установки разделена на камеру 1 испарения и полость электронно-лучевой пушки 9. Пушка является составной частью испарителя 11, который установлен в нижней части рабочей камеры. Специальными полюсными наконечниками электронный луч изгибается на 270° и фокусируется на торце слитка 10. Расплавленный металл разогревается до температуры, при которой скорость осаждения парового потока на подложке достигает 15 мкм/мин. Процесс испарения ведется при разрежении не ниже 10 Па. В установке предусмотрено раздельное вакуу-мирование камеры испарения и полости электронно-лучевой пушки механическими и диффузионными насосами. [c.431]

Рис. 1.8. Схема электронно-лучевой установки для нанесения защитных покрытий на лопатки газовых турбин осаждением в вакууме

Методы нанесения покрытий в условиях разрежения (вакуума), в зависимости от особенностей, превращения материала покрытия в парообразное состояние с последующей конденсацией на защищаемой поверхности, часто называемой подложкой, можно разделить на три вида катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Хотя настоящая книга целиком посвящена вопросу применения термического напыления в вакууме для нанесения защитных покрытий, целесообразно кратко рассмотреть и другие методы получения покрытий в вакууме, сравнив их достоинства и недостатки. [c.5]

Эффективную противокоррозионную защиту оборудования обеспечивают покрытия, для получения которых могут быть использованы основные методы нанесения покрытий в вакуумег катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Из них наиболее перспективным вследствие высокой эффективности защитного действия является метод ионного осаждения в вакууме. [c.125]

Ионное осаждение в вакууме позволяет получать почти беспористые покрытия толщиной порядка 1 мкм. Вследствие особенностей процесса ионного осаждения пористость, вызванную загрязнениями поверхности детали, можно регулировать либо вообще устранять. Низкая пористость ионных покрытий -связана также с тем, что атомы в осажденном покрытии имеют обычно плотную упаковку. Благодаря малой пористости по-жрытия, полученные методом ионного осаждения в вакууме, имеют большую защитную способность, чем покрытия, полученные другими методами. [c.128]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...