Некоторые полупроводниковые материалы и их параметры

Процессы диффузии очень распространены и играют огромную роль во многих важнейших технологических процессах получения и обработки полупроводников, а также при фазовых и структурных превращениях. Диффузия примесей лежит в основе процесса гомогенизации свойств материала при термообработках, в ряде случаев лимитирует очистку, играет огромную роль при распаде пересыщенных твердых растворов, их упорядочении и разупорядочении. Процессы диффузии используются для получения р — я-переходов, для формирования базовых и эмиттерных областей и резисторов в биполярной технологии изготовления полупроводниковых приборов, для создания областей истока и стока в МОП-техно-логии и т. д. Поэтому знание основных законов диффузии, диффузионных параметров примесей необходимо для выбора оптимальных режимов технологических операций, а также для понимания некоторых эффектов, проявляющихся в процессе изготовления полупроводниковых схем и приборов. [c.283]

Общие решения по конструкции и технологии устройства не могут выходить за ограничения, связанные с природой материала, поэтому первое положение имеет особое значение. Его можно про-иллкэстрировать табл. 7, в которую сведены некоторые физические параметры ряда полупроводниковых материалов [70, 71]. [c.172]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...