Подложки с тонкими пьезоэлектрическими слоями

Подложки с тонкими пьезоэлектрическими слоями [c.529]

Поскольку подложка влияет на распространение ПАВ, она должна быть изготовлена из материала, обладающего долговременной стабильностью, небольшим коэффициентом теплового расширения и малой температурной зависимостью скорости распространения ПАВ. К таким материалам относятся сапфир, плавленый кварц, кремний и боросиликатное стекло. В соответствии с используемым тонким пьезоэлектрическим слоем пластина должна быть соответствующим образом ориентирована. [c.530]

Рассмотрим полубесконечную пьезоэлектрическую анизотропную среду с нанесенным тонким пьезоэлектрическим слоем толщиной А, ограниченную бесконечной плоскостью с координатой хз = О (ось Хз перпендикулярна ограничивающей плоскости). Для расчета можно использовать ту же методику, что и в разд. 6.1 [106, 170, 183]. Однако в данном случае решение будет более сложным, так как существуют два волновых уравнения (6.12) одно — для подложки (решением этого уравнения являются четыре парциальные волны с постоянными затухания Ь, расположенными в нижней половине комплексной полуплоскости) второе — для слоя (его решение — восемь парциальных волн, поскольку ни одним значением Ь нельзя пренебречь — это связано с конечной толщиной слоя). В свободном пространстве, т. е. при Л з > А, потенциал можно представить выражением (6.6). Решение, полученное в виде двух линейных комбинаций парциальных волн (одна для слоя, вторая для подложки), должно удовлетворять двенадцати граничным условиям, которые можно записать следующим образом не-прерьшность упругих напряжений 7з, при дгз = О и дгз = А непрерывность механических смещений м, при хз = 0 непрерывность электрического смещения >3 при Л з = О и Хз = А и непрерывность потенциала <р при л з = 0. Решение можно получить путем последовательного подбора значений фазовой скорости, стремясь к нулевому значению детерминанта системы уравнений, как и при решении системы (6.15). Скорость зависит ие только от направления распространения, ио и от толщины слоя. Кроме того, заданной толщине могут соответствовать несколько различных решений, т. е. волн, имеющих разную скорость. [c.281]

Современная технология получения тонких ориентированных пьезоэлектрических пленок позволяет проектировать и создавать частотные фильтры и другие элементы, использующие ПАВ, ла пьезоэлектрических подложках либо на подложках с малым коэффициентом электромеханической связи, покрытых тонкой пьезоэлектрической пленкой. Преимуществом такого рещеиия является главным образом дещевизна подложек при достижении требуемых от элемента свойств. В качестве тонкого пьезоэлектрического слоя в настоящее время, как правило, используют ZnO в качестве подложек применяют стекло, кремний, сапфир, арсенид галлия и т. п. Для [c.494]

Рис. 11.14. Четыре варианта ВШП на нельезоэлектрической подложке с пьезоэлектрическим тонким слоем.

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...