Химические реакции — Относительное изменение скорости в зависимости от температуры

При очень высоких температурах скорость химической реакции настолько возрастает, что процесс горения в целом начинает определяться скоростью диффузии, скоростью подвода окислителя, т. е. гидродинамическими факторами. Зависимость изменения скорости горения от температуры t и соотношение кинетической и диффузионной областей горения показано на рис. 3.4. Скорость диффузионного горения не зависит от температуры и растет с увеличением относительной скорости w газового потока окислителя и уменьшением размера d частиц. [c.238]

Сложные интерферограммы. Более сложные интерферограммы регистрируются в случае, когда изменяется не только температура пластинки, но и отражательная способность поверхности. Папример, при нагревании в кислородной плазме монокристаллов кремния с прозрачной полимерной пленкой на поверхности происходит уменьшение толщины пленки вследствие химической реакции атомарного кислорода с полимерными молекулами, при этом образуются летучие продукты реакции. Интерферограмма при нагревании кристалла и травлении прозрачной пленки на его поверхности имеет вид, показанный на рис. 6.7. Толщина пленки уменьшается от начального значения Но 1,2 мкм до нуля при i 70 с. Высокочастотные осцилляции интенсивности отраженного света связаны с изменением температуры кристалла, а низкочастотная модуляция обусловлена периодическим изменением коэффициента отражения поверхности, на которой имеется пленка переменной толщины. Наличие модуляции приводит к небольшому периодическому смещению интерференционных экстремумов, связанных с изменением температуры кристалла, относительно их положений в отсутствие пленки. Это смещение проявляется в виде небольших вариаций моментов времени, в которые достигаются интерференционные экстремумы, и фиктивных осцилляций скорости нагревания (16/(И, показанных на рисунке. Устранить осцилляции можно несколькими способами а) сглаживанием зависимости 6[1) с помощью полиномов б) использованием образцов, у которых пленка удалена [c.139]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...