Жидкости для высоковакуумных установок

Современная вакуумная техника в целом ряде случаев имеет дело с приборами и установками, в которых рабочие давления составляют 1 10 —1 10 " мм рт. ст. Высоковакуумные пароструйные насосы не всегда могут обеспечить такие низкие давления, так как, во-первых, при давлениях ниже 1 10 мм рт. ст. быстрота действия насосов снижается и, во-вторых, насосы недостаточно эффективно способны откачивать пары. Как уже отмечалось раньше, источниками пара в вакуумных установках могут быть рабочие жидкости насосов. Помимо этого, источниками пара могут быть не только стенки и детали, ранее соприкасавшиеся, например, с атмосферным воздухом, но и продукты, выделяющиеся в результате проведения рабочих процессов в вакууме. Таким [c.28]

Вакуумная система, построенная по схеме, приведенной на рис. 16, б, имеет пароструйный диффузионный насос 1, бустерный вспомогательный насос 7, механический вакуумный насос 2, выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса с маслоотражателем 4. Установка бустерного насоса 7 между пароструйным 1 и механическим 2 вакуумным насосами позволяет проводить технологический процесс с интенсивным газоотделением и получать в конечном счете достаточно низкое предельное давление. Практически такая система обеспечивает разрежение примерно (4,2—6,7) 10 Па. Важным преимуществом этой системы является хорошее обезгаживание рабочей жидкости пароструйного диффузионного насоса 1. Высоковакуумная откачка изделий производится через вентиль 5. Байпасная откачка изделия осуществляется механическим вакуумным насосом 2 через вентиль 9. Во время этой откачки угловой вентиль 11 закрыт, а насос 7 работает на форвакуумный бачок 3. Для измерения давления предусмотрены манометрические датчики 6. [c.102]

Как можно было уже заметить, в настоящее время наибольшее распространение в вакуумной технике получили пароструйные насосы, в которых в качестве рабочей жидкости используются различные сорта неорганических и кремнийорганических масел. Однако в целом ряде случаев (ртутные выпрямители, масс-спектрометры, установки для откачки изделий с ртутными парами и т. д.) применяются парортутные высоковакуумные и бустерные насосы. В установках, в которых по ка-ким-либо причинам недопустимо применение пароструйных насосов, могут быть применены насосы без рабочих жидкостей — ионные насосы, сорбционно-ионные насосы, молекулярные насосы, механические двухроторные. насосы типа воздуходувки Рутса и др. Большая часть из них благодаря своим хорошим вакуумным параметрам после организации серийного выпуска безусловно найдет широкое применение в промышленных вакуумных установках. [c.113]

Механический насос включают в работу согласно правилам, изложенным в гл. 2, и с его помощью установка откачивается до возможно низкого давления (рис. 6-14). В случае применения насосов ВН-1 и ВН-2 откачка воздуха из установки во избежание выброса из насосов масла производится постепенно многократным открытием и закрытием крана на линии предварительного разрежения. Поочередное (последовательное) подключение к механическому насосу отдельных частй установки облегчает определение степени их подготовленности к работе. Наблюдают за давлением по термопарным манометрам. Если в процессе откачки давление в установке становится ниже величины максимального противодавления пароструйных насосов, то, предварительно охладив проточной водой их рубашки, можно включить подогреватели пароструйных насосов. Так как максимальное противодавление у бустерного насоса выше, чем у высоковакуумного, подогреватель бустерного насоса включают в работу первым. При разогреве пароструйных насосов давление в вакуумной установке несколько возрастает вследствие газоотделения их рабочей жидкости и внутренних стенок кипятильника. После того как пароструйные насосы начинают работать, давление в системе сначала быстро, а потом медленно убывает и в конце концов достигает величины, характеризующейся равновесием между количеством поступающих и откачиваемых из установки паров и газов. После заливки в ловушку охлаждающего вещества это равновесие вследствие снижения упругости пара резко переходит в область более низких давлений. Предельно низкое давление газов, которое достигается в установке при данных условиях работы вакуумной системы, обычно называют предельным вакуумом. [c.117]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...