Глубина резкости (фокуса)

Одной из важных особенностей РЭМ является большая глубина резкости изображения, что делает возможным наблюдение объектов с грубым рельефом. Глубина резкости в значительной степени зависит от увеличения, уменьшаясь с его ростом. Данное обстоятельство позволяет точно определять местоположение фокуса на образце по резкости получаемого изображения. Учитывая, что фокусное расстояние является функцией тока электромагнитной линзы, производя-соответствующую калибровку, можно определить относительные высоты точек исследуемой поверхности, регистрируя ток фокуса объективной линзы. [c.177]

Френеля для видимой из фокуса круглой апертуры радиусом а, то для однородно освещаемого зрачка глубина резкости запишется в виде [c.311]

Микроскоп. Микроскоп снабжен длиннофокусным объективом с 20-кратным увеличением типа М.1487 фирмы Виккерс инстр -ментс ЛТД. . Числовая апертура объектива равна 0,65, фокусное расстояние — 12,2 мм, глубина резкости — 4 мк. Последняя особенность объектива позволила применить метод оптических сечений, с помощью которого можно получать фотографии треков частиц в пленке с разрешающей способностью но глубине около + 8 л/к. Используется окуляр фирмы Хьюдженайн с 6-кратным увеличением. Микроскоп прочно закрепляют на рабочем участке, чтобы свести к минимуму относительную вибрацию. Перемещение рычагов управления фокусировкой микроскопа усиливается стрелочным прибором, с помощью которого перемещение фокуса микроскопа может быть измерено с точностью 0,3 мк. [c.192]

Одна из наиболее важных практических трудностей в дифракционной микроскопии и в любом методе улучшения разрешающей способности электронных микроскопов связана с требованием высокого постоянства расположения фокуса. Можна напомнить, что электронная микроскопия оперирует с фокусными расстояниями того же порядка, как и оптическая микроскопия, т. е. несколько миллиметров, к то время как ею достигнуты разрешения, примерно в 100—200 раз лучшие. Кроме того, электронные линзы не так стабильны, как стеклянные, они испытывают флуктуации и, наконец, не ахроматичны. Так, электронная микроскопия на магнитных линзах становится возможной только при стабилизации токов в линзах с точностью порядка 1/20 000. В столь высокой стабильности нет необходимости в электростатических микроскопах с постоянным потенциалом, где фокусное расстояние остается фиксированным. Но даже здесь менее жесткие требования к стабильности связаны с очень большой глубиной резкости электронных объективов, обусловленной малостью апертурных углов. Однако любой дальнейший прогресс сопряжен с повышением требований к стабиль- [c.291]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...