Нанесение термоионное

В термоионном источнике вещество в твердом состоянии, обычно в виде какой-либо соли, наносится непосредственно на анодную нить (ленту). Нить с нанесенной на нее пробой накаляется, и если потенциал ионизации исследуемого элемента мал по сравнению с работой выхода материала анода, то часть вещества с нити испаряется в виде положительных ионов [9—15]. Существуют источники с одной, двумя и тремя нитями. При использовании источника с одной нитью не всегда мож- [c.63]

Вакуумные методы нанесения покрытий и модифицирования поверхности (электроннолучевой и ионно-плазменный методы, термоионное и катодное распыление, ионная имплантация и др.), а также электроискровое легирование и лазерная обработка основаны на использовании электрической энергии. Источники питания, как правило, являются специализированными и во многих случаях входят в состав установки для нанесения покрытий или обработки поверхности. [c.420]

Оборудование для термоионного нанесения покрытий представлено автоматической установкой УВН-ЭИП 17/4-001 с групповой обработкой подложек, используемой при изготовлении полупроводниковых схем, СВЧ-транзи-сторов [2] (рис. 1.14, д). В качестве покрытий напыляют алюминий, медь, титан, кремний. Техническая характеристика приведена ниже. [c.438]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...