Метод сублимации-конденсации

Метод сублимации-конденсации применяется при получении монокристаллических диэлектриков и полупроводников, обладающих высоким давлением паров, или в случае высокой реакционной способности вещества. В этих случаях выращивание проводится в замкнутых или проточных системах. Процесс осуществляется при возгонке простого вещества или устойчивого соединения и конден- [c.314]

Чем метод сублимации-конденсации отличается от метода осаждения из газовой фазы [c.316]

Метод сублимации-конденсации 257 [c.257]

Метод сублимации-конденсации [c.257]

Метод сублимации-конденсации можно применять для выращивания конгруэнтно испаряющихся полупроводниковых соединений и твердых растворов на их основе, компоненты которых обладают достаточно высокими давлениями паров (и1 мм рт. ст.), а также в случаях, когда кристаллы материалов сложно вырастить другими методами. Выращивание кристаллов этим методом проводят в замкнутых или проточных систе- [c.257]

Рис. 6.15. Схемы выращивания кристаллов методом сублимации-конденсации и распределение температуры в реакционной камере а — замкнутая система б — проточная система.

Сущность метода сублимации-конденсации заключается в возгонке (или испарении) исходного вещества и последующей конденсации паров на растущей поверхности. Метод характеризуется тем, что состав растущего кристалла практически идентичен составу источника, а паровая фаза состоит только из атомов или молекул, образующих источник и кристалл. В зависимости от паровой среды массоперенос в замкнутых системах осуществляется либо молекулярными пучками (в вакууме), либо молекулярной или конвективной диффузией. Лимитирующей стадией роста обычно является массоперенос подвод кристаллизующегося материала к поверхности роста. Рост кристалла происходит в диффузионной области. [c.258]

При выращивании кристаллов из газообразной фазы в проточных системах методом сублимации-конденсации пары исходного вещества вводятся в зону кристаллизации потоком инертного газа (водород, аргон и [c.259]

В методе испарения (сублимации) - конденсации нанопорошок получается при испарении металла, сплава или полупроводника при контролируемой температуре в атмосфере благородного газа низкого давления с последующей конденсацией пара вблизи холодной поверхности или на ней. В отличие от испарения в вакууме , атомы вещества, испаренного в разреженной инертной атмосфере, быстрее теряют кинетическую энергию из-за столкновений с атомами газа и образуют кластеры. Данный метод можно применять и [c.400]

В последние годы значительно расширилась область исследований тепло- и массообмена при конденсации в вакууме, при сублимации, при плавлении и затвердевании. Общие методы исследования процессов тепло- и массообмена при изменении агрегатного состояния широко используются в холодильной технике и других областях техники. [c.13]

Метод Ленгмюра позволяет точно определить коэффициент конденсации а по измеренной скорости сублимации вещества, если известно давление его паров. [c.425]

Для расчета тепло- и массообмена при испарении, конденсации, сублимации и десублимации предлагались также чисто эмпирические обобщенные соотношения [7], которые в большинстве случаев дают результаты, близкие к получающимся на основе методов аналогии. [c.274]

Химические методы получения простых полупроводников и чистых элементов, используемых при легировании и в производстве сложных полупроводниковых материалов, обеспечивают высокую степень очистки. Дистилляцией (испарение жидкой фазы) удаляют легкоиспаряющи-еся примеси, ректификацией (многократное испарение и конденсация) — примеси, имеющие невысокие температуры плавления, испарения и большой интервал жидкого состояния. Сублимацией (испарение твердой фазы) очищают от механических примесей и газов и получают монокристалл. Перечисленными методами можно получать монокристаллы с высоким значением удельного электросопротивления. Например, монокристалл германия при р = 0,10 Ом -м содержит в 1 м 10 ° атомов примесей (см. рис. 18.10). [c.590]

Вакуумные десублиматоры. Наиболее распространенной системой удаления пара, выделяющегося в процессе вакуумной сублимации, является конденсация его в твердое агрегатное состояние (десублимация) на теплоотводящей поверхности. Температура теплоотводящей поверхности поддерживается на более низком уровне, чем температура сублимации. В установках сублимационной сушки десублиматоры (конденсаторы-вымораживатели) выполняются в виде набора труб или полых плоских панелей, внутри которых кипит холодильный агент (аммиак, фреон). Влага осаждается в виде льда на охлаждаемых элементах десублиматора. Существуют и другие методы удаления пара с помощью адсорбентов или систем непосредственной эвакуации парогазовой среды эжекторными вакуумными насосами. Однако опыт работы промышленных установок показывает преимущество десублиматоров. [c.555]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...