Подложки из кварца кремния

Поскольку подложка влияет на распространение ПАВ, она должна быть изготовлена из материала, обладающего долговременной стабильностью, небольшим коэффициентом теплового расширения и малой температурной зависимостью скорости распространения ПАВ. К таким материалам относятся сапфир, плавленый кварц, кремний и боросиликатное стекло. В соответствии с используемым тонким пьезоэлектрическим слоем пластина должна быть соответствующим образом ориентирована. [c.530]

В качестве подложек использовались различные материалы, в том числе кварц, стекло, кремний, молибден. Замечено, что тип нанотрубки зависит от структуры подложки, на которой они выращиваются. Так, нанотрубки типа А легче создаются на кварцевой [c.206]

В первую очередь электронный луч применяют для размерной обработки твердых труднообрабатываемых материалов, таких, как алмаз, вольфрам, титан, твердые и высоколегированные сплавы, ковар, инвар, кварц, керамика, рубин, кристаллы кремния, германия, резистивные пленки на ситалловой и кварцевой подложках. [c.616]

Слои тугоплавких металлов, нанесенные на нагревостойкие материалы (кварцевое стекло), можно заш,и-щать, покрывая их тонким слоем двуокиси ремния. Для этого металлизированные детали помещают в камеру, откачиваемую насосом предварительного разрежения, и при 850°i обрабатывают в парах этилсиликата. При этой температуре этилсиликат диссоциирует и образующаяся двуокись кремния конденсируется на пове рхности деталей в виде пленки, толщина которой при 850 °С увеличивается со ско ростью 0,03 мкм/мин. Твердость пленки возрастает при повышении температуры подложки, однако в связи с опасностью быстрого роста зерен эта температура не должна превышать 900 °С. Пленки алюминия на стекле нельзя подвергать действию высоких температур, их можно покрывать надежной защитной пленкой путем напыления двуокиси К ремния в вакууме. Для этого кварцевый штабик диаметром около 1 mim помещают в плотную спираль из вольфрамовой проволоки диаметром 0,5 мм. Кварц легко испаряется образующаяся пленка слабо окрашена окислами вольфрама в коричневый цвет. [c.258]

Важную проблему представляет светоделитель. Вместо привычных для видимой области спектра тонких металлических пленок или многослойных диэлектрических покрытий в ближней. ИК-области спектра в качестве светоделителя используются тонкие пленки германия, кремния, окиси железа, нанесенные на подложку из кварца, фтО ристого бария или кальция, бромистого калия или иодистого цезия. В далекой ИК-области применяется обычно пленка из майлара. Достаточно большие длины золн электромагнитного излучения позволяют также применить в этой области спектра и совсем необычные светоделители — металлическую сетку или проволочную решетку. [c.110]

Различают несколько бсновных типов реакций осаждения избранных компонентов на заданных подложках (например, на металлах, графите, кремнии, кварце, ситаллах, стекле, каменной соли). [c.44]

На рис. 11.30 показан коэффициент отражения зеркал как функция длины волны для Хр = 3250 А. Подложки зеркал выполнены из плавленого кварца, сами зеркала образованы соответст веино 17 и И слоями окиси титана и окиси кремния. В расчетах [c.350]

Разновидностью описанных являются ленточные дисперсионные УЛЗ со звукопроводом в виде слоистого волновода, состоящего из относительно толстой подложки и нанесённой на неё тонкой плёнки, толщина к-рой соизмерима с длиной распространяющихся в этом звукопроводе волн Лява (см. Поверхностные волны). В зависимости от рабочей частоты дисперсионной УЛЗ материалами звукопровода могут быть поликристаллич., аморфные или монокристаллпч. вещества, при этом скорость распространения волн Лява в подложке должна быть всегда больше, чем в плёнке. Материалами подложки слоистых волноводов в большинстве случаев служат кремний, кристаллич. кварц, бериллий, ниобат лития и плавленый кварц, а материалами плёнки — вольфрам, германий и стекло. Возбуждение и приём волн Лява осуществляется двухфазными эквидистантными решётками, если материалом подложки служит пьезоэлектрик (напр., кристаллич. кварц или ниобат лития), или с помощью пьезопластинок, закреплённых на концах звукопровода. [c.187]

Термическое окисление обычно проводится в трубе из плавленого кварца в печи с электрическим нагревом. Схематическое изображение типичной установки для окисления представлено на рис. 2.1. При окислении в сухом О2 кислород высокой степени чистоты подается в печь через соответствующие регуляторы, клапаны, ловушки, фильтры и расходомеры. Кремниевые подложки, как правило, устанавливаются вертикально на кварцевом стеклянном держателе, вмещающем до 200 подложек диаметром 76 или 100 мм. Часто кварцевая труба помещается в оболочку из шютной керамики для сведения до минимума ионного загрязнения и проникновения влаги через кварц. В течение ряда лет окисление во влажной атмосфере проводилось посредством прокачивания О2 или N2 через колбу с водой, температура которой поддерживалась на заданном уровне. Таким образом обеспечивалось необходимое давление паров воды в окисляющей атмосфере. Однако позднее стали применяться пирогенные системы, в которых водород и кислород реагируют на газовводном конце окислительной трубы, что обеспечивает более вьюокую чистоту водяного пара и лучшие условия контроля. Давление пара можно изменять, регулируя количество Н2 по отношению к О2. Естественные особенности процесса термического окисления кремния делают его уникальным по сравнению с другими способами фор- [c.47]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...