Германий Химическое травление

Составы травителей, используемых при химическом травлении поверхности германия [c.406]

Химическое травление применяют также и для матирования или полирования поверхности полупроводника. Применительно к германию и кремнию химическое травление основано на использовании сильных окислителей в смеси с веществом, растворяющим окислы по мере их образования. Сильными окислителями являются азотная кислота или перекись водорода. Для растворения окислов используют плавиковую кислоту. [c.25]

Химическое матирование стекла. Способ химического матирования стекла известен уже три столетия. Его начали применять, по-видимому, в Германии (в Нюрнберге), но составы ванн для травления и матирования стекла хранились в секрете, так что позже эта техника была совершенно забыта. Только в 1725 г. снова появились сообщения с рекомендациями по травлению стекла. В то время еще не было разработано никакого теоретического обоснования действия фтористоводородной кислоты на стекло. [c.6]

В результате химической переработки исходного сырья образуется тетрахлорид германия, который путем дальнейших операций переводят в диоксид германия (GeOs) — порошок белого цвета. Диоксид германия восстанавливается в водородной печи при температуре 6М—700 С до элементарного германия, представляющего собой серый порошок. В некоторых случаях порошок германия получают непосредственно из Ge l4 путем разложения этого соединения при высокой температуре в атмосфере паров цинка. Порошок германия подвергают травлению в смеси кислот и сплавляют в слитки. Слитки германия используют в качестве исходного материала для получения особо чистого германия методом зонной плавки или же для непосредственного получения монокристаллов методом вытягивания из расплава (метод Чохральского). [c.251]

Пугх и Самуэльс [33] советуют применять раствор СР-4 также для травления германия. Велер и Ханеманн [41 ] пользуются раствором СР-4 для химического травления дырок в германии и кремнии. [c.294]

Новейшее развитие радиоэлектроники и широкое использование ее в различных областях техники предусматривают самое широкое применение полупроводниковых металлических материалов и, в частности, германия и кремния. Возможность получения совершенных полупроводниковых приборов, отвечающих запросам современной техники, О Пределяется не только исходными электрическими свойствами материала полупроводников, но в большей степени зависит также и от их поверхностных свойств. Например, выбранная технология обработки поверхности при изготовлении полузфоводниковых приборов (химическое травление), а также после-лующпе ноздействие на поверхность полупроводникового прибора окружающей атмосферы заметно изменяют и его электрические свойства. Успешное разрешение вопроса о получении полупроводников с заданными стабильными свойствами в значительное мере определяется уточнением роли физико-химического коррозионного воздействия внешней среды (травильного раствора или атмосферы) на полупроводниковые свойства этих материалов. [c.584]

Одним из методов определения зарядового состояния быстро диффундирующих примесных ионов является наблюдение их дрейфа в электрическом поле. Впервые такой эксперимент был проведен на литии в германии. Суть его состоит в следующем (рис. 8.8). Диффундирующая примесь наносится на поверхность германия р-типа проводимости кратковременным вплавлением ее в поверхностный слой. При этом реализуется случай точечного источника с неограниченным запасом примесных атомов — капля, вплавленная в кристалл и имеющая радиус много меньщий характерных расстояний диффузии. Далее образец прогревается при заданной температуре Т время для формирования четкого фронта диффузии, представляющего собой полусферу радиуса г. Затем образец охлаждается до комнатной температуры, а исходный источник примеси удаляется щлифовкой и специальным травлением. После травления на поверхности образца остается лунка, концентрично с которой находится диффузионная область, обогащенная литием, которая имеет проводимость я-типа. Затем определяется положение р —я-перехода, располагающегося на поверхности полусферы радиуса гу, с которой в дальнейшем пойдет диффузия. Граница р —я-перехода выявляется, например, химическим окращиванием в специальном красителе или электрическим осаждением титаната бария. Затем образец помещается в постоянное электрическое поле (напряженностью 1-10 В/см), а диффузию проводят при той же температуре Т, что и первый раз. Ток, который пропускается через образец (1-10 А), одновременно используется для его нагрева. Ввиду отсутствия источника дальнейшая диффузия примеси происходит аналогично рассмотренному выше случаю диффузии из ограниченного источника (уравнение (8.19)), то есть радиус полусферы увеличивается за счет обеднения областей прилегающих к бывшему источнику. Одновременно все диффундирующие ионы в соответствии со своим знаком заряда ц будут дрейфовать в электрическом поле со скоростью Удр. = Е, где /1 — эффективная подвижность ионов, связанная с их коэффициентом диффузии соотношением Эйнштейна /х = q/kT)D. Таким образом, центр полусферы после соответствующего прогрева переместится в новое [c.304]

По своим химическим свойствам "ерманий несколько напоминает металический кремний и углерод. Его удельный вес 5,30 и 5,36, температура плавления 950°. Получаемый литой германий очень хрупок. До последнего времени германий не имел широкого технического применения и производился только в небольшом количестве в лабораторных установках. Не так давно была показана возможность применения германия, а также кремния (используя их полупроводниковые свойства) для ряда ценных приборов и установок современной электронной техники. По этим причинам в настоящее время коррозионные и электрохимические свойства этого металла представляют большой интерес. Известно, например, что устойчивость работы германиевых диодов и триодов сильно зависит от состояния их поверхности и возможности прохождения на ней окислительных процессов. Одной из технологических операций приготовления германиевых диодов является процесс их травления. [c.574]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...