Электрические схемы установок индукционного нагрева

Схема одного из вариантов непрерывного процесса получения фольги показана на рис. 128. В вакуумной камере 1 испаряется жидкий металл 2 и его пары осаждаются на непрерывно движущуюся замкнутую ленту 3. Перед входом ленты в зону конденсации паров на нее наносят тонкий слой вещества из источника 4, которое способствует последующему отделению фольги от подложки, т. е. уменьшает адгезию конденсата, не изменяя его физических свойств. Отделенная ножом 5 готовая фольга 6 проходит через систему шлюзов 7 и вне вакуумной камеры сматывается в рулон 8. Непрерывное движение подложки обеспечивается двумя барабанами 9 с электрическим приводом 10. Тигель 11 с испаряемым металлом нагревается резистивным методом, хотя может быть применен индукционный или электронно-лучевой нагрев. Длительная работа установки обеспечивается тем, что предусмотрена система непрерывной подачи в тигель испаряемого металла 12. В рассмотренной установке можно получать фольгу из Т1, Та, N1, Си и А1, причем, если в качестве подложки используется лента из нержавеющей стали, то необходимость в предварительном нанесении разделяющего слоя между подложкой и конденсатом отпадает, так как фольга легко отделяется без такого слоя [227 ]. [c.256]

Схема установки бестигельной вертикальной зонной плавки приведена на рис. 6.4,6. В зажимах (цангах) укрепляется заготовка — цилиндрический или плоский (вначале) стержень перекристаллизуемого материала — и монокристаллическая затравка. Расплавление зоны, как и в горизонтальной плавке, осуществляется с помощью нагревателя. В зависимости от значения удельного электрического сопротивления исходного материала формирование расплавленной зоны осуществляется либо с помощью высокочастотного нагрева (индукционный нагрев), либо с помощью электронно-лучевого нагрева, либо сфокусированным излучением источника света. Такие способы нагрева не вносят загрязнений в обрабатываемый материал. Индукционный нагрев более предпочтителен, поскольку он обеспечивает эффективное перемещивание расплава и, следовательно, выравнивание его состава. Он наиболее часто используется при зонной плавке 51 и некоторых других полупроводниковых материалов. Электронно-лучевой нагрев используется для тугоплавких неразла-гающихся материалов, а радиационный — для обработки непроводящих и диссоциирующих материалов в атмосфере паров и газов. Специальные механизмы обеспечивают вращение верхней и нижней частей стержня относительно друг друга (с целью перемещивания расплава и симметризации теплового режима). Движение зоны вдоль образца осуществляется либо его перемещением относительно источника нагрева, либо перемещением нагревателя относительно образца. Расплав в пределах зоны удерживается силами поверхностного натяжения. [c.233]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...