Современные методы получения вакуума

СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА [c.367]

Отличительные особенности современной технологии получения полупроводниковых монокристаллов германия и кремния сводятся к двум операциям очистке методом зонной плавки в вакууме и выращиванию монокристаллов (вытягивание из расплава). Сущность очистки при зонной плавке (рис. 5-6) заключается в том, что в зоне расплава большинство примесей перемещается в направлении к холодному месту слитка при медленном перемещении зоны плавки вдоль бруска очищаемого материала примеси сосредоточиваются в одном конце и удаляются после плавки и охлаждения обрезкой. Зонная плавка германия 5 производится в графитовых лодочках 4, которые помещаются в вакуумируемые кварцевые трубы 1. Вокруг кварцевой трубы расположены витки высокочастотного индуктора 2, образующие в слитке узкие зоны плавления 5, перемещение [c.280]

Техника получения высокого вакуума. В виду высоких требований, которые современная техника предъявляет к П. п., получение высокого вакуума является весьма сложной задачей, которая не ограничивается только удалением воздуха с помощью насоса из П. п., но состоит также в удалении газов со стенок прибора, из находящихся в нем металлич. частей и в удалении остатков газа не только с помощью насоса, но химическими и другими методами. Таким образом удается в конце концов получить вакуум порядка 10" —10 мм Hg. Следующие основные методы применяются для получения высокого вакуума. [c.269]

Рассмотрим сначала особенности первой группы методов. В современной технологии полупроводников широкое распространение получили технологические процессы получения монокристаллов из паровой фазы в системах с пониженным давлением (в вакууме). К преимуществам выращивания кристаллов в вакууме относятся чистота условий получения материалов и изученность закономерностей массопереноса в вакууме, последнее позволяет научно обосновать и автоматизировать технологические процессы. [c.251]

Измерения Лебедева дали величину, согласующуюся с теорией Максвелла (с точностью до 20%). Много лет спустя (1923 г.) Герлах повторил опыты Лебедева, пользуясь современными более совершенными методами получения вакуума. Благодаря этому не только значительно облегчилось выполнение опытов, но и удалось получить лучшее (до 2%) совпадение с теоретическими величинами. [c.663]

Данная глава рассказывает о современном состоянии исследований свойств хемосорбированного водорода. Эта область науки в значительной мере обязана своими успехами последним достижениям техники получения ультравысокого вакуума, способной обеспечить чистоту поверхностей адсорбентов, а также квантов.омеханическим и статистико-термодинамическим методам получения надежной информации о хемосорбированном состоянии. Обзор теоретических исследований хемосорбированного состояния начинается с традиционного рассмотрения электронной структуры неограниченного кристалла. Нарушение конфигурации электронов кристалла, связанное с созданием поверхности, принимается во внимание при описании поверхностных состояний и распределения электронов на поверхности металлов (см. 2, п. 1). Хемосорбция водорода на собственных полупроводниках, таких, как Ое и 51, или на примесных полупроводниках, таких, как ZnO, обсуждается в 3 с учетом поверхностных состояний. В случае металлов на основе квантовомеханического рассмотрения делается вывод о существовании двух видов хемосорбированного состояния — г-состояний и -состояний хемосорбированного водорода, условно называемых г- и 5-ато-мами ( 4). [c.11]

Получение тонких пленок испарением металлических и неметаллических материалов в высоком вакууме является перспективным методом, особенно важным для современной технологии йнтегральных пленочных микросхем. Метод вакуумного испарения позволяет наносить любые пленки — проводящие, резистивные, диэлектрические, полупроводниковые, магнитные, защитные — почти на любые подложки при однотипном, единообразном технологическом цикле. Последнее обстоятельство создает главную предпосылку для автоматизации процесса, без чего повторяемость требуемых результатов и рентабельность производства мало реальны. [c.38]

Современная аппаратура для получения П. к. состоит в следующем (вакуум-метод Эккельта [ ], фиг. 1). Разложение aFj серной к-той производится в чугунном котле [c.254]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...