Микрозонд электроннолучевой

Специальные приборы современные электроннолучевые микрозонды представляют собой комбинацию рентгеновского микроанализатора и электронного микроскопа. [c.160]

Оже-спектрометр. Специальный электроннолучевой микрозонд, который снабжен электронным спектрометром. Дает возможность определить элементы в областях, близких к поверхности (<10 нм). [c.160]

Сканирование с регистрацией на электроннолучевой трубке тока поглощенных или отраженных электронов дает качественную оценку среднего атомного номера составляющих на разных участках шлифа, а сканирование с регистрацией тока вторичных электронов позволяет судить о рельефе исследуемой поверхности. Последнее обстоятельство дает возможность использовать микрозонды и как растровые электронные микроскопы. [c.144]

Электроннолучевой микрозонд. Устройство, в котором остросфокусированный луч (10 нм 0 1 мкм) зондирует образец по принципу сканирования и регистрирует возникающие при этом сигналы, источниками которых являются вторичные электроны электроны обратного рассеяния абсорбированные электроны просвечивающие электроны оже-электроны характеристическое рентгеновское излучение рентгеновское тормозное излучение люминесцентное свечение электрические токи (в полупроводниках). [c.160]

Электронная и ионная оптика представляет собой одно из направлений физической электроники и заиимается проблемами формирования потоков заряженных частиц, управления ими, а также вопросами их применения. В самом названии отражен тот факт, что движение заряженных частиц в электромагнитных полях во многом подобно поведению световых лучей в не-однородных оптических средах. Электронная и ионная оптика — это обширнейшая область знаний с относительно короткой историей. Хотя аналогия между классической механикой и геометрической оптикой была установлена Гамильтоном еще в первой половине прошлого столетия, миру пришлось ждать почти сто лет, прежде чем в 1926 г. X. Буш [1] доказал возможность формирования электронно-оптических изображений. Список приложений электронной и ионной оптики велик. Электроннолучевые трубки и мониторы, электронные микроскопы, ускорители частиц, масс-спектрометры, микроволновые генераторы и усилительные лампы, а также электронно-лучевые технологии (такие, например, как сварка, сверление, плавка, резка, очистка, легирование) — все это хорошо известные классические приложения. Электронные и ионные микрозонды, анализаторы энергии, электронные спектрометры и ионные имплантаторы относятся к сравнительно недавним практическим результатам этого быстро развивающегося направления. Без электронной и ионной оптики сегодня нельзя обойтись в аналитической химии и при исследовании поверхностей. Новые приложения разработаны в области синтеза и преобразования энергии. Возрастающее значение этой области недавно отмечено Американским физическим обществом, при котором учреждена специальная тематическая группа по физике пучков и частиц. Электронной и ионной оптике посвящены тысячи статей и множество книг [2—51Ь]. [c.9]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...