Интерферометры — Стандарты

Толщину пленки измеряли на профилографе по величине уступа, получающегося в результате экранирования части поверхности подложки во время напыления. Точность измерения составляла 50 А. Эти результаты измерений толщин сопоставляли с измерениями на интерферометре Линника И-10 примерно с той же ошибкой. С удовлетворительной точностью такими способами можно было измерять толщины пленок выше 500 А. Толщины пленок в интервале О—500 А рассчитывали по толщинам более толстых пленок, являющихся стандартом и полученных путем помещения подложки при напылении на более близком расстоянии от источника испарения металла. Предполагалось, что источник испарения точечный, так как испарение происходило из сферической капли диаметром 3—6 мм, а напыляемый образец находился на расстоянии не ближе 50 мм,. и толщина осаждаемых пленок обратно пропорциональна квадрату расстояния от источника. [c.16]

При проведении описанных выше измерений следует соблюдать ряд предосторожностей. Ввиду того что в приведенное выше выражение входит показатель преломления, необходимо, чтобы он оставался постоянным при измерениях как стандарт-ной, так и неизвестной длин волн. Это требование можно отчасти выполнить, если интерферометр поместить в герметичную и термостатированную камеру. Однако, даже если давление и температура совершенно одинаковы при измерении обеих длин волн (например, если экспозицию эталонного и неизвестного излучения производить одновременно), при обработке результатов необходимо учитывать дисперсию показателя преломления воздуха [75]. Если эталон вакуумирован, необходимо внести поправку на дисперсию в покрытиях зеркал эталона. В случае серебряных и алюминиевых зеркал этот эффект весьма мал и имеются достаточно хорошо разработанные методы уменьшения вносимых при этом ошибок. В случае же диэлектрических покрытий необходимые поправки значительно больше. Для полного ознакомления с данным вопросом читателю следует обратиться к литературе [46]. [c.356]

Ни тот, ни другой методы не позволяют измерять исключительно узкие линии газовых лазеров. Установлено, что для линии 1,15 мк гелий-неонового лазера контрастность полос интерферометра Майкельсона Национального бюро стандартов [17] остается практически постоянной при разности хода от О до 200 м. Единственное, что можно сказать на основании таких измерений о ширине линии, — это то, что она значительно меньше предельной разрешаюш,ей способности интерферометра 5 10 нм. [c.421]

Разработаны методы, в которых рентгеновский интерферометр сочетается с оптическим так, что для измерения одних и тех же смещений кристалла используются оба вида излучения. Это означает, что рентгеновские длины волн и параметры решетки кристалла можно рассматривать как фундаментальные стандарты длины, определенные с помощью длин волн отдельных оптических спектральных линий, что дает возможность повысить абсолютную точность этих величин на несколько порядков . [c.335]

На ряд этих методов имеются государственные стандарты. В этом параграфе рассмотрим интерференционные методы,, которые позволяют получить наибольшую точность, а в ряде случаев являются единственно возможными. Сущность интерференционных методов состоит в определении разности хода, вносимой образцом, когда его помещают в интерферометр. [c.217]

Поскольку значение длины волны красной линии кадмия принято, по определению, в качестве стандарта, очень важной является точность определения других длин волн по отношению к длине волны первичного стандарта. Непосредственное сравнение с красной лннией кадмия проводится интерферометрическим методом. Для этого иснользуются интерферометры и дифракционные решетки ). Принцип определения основывается на наложении интерференционных полос различных порядков [c.418]

Вслед за первичным стандартом применяются вторичные стандарты, установленные с помощью интерфе-рометрических измерений (используется главным образом интерферометр Майкельсона). Ошибка составляет 10 нм. Вторичные и соответствующие им третичные длины волн собраны в спектральных атласах, так что в видимой области и в прилегающих к ней спектральных областях имеется большое число линий, которые могут использоваться для калибровки спектральных приборов по длинам волн. Новые успехи в этом направлении достигнуты с помощью лазерной спектроскопии высокого разрешения, особенно в инфракрасной области. [c.43]

Холл и Ричард Л. Баргер стабилизировали источник лазерного света своего интерферометра Фабри—Перо, запирая его частоту в линию инфракрасного спектра метана с длиной волны 3,39 микрона. Частота этой линии определяется атомными константами, и поэтому удается обойти проблему механической стабилизации стандарта длины. Полуширина линии метана с длиной волны 3,39 микрона составляет около 10 так что с помощью нее можно достичь соответствующей стабильности лазера. [c.136]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...